CN215828858U - 加热装置和镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种加热装置和镀膜设备，加热装置包括：本体，本体包括第一腔体；输送部，输送部与第一腔体相连通，用于向第一腔体内输送气体；加热部，设置于本体上，用于对第一腔体进行加热。本实用新型提供的加热装置，通过在本体上设置第一腔体，并且将输送部与第一腔体相连通，从而可以在加热时通过输送部向第一腔体内输送介质气体，进而可以通过介质气体的输入，保证加热过程中待加热物品受热的均匀性，同时也有效地避免外界环境对加热过程的影响。结构简单，成本低廉，便于工作人员进行操作。

Description

加热装置和镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种加热装置和一种镀膜设备。

背景技术

相关技术中，在对物品进行加热时，加热装置设置有多个加热区域，通过分别控制加热器中不同区域的温度来实现加热温度的均匀，这种加热装置结构复杂，而且操作过程难度较高，并且，这种加热装置的加热方式在待加热物品体积较大时，无法兼顾到加热腔角落的温度，因此，仍然无法满足待加热物品整体的均匀加热。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一方面提出了一种加热装置。

本实用新型的第二方面提出了一种镀膜设备。

有鉴于此，本实用新型的第一方面提出了一种加热装置，包括：本体，本体包括第一腔体；输送部，输送部与第一腔体相连通，用于向第一腔体内输送气体用来辅助加热；加热部，设置于本体上，用于对第一腔体进行加热。

本实用新型提供的加热装置，包括本体、输送部以及加热部，其中，本体上设置有第一腔体，第一腔体内用于放置待加热物品，以使待加热物品在第一腔体内进行加热。进一步地，输送部与第一腔体相连通，从而可以通过输送部向第一腔体内输送加热时所需要的气体，以提高加热效果。进一步地，通过设置于本体上的加热部，可以实现热量的提供，以实现对第一腔体进行加热，也即对第一腔体内的待加热物品进行加热。

具体地，第一腔体可以为密封腔体，以避免加热时外界环境对加热过程造成影响；输送部的一端开口与第一腔体的外部连通，另一端开口与第一腔体内部连通，从而可以从第一腔体的外部将加热时所需的气体充入第一腔体内。

具体地，在对待加热物品进行加热之前，首先将待加热物品放置于第一腔体内，将第一腔体密封，然后将第一腔体内原有的空气抽出，以使第一腔体成为真空腔体，进一步地，通过输送部，向第一腔体内输送加热辅助气体，具体地，加热辅助气体可以为氢气、氮气或和氩气等具有热传导性质的介质气体，一方面，这些介质气体原子运动活跃，在温度升高之后，气体原子之间不断相互碰撞从而使得介质气体的温度迅速达到目标温度并且温度分布均匀，介质气体充分包裹待加热物品，并且分子不断与待加热物品进行碰撞，从而使得待加热物品的温度迅速达到介质的温度，也即目标温度，进而保证了待加热物品受热的均匀性。另一方面，介质气体充分包裹待加热物品，从而起到将待加热物品与外界环境充分隔离的作用，以保证加热时不受外界环境的影响。

本实用新型提供的加热装置，通过在本体上设置第一腔体，并且将输送部与第一腔体相连通，从而可以在加热时通过输送部向第一腔体内输送介质气体，进而可以通过介质气体的输入，保证加热过程中待加热物品受热的均匀性，同时也有效地避免外界环境对加热过程的影响。结构简单，成本低廉，便于工作人员进行操作。

根据本实用新型提供的上述的加热装置，还可以具有以下附加技术特征：

在上述技术方案中，进一步地，加热部与输送部的出气口相对设置。

在该技术方案中，通过将加热部与输送部的出气口相对设置，从而可以将从输送部出气口流出的气体首先通过加热部进行预热，然后在流向第一腔体并对待加热物品进行加热，进而可以提高第一腔体内温度的提升速度，进一步缩短加热时间，提高加热效率。

