CN215813031U - 一种便于检修的晶圆测试仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体，所述保护壳体的内腔滑动设有安装板，所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接，所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条，所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧，所述安装板的下端呈对称设有移动组件。本实用新型所述的一种便于检修的晶圆测试仪，本晶圆测试仪将各电气元件安装在安装板上，且安装板滑动设置在保护壳体的内腔，可通过插接组件与安装板的插接可将其固定在保护壳体的内腔，当接触插接组件与安装板的插接时，通过顶起弹簧的弹力作用可使得安装板做移动保护壳体的运动，便于对晶圆测试仪的拆卸检修。

Description

一种便于检修的晶圆测试仪

技术领域

本实用新型涉及圆晶测试设备领域，特别涉及一种便于检修的晶圆测试仪。

背景技术

现有的圆晶电阻率测试仪的电气元件一般电性连接在电路板上，而电路板设置在壳体的内腔，其壳体的面板通过螺丝固定连接在一起，当需要对圆晶电阻率测试仪内部电气元件进行检修时，需要旋下螺丝，比较麻烦，不便于对圆晶电阻率测试仪的检修，故此，我们提出一种便于检修的晶圆测试仪来解决此问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种便于检修的晶圆测试仪，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体，所述保护壳体的内腔滑动设有安装板，所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接，所述安装板的上安装有电路板且所述电路板上安装有电气元件，所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条，所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧且所述顶起弹簧的一端与安装在安装板底部的横板的一端相抵触，所述安装板的下端呈对称设有移动组件。

优选的，所述安装板包括竖板，所述竖板的右端呈对称设有两组侧板且两组所述侧板之间设有平板，两组所述侧板的上下端及其侧端均设置有若干组万向滚珠且万向滚珠的外壁与保护壳体的内腔壁相抵触。

优选的，所述竖板的四侧端上均通过粘黏剂固定与弹性密封垫且四组所述弹性密封垫的外壁均与保护壳体的内腔壁相抵触。

优选的，所述移动组件包括空心柱，所述空心柱的下端设有滚轮，所述空心柱的内腔安装有延伸弹簧且所述延伸弹簧的上端与安装柱固定连接，所述安装柱的上端与安装板的下端连接。

优选的，所述插接组件包括筒体，所述筒体被方型拉杆贯穿，所述方型拉杆的下端与竖板插接，所述方型拉杆的下端设置有斜面，所述方型拉杆位于筒体内腔的部位上固定有阻挡环且所述阻挡环上设有插接弹簧，所述插接弹簧套接在方型拉杆上。

优选的,所述方型拉杆的上端安装有拉环。

优选的，所述安装板上安装有竖杆且所述竖杆的上端设置有插孔。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，本晶圆测试仪将各电气元件安装在安装板上，且安装板滑动设置在保护壳体的内腔，可通过插接组件与安装板的插接可将其固定在保护壳体的内腔，当接触插接组件与安装板的插接时，通过顶起弹簧的弹力作用可使得安装板做移动保护壳体的运动，操作方便简单，便于对晶圆测试仪的拆卸检修。

附图说明

图1为本实用新型一种便于检修的晶圆测试仪的整体结构图；

图2为本实用新型一种便于检修的晶圆测试仪的安装板结构图；

图3为本实用新型一种便于检修的晶圆测试仪的局部侧视剖面图；

图4为本实用新型一种便于检修的晶圆测试仪的A处结构放大图；

图5为本实用新型一种便于检修的晶圆测试仪的B处结构放大图。

图中：1、保护壳体；2、插接组件；21、筒体；22、方型拉杆；23、阻挡环；24、斜面；25、插接弹簧；3、安装板；31、竖板；32、万向滚珠；33、平板；34、侧板；4、移动组件；41、空心柱；42、滚轮；43、安装柱；44、延伸弹簧；5、顶起弹簧；6、横板；7、弹性磁条；8、电路板；9、竖杆。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-5所示，一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体1，保护壳体1的内腔滑动设有安装板3，保护壳体1的上端安装有插接组件2且插接组件2与安装板3插接，安装板3的上安装有电路板8且电路板8上安装有电气元件，安装板3的底部和保护壳体1内腔底部均安装有横板6且两组横板6上均安装有弹性磁条7，保护壳体1的内腔壁上固定有顶起弹簧5且顶起弹簧5的一端与安装在安装板3底部的横板6的一端相抵触，安装板3的下端呈对称设有移动组件4。

安装板3包括竖板31，竖板31的右端呈对称设有两组侧板34且两组侧板34之间设有平板33，两组侧板34的上下端及其侧端均设置有若干组万向滚珠32且万向滚珠32的外壁与保护壳体1的内腔壁相抵触，通过设置的万向滚轮32减小安装板3与保护壳体1之间的摩擦力的作用，便于安装板3的滑动。

