CN215709798U - 一种料托及插片系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种料托及插片系统。料托包括底座、第一侧板以及第二侧板；底座设置有多个第一安装孔，第一侧板通过多个第一安装孔中的一个目标第一安装孔与底座的一侧连接，第二侧板与底座的另一侧连接；多个第一安装孔形成的第一轨迹与第一侧板不平行，且不垂直。本实用新型实施例的料托可以适用于不同尺寸的硅片，且可以有效提高料托的切换效率，降低人工成本。

Description

一种料托及插片系统

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片切片技术领域，尤其涉及一种料托及插片系统。

背景技术

现有的料托通常与插片机配合，通过对料托底部进行吹气，使得硅片与料托脱离，再利用插片机将硅片输出。

随着硅片产品规格的变化，目前的硅片可以包括边长为158mm、166mm、182mm以及210mm等尺寸的方形硅片。而现有的料托通过固定的侧板和固定的挡板固定硅片，但是该料托的侧板与挡板无法调节，只能适用于一种尺寸规格的硅片。因此，在更换硅片尺寸时，需要更换料托，会导致料托的切换效率低，以及人工成本高等问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种料托及插片系统，以解决现有料托无法适用于不同尺寸的硅片，导致的料托切换效率低、人工成本高的问题。

为了解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供一种料托，所述料托包括底座、第一侧板以及第二侧板；

所述底座设置有多个第一安装孔，所述第一侧板通过多个所述第一安装孔中的一个目标第一安装孔与所述底座的一侧连接，所述第二侧板与所述底座的另一侧连接；

多个所述第一安装孔形成的第一轨迹与所述第一侧板不平行，且不垂直。

可选地，所述底座上还设置有多个第二安装孔；

所述第二侧板通过多个所述第二安装孔中的一个目标第二安装孔与所述底座的另一侧连接，多个所述第二安装孔形成的第二轨迹与所述第二侧板不平行，且不垂直。

可选地，所述第一安装孔与所述第二安装孔分别设置于所述底座的两个相对的侧边。

可选地，所述第一轨迹和所述第二轨迹均为弧线段。

可选地，所述料托还包括定位板和档杆；

所述档杆与所述底座连接，所述档杆位于所述第一侧板与所述第二侧板之间；

所述定位板的一端与所述第一侧板的顶部连接，所述定位板的另一端与所述第二侧板的顶部连接；

所述定位板的中部与所述档杆的顶部连接。

可选地，所述定位板包括第一分部、第二分部和第三分部；

所述第一分部和所述第二分部分别设置于所述第三分部的两端，所述第一分部与所述第三分部垂直，所述第二分部与所述第三分部垂直。

可选地，所述料托还包括斜板；

所述斜板设置在所述底座上，所述斜板的第一端面靠近所述档杆，所述斜板的第二端面远离所述档杆，所述第一端面的高度小于所述第二端面的高度。

可选地，所述斜板开设有通孔；

所述斜板用于承载硅片，所述硅片通过穿设所述通孔的动力与所述斜板分离。

可选地，所述料托还包括两个把手；

一个所述把手与所述第一侧板连接，另一个所述把手与所述第二侧板连接。

可选地，所述第一侧板的底部开设有第三安装孔，所述第二侧板的底部开设有第四安装孔；

所述第一安装孔和所述第三安装孔穿设有第一螺栓，所述第一螺栓的端部套设第一螺母，所述第一侧板与所述底座连接；

所述第二安装孔和所述第四安装孔穿设有第二螺栓，所述第二螺栓的端部套设第二螺母，所述第二侧板与所述底座连接。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种插片系统，包括插片机和上述的料托。

在本实用新型实施例中，料托包括底座、第一侧板以及第二侧板。第一侧板通过多个第一安装孔中的目标第一安装孔与底座连接。通过改变目标第一安装孔，可以调整第一侧板与底座的连接位置。这样，通过调整第一侧板的位置，便于调整第一侧板与第二侧板的间距，以适用于承载不同规格尺寸的硅片。

而且，多个第一安装孔形成的第一轨迹与第一侧板不平行，且不垂直。可见，通过改变目标第一安装孔，可以同时在底座的宽度方向和长度方向上调整第一侧板的位置，可以在硅片的尺寸改变时，使得第一侧板始终位于硅片侧面的中部位置，以更好地保证第一侧板对硅片的限位作用。从而，本实用新型实施例提供的料托可以适用于不同规格尺寸的硅片，且料托的切换操作简单，可以有效提升料托的切换效率，降低人工成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1表示本实用新型实施例的一种料托的结构示意图；