具体地，将加热部与输送部的出气口相对设置，可以为将加热部与输送部的出气口相对，并且与输送部出气口之间的距离设置为小于预设距离。

在上述任一技术方案中，进一步地，加热部包括：第二腔体，第二腔体与输送部相连通；加热板，与第二腔体相对设置，用于对第一腔体和第二腔体进行加热；多个气孔，多个气孔均匀分布于第二腔体的底部体壁上。

在该技术方案中，加热部可以包括第二腔体，第二腔体与输送部相连通，通过输送部可以将加热需要的介质气体输送至第二腔体内，进一步地，加热部还包括加热板，并且加热板与第二腔体相对设置，以使得通过加热板对第二腔体进行加热，以将充入第二腔体内的介质气体进行加热。同时，通过加热板还可以直接对第一腔体进行加热，以实现对待加热物品进行加热，进而提高加热效率。进一步地，第二腔体的底部体壁上均匀设置有多个气孔，通过多个气孔，可以将加热后的介质气体均匀地充入第一腔体内，以对待加热物品进行加热。

通过第二腔体的设置，可以通过加热板对充入第二腔体内的介质气体进行集中加热，从而提高了介质气体的加热效率，再将加热后的介质气体充入第一腔体对待加热物品进行加热，进一步提高了加热装置的加热效率。

在上述任一技术方案中，进一步地，加热部包括：第二腔体，第二腔体与输送部相连通，第二腔体具有开口；加热板，加热板覆盖于开口处，用于对第一腔体和第二腔体进行加热；多个气孔，多个气孔均匀分布于加热板上。

在该技术方案中，加热部可以包括第二腔体，第二腔体与输送部相连通，通过输送部可以将加热需要的介质气体输送至第二腔体内，具体地，第二腔体的一侧具有开口，同时，加热部还包括加热板，并且加热板覆盖于开口处，可以使得进入第二腔体内的介质气体能够直接与加热板接触，以使得加热板对介质气体进行预热，以缩短整体加热时间。同时，加热板位于第一腔体内，通过加热板还可以直接对第一腔体进行加热，以实现对待加热物品进行加热，进而提高加热效率。进一步地，加热板上还设置有多个气孔，通过将多个气孔均匀地分布于加热板上，在实现了第二腔体与第一腔体相连通的基础上，介质气体在流经气孔的同时，仍然能够通过加热板对其进行加热，从而实现了将介质气体一边充入第一腔体一边加热，既保证了介质气体的充入速度，也保证了介质气体的加热效率，从而进一步提高了加热装置的加热效率。

在上述任一技术方案中，进一步地，加热装置还包括支撑部，设置于第一腔体内，用于承托待加热物品。

在该技术方案中，加热装置的第一腔体内还可以设置有用于承托带加热物品的支撑部，通过支撑部的设置，可以实现将待加热物品放置于第一腔体的中间部分，以使得介质气体可以充分包裹于待加热物品的每个部分，进一步保证了加热的均匀性。同时，也可以通过支撑部位置的设置，实现待加热物品在第一腔体内不同位置的放置，以进一步提高加热效率。

在上述任一技术方案中，进一步地，支撑部包括：载板，载板与多个气孔相对设置；传输装置，设置于第一腔体内，载板设置于传输装置上，传输装置用于传输载板。

在该技术方案中，支撑部可以包括载板和传输装置，其中，传输装置用于传输载板，使得载板能够在第一腔体内进行移动，以实现待加热物品位置的调整。具体地，传输装置可以包括支架和传输滚轮，支架与第一腔体的内壁相连接，具体地，支架可以与第一腔体的内壁的不同位置进行可拆卸地连接，从而可以实现将支架设置于第一腔体内壁的不同位置，以满足不同的加热需求。进一步地，载板与第二腔体上的多个气孔相对设置，可以使得从第二腔体内喷出的介质气体直接喷射于载板上的待加热物品上，从而使得待加热物品受热更加迅速，使得待加热物品迅速达到目标温度，提高加热效率；进一步地，通过在支架上设置传输滚轮，可以将载板放置于传输滚轮上，从而使得在移动载板时通过传输滚轮的转动避免载板与支架之间的摩擦，提高载板和支架的使用寿命。