竖板31的四侧端上均通过粘黏剂固定与弹性密封垫且四组弹性密封垫的外壁均与保护壳体1的内腔壁相抵触，可通过弹性密封垫使得竖板31与保护壳体1之间形成良好的密封性，可防止灰尘及液体进入内部，造成内部电气元件的损坏。

移动组件4包括空心柱41，空心柱41的下端设有滚轮42，空心柱41的内腔安装有延伸弹簧44且延伸弹簧44的上端与安装柱43固定连接，安装柱43的上端与安装板3的下端连接，在安装板3的左端滑出保护壳体1时，其通过延伸弹簧44的弹力作用，使得压缩的延伸弹簧44得到延长，从而使得滚轮42的下端与保护壳体1的放置面接触，可对安装板3形成支撑，保持安装板3的稳定移动。

插接组件2包括筒体21，筒体21被方型拉杆22贯穿，方型拉杆22的下端与竖板31插接，方型拉杆22的下端设置有斜面24，方型拉杆22位于筒体21内腔的部位上固定有阻挡环23且阻挡环23上设有插接弹簧25，插接弹簧25套接在方型拉杆22上，可通过方型拉杆22的下端与竖板31的插接，从而将安装板3固定在保护壳体1的内腔，其设置的斜面24可保证竖板31的端面与其斜面24相抵触时，可使得方型拉杆22做挤压插接弹簧25的运动，最终使得方型拉杆22的下端与竖板31插接。

方型拉杆22的上端安装有拉环，便于通过拉动拉环带动方型拉杆22运动。

安装板3上安装有竖杆9且竖杆9的上端设置有插孔，当安装板3部分滑出保护壳体1时，可通过方型拉杆22的下端与竖杆9插接，可实现对安装板2的插接固定。

需要说明的是，本实用新型为一种便于检修的晶圆测试仪，在对本晶圆测试仪进行拆卸检修时，可通过拉动方型拉杆22使得其下端与竖板31插接分离，通过顶起弹簧5的弹力作用可使得安装板3在保护壳体1内滑动，当移动组件4运动到保护壳体1的外部时，其通过延伸弹簧44的弹力作用，使得压缩的延伸弹簧44得到延长，从而使得滚轮42的下端与保护壳体1的放置面接触，可对安装板3形成支撑，保持安装板3的稳定移动，移动的安装板3底部设有的横板6会与保护壳体1底部设有的横板6相接触形成阻挡，使得安装板3停止运动，通过横板6上设有的弹性磁条7进行缓冲和固定，再松开拉环，使得方型拉杆22的下端与竖杆9插接即可。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体(1)，其特征在于：所述保护壳体(1)的内腔滑动设有安装板(3)，所述保护壳体(1)的上端安装有插接组件(2)且所述插接组件(2)与安装板(3)插接，所述安装板(3)的上安装有电路板(8)且所述电路板(8)上安装有电气元件，所述安装板(3)的底部和保护壳体(1)内腔底部均安装有横板(6)且两组所述横板(6)上均安装有弹性磁条(7)，所述保护壳体(1)的内腔壁上固定有顶起弹簧(5)且所述顶起弹簧(5)的一端与安装在安装板(3)底部的横板(6)的一端相抵触，所述安装板(3)的下端呈对称设有移动组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述安装板(3)包括竖板(31)，所述竖板(31)的右端呈对称设有两组侧板(34)且两组所述侧板(34)之间设有平板(33)，两组所述侧板(34)的上下端及其侧端均设置有若干组万向滚珠(32)且万向滚珠(32)的外壁与保护壳体(1)的内腔壁相抵触。

3.根据权利要求2所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述竖板(31)的四侧端上均通过粘黏剂固定与弹性密封垫且四组所述弹性密封垫的外壁均与保护壳体(1)的内腔壁相抵触。

4.根据权利要求1所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述移动组件(4)包括空心柱(41)，所述空心柱(41)的下端设有滚轮(42)，所述空心柱(41)的内腔安装有延伸弹簧(44)且所述延伸弹簧(44)的上端与安装柱(43)固定连接，所述安装柱(43)的上端与安装板(3)的下端连接。

5.根据权利要求1所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述插接组件(2)包括筒体(21)，所述筒体(21)被方型拉杆(22)贯穿，所述方型拉杆(22)的下端与竖板(31)插接，所述方型拉杆(22)的下端设置有斜面(24)，所述方型拉杆(22)位于筒体(21)内腔的部位上固定有阻挡环(23)且所述阻挡环(23)上设有插接弹簧(25)，所述插接弹簧(25)套接在方型拉杆(22)上。

6.根据权利要求5所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述方型拉杆(22)的上端安装有拉环。

7.根据权利要求1所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述安装板(3)上安装有竖杆(9)且所述竖杆(9)的上端设置有插孔。

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