图2表示本实用新型实施例的一种料托的俯视图；

图3表示本实用新型实施例的一种料托的爆炸图。

附图标记说明：

11-底座，111-第一安装孔，112-第二安装孔，12-档杆，13-第一侧板，131-第三安装孔，14-第二侧板，141-第四安装孔，15-定位板，151-第一分部，152-第二分部，153-第三分部，16-斜板，161-通孔，17-把手，s1-第一轨迹，s2-第二轨迹。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。

参照图1和图2，示出了本实用新型实施例的一种料托的结构示意，具体可以包括如下结构：

底座11、第一侧板13以及第二侧板14；

所述底座11设置有多个第一安装孔111，所述第一侧板13通过多个所述第一安装孔111中的一个目标第一安装孔与所述底座11的一侧连接，所述第二侧板14与所述底座11的另一侧连接；

多个所述第一安装孔111形成的第一轨迹s1与所述第一侧板13不平行，且不垂直。

具体而言，如图1所示，料托包括底座11、第一侧板13以及第二侧板14。底座11用于承载硅片，第一侧板13以及第二侧板14分别与底座连接，分别用于对硅片的不同侧面起限位作用，以使得硅片在底座11上不会产生位置偏移。底座11设置有多个第一安装孔111，第一侧板13通过多个第一安装孔111中的一个目标第一安装孔与底座11的一侧连接，即第一侧板13可以通过任意一个第一安装孔111与底座11连接。需要说明的是，当第一侧板13通过不同的目标第一安装孔与底座11连接时，第一侧板13在底座11上的位置不同。因此，通过改变目标第一安装孔，可以调整第一侧板13的位置。从而可以调整第一侧板13和第二侧板14之间的间距，则可以在料托中放入不同规格尺寸的硅片。

如图2所示，多个第一安装孔111的位置连线形成第一轨迹s1。其中，第一轨迹s1与第一侧板13不平行，且不垂直。可见，第一轨迹s1相对于第一侧板13呈倾斜状。这样，通过改变目标第一安装孔，可以在底座11的宽度方向和长度方向上同时调整第一侧板13的位置。示例地，硅片的尺寸从边长158mm增大到边长166mm时，第一侧板13和第二侧板14的间距增大。从而，可以保证第一侧板13始终位于硅片一侧的中部位置。

可以理解的是，为了适用于不同规格尺寸的硅片，相邻的两个第一安装孔需要设置间隙，以使得料托可以承载规格尺寸差异较大的硅片。该间隙的设置可以根据硅片的尺寸的变化进行设定，本实用新型实施例对此不做限定。而且，若出现新的规格尺寸的硅片，该间隙还可以作为预留的开孔区域，即可以在底座11上的相邻的两个第一安装孔之间开设新的安装孔，以适用于新的规格尺寸的硅片。

在本实用新型实施例中，第一侧板以及第二侧板可以形成用于容纳硅片的容纳空间。通过改变目标第一安装孔，可以调整第一侧板与底座的连接位置。这样，通过调整第一侧板与第二侧板的位置，便于调整第一侧板与第二侧板的间距，以适用于承载不同规格尺寸的硅片。而且，通过改变目标第一安装孔，可以同时在底座的宽度方向和长度方向上调整第一侧板的位置，可以在硅片的尺寸改变时，使得第一侧板始终位于硅片侧面的中部位置，以更好地保证第一侧板对硅片的限位作用。可见，本实用新型实施例提供的料托可以适用于不同规格尺寸的硅片，且料托的切换操作简单，可以有效提升料托的切换效率，降低人工成本。

可选地，参照图1和图2，所述底座11上还设置有多个第二安装孔112；

所述第二侧板14通过多个所述第二安装孔112中的一个目标第二安装孔与所述底座11的另一侧连接，多个所述第二安装孔112形成的第二轨迹s2与所述第二侧板14不平行且不垂直。

具体而言，如图1所示，底座11上还设置有多个第二安装孔112。第二侧板14通过多个第二安装孔112中的一个目标第二安装孔与底座11的另一侧连接，当第二侧板14与不同的目标第二安装孔连接时，第二侧板14在底座11上的位置不同，因此，通过改变目标第二安装孔，可以调整第二侧板14的位置。多个第二安装孔112的位置连线形成第二轨迹s2，第二轨迹s2与第二侧板14不平行，且不垂直。可见，第二轨迹s2相对于第二侧板14呈倾斜状，通过改变目标第二安装孔，可以在底座11的宽度方向和长度方向上同时调整第二侧板14的位置。从而，通过同时调整第一侧板13和第二侧板14的位置，使得料托中可以放置尺寸差异更大的硅片。