在上述任一技术方案中，进一步地，本体包括：基座，基座具有开口；盖体，覆盖于开口处，盖体与基座合围成第一腔体，输送部设置于盖体上。

在该技术方案中，加热装置的本体可以包括基座和盖体，其中，基座上具有开口，盖体覆盖于开口处，从而于基座合围成第一腔体，通过基座和盖体的设置，合围成第一腔体。进一步地，将输送部设置于盖体上，可以使得输送部所输送的介质气体在进入第一腔体时，从盖体流向基座，也即使得介质气体自上而下充入第一腔体，从而利用了介质气体的重量，保证介质气体充入时的流畅性。

在上述任一技术方案中，进一步地，加热装置还包括：排气口，设置于本体上；真空泵，与排气口相连通，用于通过排气口将第一腔体内的气体排出；第一阀体，设置于真空泵和排气口之前的连通管道上。

在该技术方案中，加热装置还可以包括排气口，排气口可以设置于本体上，并且，通过排气口，可以将第一加热腔与外界连通，从而可以通过排气口将第一加热腔内的气体排出，以使得第一加热腔成为真空腔体。进一步地，加热装置还包括真空泵，通过将真空泵与排气口相连通，从而可以使得真空泵可以通过排气口对第一腔体内的气体进行抽取，以实现第一腔体内气体的排出，提高第一腔体内气体排出的效率。进一步地，真空泵与排气口之间，可以通过连通管道进行连通，并且，在连通管道上可以设置有第一阀体，第一阀体可以为开关阀，用于关闭或打开真空泵与排气口之间的连通，同时也可以将第一腔体封闭，避免外界空气进入第一腔体。

在上述任一技术方案中，进一步地，加热装置还包括：第二阀体，第二阀体与输送部的进气口相连接。

在该技术方案中，通过将第二阀体与输送部的进气口相连接，可以实现输送部的进气口的开启与关闭，也即在通过输送部向第一腔体充入介质气体时，将第二阀体开启，在介质气体充入完成之后，将第二阀体关闭，以保证第一腔体的密闭性，避免外界空气进入第一腔体影响加热效率。

根据本实用新型的第二方面，提出了一种镀膜设备，包括如上述技术方案中任一项的加热装置。

本实用新型提供的镀膜设备，因包含上述技术方案中任一项的加热装置，从而具有了上述技术方案中加热装置的全部有益效果，在此不再赘述。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了本实用新型一个实施例提供的加热装置的结构示意图；

图2示出了图1加热装置中加热板的结构示意图。

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100加热装置，110本体，112第一腔体，114基座，116盖体，120输送部，130加热部，132第二腔体，134加热板，136气孔，140支撑部，142载板，144支架，146传输滚轮，150排气口，160真空泵，170第一阀体，180第二阀体。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1和图2描述根据本实用新型一些实施例的加热装置100和镀膜设备。

如图1和图2所示，本实用新型的第一方面提出了一种加热装置100，包括：本体110，本体110包括第一腔体112；输送部120，输送部120与第一腔体112相连通，用于向第一腔体112内输送气体；加热部130，设置于本体110上，用于对第一腔体112进行加热。

本实用新型提供的加热装置100，包括本体110、输送部120以及加热部130，其中，本体110上设置有第一腔体112，第一腔体112内用于放置待加热物品，以使待加热物品在第一腔体112内进行加热。进一步地，输送部120与第一腔体112相连通，从而可以通过输送部120向第一腔体112内输送加热时所需要的气体，以提高加热效果。进一步地，通过设置于本体110上的加热部130，可以实现热量的提供，以实现对第一腔体112进行加热，也即对第一腔体112内的待加热物品进行加热。

具体地，第一腔体112可以为密封腔体，以避免加热时外界环境对加热过程造成影响；输送部120的一端开口与第一腔体112的外部连通，另一端开口与第一腔体112内部连通，从而可以从第一腔体112的外部将加热时所需的气体充入第一腔体112内。

具体地，在对待加热物品进行加热之前，首先将待加热物品放置于第一腔体112内，将第一腔体112密封，然后将第一腔体112内原有的空气抽出，以使第一腔体112成为真空腔体，进一步地，通过输送部120，向第一腔体112内输送加热辅助气体，具体地，加热辅助气体可以为氢气、氮气或和氩气等具有热传导性质的介质气体，一方面，这些介质气体原子运动活跃，在温度升高之后，气体原子之间不断相互碰撞从而使得介质气体的温度迅速达到目标温度并且温度分布均匀，介质气体充分包裹待加热物品，并且分子不断与待加热物品进行碰撞，从而使得待加热物品的温度迅速达到介质的温度，也即目标温度，进而保证了待加热物品受热的均匀性。另一方面，介质气体充分包裹待加热物品，从而起到将待加热物品与外界环境充分隔离的作用，以保证加热时不受外界环境的影响。

本实用新型提供的加热装置100，通过在本体110上设置第一腔体112，并且将输送部120与第一腔体112相连通，从而可以在加热时通过输送部120向第一腔体112内输送介质气体，进而可以通过介质气体的输入，保证加热过程中待加热物品受热的均匀性，同时也有效地避免外界环境对加热过程的影响。结构简单，成本低廉，便于工作人员进行操作。

具体地，加热部可以包括加热板、红外发热管、微波加热装置、电磁感应加热装置等。

在上述实施例中，进一步地，如图2所示，加热部130与输送部120的出气口相对设置。

在该实施例中通过将加热部130与输送部120的出气口相对设置，从而可以将从输送部120出气口流出的气体首先通过加热部130进行加热，然后在流向第一腔体112并对待加热物品进行加热，进而可以提高第一腔体112内温度的提升速度，进一步缩短加热时间，提高加热效率。

具体地，将加热部130与输送部120的出气口相对设置，可以为将加热部130与输送部120的出气口相对，并且与输送部120出气口之间的距离设置为小于预设距离。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1和图2所示，加热部130包括：第二腔体132，第二腔体132与输送部120相连通；加热板134，与第二腔体132相对设置，用于对第一腔体112和第二腔体132进行加热；多个气孔136，多个气孔136均匀分布于第二腔体132的底部体壁上。

在该实施例中，加热部130可以包括第二腔体132，第二腔体132与输送部120相连通，通过输送部120可以将加热需要的介质气体输送至第二腔体132内，进一步地，加热部130还包括加热板134，并且加热板134与第二腔体132相对设置，以使得通过加热板134对第二腔体132进行加热，以将充入第二腔体132内的介质气体进行预热。同时，通过加热板134还可以直接对第一腔体112进行加热，以实现对待加热物品进行加热，进而提高加热效率。进一步地，第二腔体132的底部体壁上均匀设置有多个气孔136，通过多个气孔136，可以将加热后的介质气体均匀地充入第一腔体112内，以对待加热物品进行加热。

通过第二腔体132的设置，可以通过加热板134对充入第二腔体132内的介质气体进行集中加热，从而提高了介质气体的加热效率，再将加热后的介质气体充入第一腔体112对待加热物品进行加热，进一步提高了加热装置100的加热效率。

具体地，加热板134可以包括铝板，加热板134的表面设置有凹槽，凹槽内设置有加热丝。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1和图2所示，加热部130包括：第二腔体132，第二腔体132与输送部120相连通，第二腔体132具有开口，加热板134，加热板134覆盖于开口处，加热板134一方面用于对第一腔体112，另一方面用于对第二腔体132进行加热；多个气孔136，多个气孔136均匀分布于加热板134上。

在该实施例中，加热部130可以包括第二腔体132，第二腔体132与输送部120相连通，通过输送部120可以将加热需要的介质气体输送至第二腔体132内，具体地，第二腔体132的一侧具有开口，同时加热部130还包括加热板134，并且加热板134覆盖于开口处，可以使得进入第二腔体132内的介质气体能够直接与加热板134接触，以使得加热板134对介质气体进行加热，以缩短加热时间。同时，加热板134位于第一腔体112内，通过加热板134还可以直接对第一腔体112进行加热，以实现对待加热物品进行加热，进而提高加热效率。进一步地，加热板134上还设置有多个气孔136，通过将多个气孔136均匀地分布于加热板134上，在实现了第二腔体132与第一腔体112相连通的基础上，介质气体在流经气孔136的同时，仍然能够通过加热板134对其进行加热，从而实现了将介质气体一边充入第一腔体112一边加热，既保证了介质气体的充入速度，也保证了介质气体的加热效率，从而进一步提高了加热装置100的加热效率。