可选地，参照图2，所述第一安装孔111与所述第二安装孔112分别设置于所述底座11的两个相对的侧边。

具体而言，如图2所示，第一安装孔111与第二安装孔112分别设置于底座11的两个相对的侧边，可以保证第一侧板13和第二侧板14分别安装于底座11的两个相对的侧边，以对硅片的两个相对的侧边起限位作用。可以理解的是，第一安装孔111和第二安装孔112的数量可以相同，底座11可以具有一条中心线，该中心线与第一侧板13或第二侧板14平行，第一安装孔111的位置和第二安装孔112的位置可以相对于该中心线呈对称布置。这样，可以保证不同规格尺寸的硅片的中心始终位于底座11的中心线上，有利于硅片从底座11上分离时受力均匀，可以保证硅片与底座11顺利分离。

可选地，参照图2，所述第一轨迹s1和所述第二轨迹s2均为弧线段。

具体而言，如图2所示，第一轨迹s1和第二轨迹s2均为弧线段。若将第一侧板13和第二侧板14始终设置于硅片两个相对的侧面的中心线位置，硅片尺寸增大时，如图2所示，第一侧板13在y方向上的位移为第一侧板13在x方向上的位移的2倍，则第一轨迹s1在底座11的y方向上占用的空间较大。因此，为了使得多个第一安装孔111在底座11上布置较为紧凑，且始终保证第一侧板13尽可能地位于硅片的中部位置，可以将第一轨迹s1设置为弧线段。同样地，可以将第二轨迹s2设置为弧线段。当然，本领域技术人员可根据实际情况设定第一轨迹s1与第二轨迹s2的弧度大小，本实用新型实施例对此不做限定。

可选地，参照图1，所述料托还包括定位板15和档杆12；

所述档杆12与所述底座11连接，所述档杆12位于所述第一侧板13与所述第二侧板14之间；

所述定位板15的一端与所述第一侧板13的顶部连接，所述定位板15的另一端与所述第二侧板14的顶部连接；

所述定位板15的中部与所述档杆12的顶部连接。

具体而言，如图1所示，料托还包括档杆12和定位板15。档杆12与底座11连接，档杆12位于第一侧板13与第二侧板14之间，可以形成用于容纳硅片的容纳空间，档杆12也可以对硅片的一侧起到限位作用。定位板15的一端与第一侧板13的顶部连接，定位板15的另一端与第二侧板14的顶部连接，定位板15的中部与档杆12的顶部连接。这样，通过定位板15，将第一侧板13、档杆12以及第二侧板14的顶部连接到一起，可以避免第一侧板13、档杆12以及第二侧板14的顶部缺乏约束结构而产生晃动，进而可以避免第一侧板13、档杆12以及第二侧板14晃动导致硅片损坏。从而，可以保证料托的结构稳定性和可靠性。

可选地，参照图1，所述定位板15包括第一分部151、第二分部152和第三分部153；

所述第一分部151和所述第二分部152分别设置于所述第三分部153的两端，所述第一分部151与所述第三分部153垂直，所述第二分部152与所述第三分部153垂直。

具体而言，如图1所示，定位板15包括第一分部151、第二分部152以及第三分部153。定位板15为U型定位板，具体地，第一分部151和第二分部152分别设置于第三分部153的两端，且第一分部151与第三分部153垂直，第二分部152与第三分部153垂直。这样，可以更好地对位于不同方向的第一侧板13、档杆12以及第二侧板14起到限位作用。

可选地，参照图1，所述料托还包括斜板16；

所述斜板16设置在所述底座11上，所述斜板16的第一端面靠近所述档杆12，所述斜板16的第二端面远离所述档杆12，所述第一端面的高度小于所述第二端面的高度。

具体而言，料托还包括斜板16，斜板16设置在底座11上，如图1所示。斜板16的第一端面靠近档杆12，斜板16的第二端面远离档杆12，且第一端面的高度小于第二端面的高度。可见，斜板16相对于档杆12呈远高近低的倾斜状。这样，可以便于将斜板16上表面的硅片从斜板16的第二端传输出去。