进一步地，加热板134与第二腔体132的底部体壁之间可以通过连接件相连接，具体地，连接件可以为螺钉和螺母，通过螺钉依次穿过加热板134和与加热板134相对的第二腔体132的底部体壁，然后通过螺母与螺钉相连接，以固定加热板134和第二腔体132的底部体壁。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1所示，加热装置100还包括支撑部140，设置于第一腔体112内，用于承托待加热物品。

在该实施例中，加热装置100的第一腔体112内还可以设置有用于承托带加热物品的支撑部140，通过支撑部140的设置，可以实现将待加热物品放置于第一腔体112的中间部分，以使得介质气体可以充分包裹于待加热物品的每个部分，进一步保证了加热的均匀性。同时，也可以通过支撑部140位置的设置，实现待加热物品在第一腔体112内不同位置的放置，以进一步提高加热效率。

具体地，支撑部140可以设置于第一腔体112的底壁上。支撑部140也可以包括分别设置于第一腔体112不同侧壁上的多个支撑件，通过多个支撑件对待加热物品进行同时支撑，以实现承托待加热物品的作用。

进一步地，支撑部140包括：载板142，载板142与多个气孔136相对设置；传输装置，设置于第一腔体112内，载板142设置于传输装置上，传输装置用于传输载板142。

具体地，支撑部140可以包括载板142和传输装置，其中，传输装置用于传输载板142，使得载板142能够在第一腔体112内进行移动，以实现待加热物品位置的调整。具体地，传输装置可以包括支架144和传输滚轮146，支架144用于支撑载板142，支架144与第一腔体112的内壁相连接，具体地，支架144可以与第一腔体112的内壁的不同位置进行可拆卸地连接，从而可以实现将支架144设置于第一腔体112内壁的不同位置，以满足不同的加热需求。进一步地，载板142与第二腔体132上的多个气孔136相对设置，可以使得从第二腔体132内喷出的介质气体直接喷射于载板142上的待加热物品上，从而使得待加热物品受热更加迅速，使得待加热物品迅速达到目标温度，提高加热效率；进一步地，通过在支架144上设置传输滚轮146，可以将载板142放置于传输滚轮146上，从而使得在移动载板142时通过传输滚轮146的转动避免载板142与支架144之间的摩擦，提高载板142和支架144的使用寿命。

具体地，支架144可以为设置于第一腔体112相对的两个侧壁上的支撑杆，支撑杆的一端与侧壁固定连接，传输滚轮146套设于支撑杆的另一端，传输滚轮146可以以支撑杆为轴进行转动，载板142放置于传输滚轮146上。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1所示，本体110包括：基座114，基座114具有开口；盖体116，覆盖于开口处，盖体116与基座114合围成第一腔体112，输送部120设置于盖体116上。

在该实施例中，加热装置100的本体110可以包括基座114和盖体116，其中，基座114上具有开口，盖体116覆盖于开口处，从而于基座114合围成第一腔体112，通过基座114和盖体116的设置，合围成第一腔体112。进一步地，将输送部120设置于盖体116上，可以使得输送部120所输送的介质气体在进入第一腔体112时，从盖体116流向基座114，也即使得介质气体自上而下充入第一腔体112，从而利用了介质气体的重量，保证介质气体充入时的流畅性。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1所示，加热装置100还包括：排气口150，设置于本体110上；真空泵160，与排气口150相连通，用于通过排气口150将第一腔体112内的气体排出；第一阀体170，设置于真空泵160和排气口150之前的连通管道上。

在该实施例中，加热装置100还可以包括排气口150，排气口150可以设置于本体110上，并且，通过排气口150，可以将第一加热腔与外界连通，从而可以通过排气口150将第一加热腔内的气体排出，以使得第一加热腔成为真空腔体。进一步地，加热装置100还包括真空泵160，通过将真空泵160与排气口150相连通，从而可以使得真空泵160可以通过排气口150对第一腔体112内的气体进行抽取，以实现第一腔体112内气体的排出，提高第一腔体112内气体排出的效率。进一步地，真空泵160与排气口150之间，可以通过连通管道进行连通，并且，在连通管道上可以设置有第一阀体170，第一阀体170可以为开关阀，用于关闭或打开真空泵160与排气口150之间的连通，同时也可以将第一腔体112封闭，避免外界空气进入第一腔体112。

具体地，第一阀体170可以为角阀，以保证真空泵160与排气口150之间空气流动的流畅性。

在上述任一实施例中，进一步地，如图1所示，加热装置100还包括：第二阀体180，第二阀体180与输送部120的进气口相连接。

在该实施例中，通过将第二阀体180与输送部120的进气口相连接，可以实现输送部120的进气口的开启与关闭，也即在通过输送部120向第一腔体112充入介质气体时，将第二阀体180开启，在介质气体充入完成之后，将第二阀体180关闭，以保证第一腔体112的密闭性，避免外界空气进入第一腔体112影响加热效率。

进一步地，加热装置100还包括：气压计，设置于第一腔体112内，用于检测第一腔体112内的气体压强。

具体地，通过气压计的设置，可以实现第一腔体112内气压的监控，从而实现对第一腔体112内介质气体的压强的精准控制，进而保证介质气体温度的均匀分布，保证待加热物品受热均匀，提高加热效率。

根据本实用新型的第二方面，提出了一种镀膜设备，具体地，镀膜设备可以包括至少一个反应室，将电池片等需要镀膜的产品放置于反应室内进行镀膜反应，进一步地，镀膜设备还包括载板和传输装置，其中载板用于承载待镀膜产品，传输装置用于载板的传输，从而将待镀膜产品传输至反应室内。进一步地，镀膜设备还包括气体传输装置，用于传输镀膜过程中所需的气体。进一步地，镀膜设备还可以包括射频发射装置，用于向待镀膜产品的表面发射镀膜所需要的相关粒子。本实施例镀膜设备包括如上述技术方案中任一项的加热装置100。

本实用新型提供的镀膜设备，因包含上述技术方案中任一项的加热装置100，从而具有了上述技术方案中加热装置100的全部有益效果，在此不再赘述。

在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种加热装置，其特征在于，包括：

本体，所述本体包括第一腔体；

输送部，所述输送部与所述第一腔体相连通，用于向所述第一腔体内输送气体；

加热部，所述加热部设置于所述本体上，用于对所述气体进行预热并且加热所述第一腔体；所述气体用于辅助所述加热部对所述第一腔体进行加热。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述加热部与所述输送部的出气口相对设置。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热部包括：

第二腔体，所述第二腔体与所述输送部相连通，所述第二腔体具有开口；

加热板，所述加热板覆盖于所述开口处；

多个气孔，所述多个气孔均匀分布于所述加热板上。

4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热部包括：

第二腔体，所述第二腔体与所述输送部相连通；

多个气孔，所述多个气孔均匀分布于所述第二腔体的底部体壁上；

加热板，包括多个与所述底部体壁相对应气孔，所述加热板设置在所述第二腔体底部体壁外。

5.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，还包括：

支撑部，设置于所述第一腔体内，用于承托待加热物品。

6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述支撑部包括：

载板，所述载板与所述加热板相对设置；

传输装置，设置于所述第一腔体内，所述载板设置于所述传输装置上，所述传输装置用于传输所述载板。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的加热装置，其特征在于，所述本体包括：

基座，所述基座具有开口；

盖体，覆盖于所述开口处，所述盖体与所述基座合围成所述第一腔体，所述输送部设置于所述盖体上。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的加热装置，其特征在于，还包括：

排气口，设置于所述本体上；

真空泵，与所述排气口相连通，用于通过所述排气口将所述第一腔体内的气体排出；

第一阀体，设置于所述真空泵和所述排气口之间的连通管道上。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的加热装置，其特征在于，还包括：

第二阀体，所述第二阀体与所述输送部的进气口相连接。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至9中任一项所述的加热装置。

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