可选地，参照图1，所述斜板16开设有通孔161；

所述斜板16用于承载硅片，所述硅片通过穿设所述通孔161的动力与所述斜板16分离。

具体而言，如图1所示，斜板16开设有通孔161，斜板16用于承载硅片。穿设通孔161的动力可以为风力或水力，该动力可以将硅片吹起，以实现硅片与斜板16的分离。

可选地，参照图1，所述料托还包括两个把手17；

一个所述把手17与所述第一侧板13连接，另一个所述把手17与所述第二侧板14连接。

具体而言，如图1所示，料托还包括两个把手17，一个把手17与第一侧板13连接，且位于第一侧板13远离第二侧板14的一侧；另一个把手17与第二侧板14连接，且位于第二侧板14远离第一侧板13的一侧。这样，在调整第一侧板13或第二侧板14的位置时，工作人员可以握住把手17，以便于拆卸或安装第一侧板13或第二侧板14。

可选地，参照图3，所述第一侧板13的底部开设有第三安装孔131，所述第二侧板14的底部开设有第四安装孔141；

所述第一安装孔111和所述第三安装孔131穿设有第一螺栓，所述第一螺栓的端部套设第一螺母，所述第一侧板13与所述底座11连接；

所述第二安装孔112和所述第四安装孔141穿设有第二螺栓，所述第二螺栓的端部套设第二螺母，所述第二侧板14与所述底座11连接。

具体而言，如图3所示，第一侧板13的底部可以开设第三安装孔131，第二侧板14的底部可以开设第四安装孔141。第一安装孔111和第三安装孔131中同时穿设第一螺栓，第一螺栓的端部套设第一螺母，以实现第一侧板13与底座11的连接。第二安装孔112和第四安装孔141中同时穿设第二螺栓，第二螺栓的端部套设第二螺母，可以实现第二侧板14与底座11的连接。在本实用新型实施例中，第一侧板13与底座11的连接方式，以及第二侧板14与底座11的连接方式，均具备操作简单，且切换效率高的特点。

本实用新型实施例还提供了一种插片系统，包括插片机和上述的料托。

具体而言，本实用新型实施例还提供一种插片系统，包括插片机和上述的料托。料托的底座11远离档杆12的端部为出片端，插片机可以包括传送部和分片部，传送部设置于料托的出片端，可以将料托中的硅片传送至分片部。本实用新型实施例的插片系统，可以适用于不同规格尺寸的硅片，且料托的第一侧板13和第二侧板14的间距调整操作较为简单，调整效率高，可以有效降低人工成本，提高生产效率。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本实用新型的保护之内。

Claims (10)

1.一种料托，其特征在于，所述料托包括底座、第一侧板以及第二侧板；

所述底座设置有多个第一安装孔，所述第一侧板通过多个所述第一安装孔中的一个目标第一安装孔与所述底座的一侧连接，所述第二侧板与所述底座的另一侧连接；

多个所述第一安装孔形成的第一轨迹与所述第一侧板不平行，且不垂直。

2.根据权利要求1所述的料托，其特征在于，所述底座上还设置有多个第二安装孔；

所述第二侧板通过多个所述第二安装孔中的一个目标第二安装孔与所述底座的另一侧连接，多个所述第二安装孔形成的第二轨迹与所述第二侧板不平行，且不垂直。

3.根据权利要求2所述的料托，其特征在于，所述第一安装孔与所述第二安装孔分别设置于所述底座的两个相对的侧边。

4.根据权利要求2所述的料托，其特征在于，所述第一轨迹和所述第二轨迹均为弧线段。

5.根据权利要求1所述的料托，其特征在于，所述料托还包括定位板和档杆；

所述档杆与所述底座连接，所述档杆位于所述第一侧板与所述第二侧板之间；

所述定位板的一端与所述第一侧板的顶部连接，所述定位板的另一端与所述第二侧板的顶部连接；

所述定位板的中部与所述档杆的顶部连接。

6.根据权利要求5所述的料托，其特征在于，所述定位板包括第一分部、第二分部和第三分部；

所述第一分部和所述第二分部分别设置于所述第三分部的两端，所述第一分部与所述第三分部垂直，所述第二分部与所述第三分部垂直。

7.根据权利要求5所述的料托，其特征在于，所述料托还包括斜板；

所述斜板设置在所述底座上，所述斜板的第一端面靠近所述档杆，所述斜板的第二端面远离所述档杆，所述第一端面的高度小于所述第二端面的高度。

8.根据权利要求7所述的料托，其特征在于，所述斜板开设有通孔；

所述斜板用于承载硅片，所述硅片通过穿设所述通孔的动力与所述斜板分离。

9.根据权利要求1所述的料托，其特征在于，所述料托还包括两个把手；

一个所述把手与所述第一侧板连接，另一个所述把手与所述第二侧板连接。

10.一种插片系统，其特征在于，包括插片机和权利要求1-9任一项所述的料托。

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