CN215696318U - 一种多晶硅原料清洗装置 - Google Patents

Abstract

一种多晶硅原料清洗装置，包括罐体，所述罐体的左右两侧壁底部均固接装配有支架，所述罐体的正表面底部安装有密封舱门，所述罐体的上部左右两侧分别进液管和进料管，所述罐体的底部固接有电磁阀，所述电磁阀与罐体相连通，所述罐体的右侧壁中心处固接有进水管，所述进水管位于罐体内部的一端固接有喷淋头，所述罐体的内部左右两侧壁均固接有斜板的一端。该多晶硅原料清洗装置，通过整个清洗过程都在封闭的罐体里进行，搅拌机构中的搅拌杆对多晶硅进行搅拌，使氢氟酸和硝酸与之完全接触，通过放料机构将浸泡后的多晶硅进行传递，达到了封闭环境清洗避免污染室内环境的效果，实现了可以规律化回收废弃液体和水的好处。

Description

一种多晶硅原料清洗装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，具体领域为一种多晶硅原料清洗装置。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，多晶硅为制备硅片的原材料，为得到纯净的多晶硅原料，须将多晶硅原料清洗，去除杂质和油污。将多晶硅料放入氢氟酸和硝酸中浸泡，然后用高纯水多次清洗，清洗干净后进入下一道工序，现有的清洗过程在开放环境下进行，清洗过程飞溅的液体会造成室内环境的污染，且清洗后的液体废料无法较快地回收。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅原料清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅原料清洗装置，包括罐体，所述罐体的左右两侧壁底部均固接装配有支架，所述罐体的正表面底部安装有密封舱门，所述罐体的上部左右两侧分别进液管和进料管，所述罐体的底部固接有电磁阀，所述电磁阀与罐体相连通，所述罐体的右侧壁中心处固接有进水管，所述进水管位于罐体内部的一端固接有喷淋头，所述罐体的内部左右两侧壁均固接有斜板的一端，两个所述斜板的另一端均固接有电动球阀的一侧壁，所述电动球阀的出水端固接有排液管，两个所述电动球阀的另一侧壁固接有横箱，所述横箱顶部左右两侧均固接有过液网，所述横箱的内部左右两侧均设有放料机构，所述过液网的顶部设有搅拌机构，所述罐体的内腔下部设有控水机构。

优选的，所述搅拌机构包括第一轴承、第二轴承和底板，所述第一轴承和第二轴承分别固接于左右两个过液网上，所述底板固接于罐体的右侧壁顶部，所述底板的上部设有电机，所述电机的转动端固接有转动杆，所述转动杆通过密封轴承贯穿罐体，所述转动杆从右至左贯穿第二轴承和第一轴承，所述转动杆位于两个过液网上方的外壁固接有若干个搅拌杆。

优选的，所述放料机构包括座筒和挡板，所述放料机构包括支板和挡板，所述支板固接于横箱的内部侧壁，所述挡板通过转轴活动安装于横箱的顶部，所述挡板所述支板的上表面固接有摆动气缸，所述摆动气缸的输出端固接有顶杆的一端，所述顶杆的另一端与滑槽滑动卡接。

优选的，所述控水机构包括第一筛板、第二筛板和电动伸缩杆，所述第一筛板固接于罐体的内壁，所述第一筛板的底部紧密贴有第二筛板，所述电动伸缩杆设于第二筛板的右端下方，且与罐体相连，所述第二筛板的左端底部设有挡板，且挡板与罐体相连，所述第一筛板和第二筛板上均开有多个筛眼，所述第一筛板和第二筛板上的筛眼交错开来，所述第二筛板的右端底部固接有竖板，所述电动伸缩杆的输出端与竖板相连。

优选的，所述挡板与横箱连接的缝隙之间设有密封条，所述密封条与横箱相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种多晶硅原料清洗装置，通过整个清洗过程都在封闭的罐体里进行，搅拌机构中的搅拌杆对多晶硅进行搅拌，使氢氟酸和硝酸与之完全接触，通过放料机构将浸泡后的多晶硅进行传递，进行纯水冲洗，浸泡的废弃液体和水分别通过排液管和电磁阀排出。

本实用新型提供一种多晶硅原料清洗装置，达到了封闭环境清洗避免污染室内环境的效果，实现了可以规律化回收废弃液体和水的好处。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型剖视的正视图；

图3为图2的A处结构放大示意图；

图4为图2的B处结构放大示意图；

图5为图2的C处结构放大示意图；

图6为本实用新型第一筛板和第二筛板连接的立体图。

图中：1-罐体、2-进液管、3-进料管、4-密封舱门、5-搅拌机构、51-第一轴承、52-搅拌杆、53-第二轴承、54-转动杆、55-密封轴承、56-电机、57-底板、6-放料机构、61-挡板、62-转轴、63-滑槽、64-顶杆、65-摆动气缸、66-支板、7-控水机构、71-第一筛板、72-筛眼、73-第二筛板、74-竖板、75-电动伸缩杆、76-挡板、8-支架、9-电磁阀、10-进水管、11-排液管、12-过液网、13-斜板、14-电动球阀、15-横箱、16-喷淋头、17-密封条。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅原料清洗装置，包括罐体1，罐体1的左右两侧壁底部均固接装配有支架8，罐体1的正表面底部安装有密封舱门4，罐体1的上部左右两侧分别进液管2和进料管3，罐体1的底部固接有电磁阀9，电磁阀9与罐体1相连通，罐体1的右侧壁中心处固接有进水管10，进水管10位于罐体1内部的一端固接有喷淋头16，罐体1的内部左右两侧壁均固接有斜板13的一端，两个斜板13的另一端均固接有电动球阀14的一侧壁，电动球阀14的出水端固接有排液管11，两个电动球阀14的另一侧壁固接有横箱15，横箱15顶部左右两侧均固接有过液网12，横箱15的内部左右两侧均设有放料机构6，过液网12的顶部设有搅拌机构5，罐体1的内腔下部设有控水机构7。

罐体1为清洗装置的主体结构，为承载主体，支架8将罐体1进行支撑，密封舱门4将罐体1进行密封，类似滚筒洗衣机的舱门，增加密封程度，防止纯水冲洗过程水会溢出，进液管2可以使注入氢氟酸和硝酸，进料管3可以使多晶硅原料进入罐体1的内部，电磁阀9的开放使冲洗过多晶硅的纯水排出罐体1的外部，进水管10使纯水进入罐体1的内部，传递到喷淋头16处，以此进行喷洒冲洗，斜板13的斜度使氢氟酸和硝酸流至电动球阀14的内部，电动球阀14的控制使用过的氢氟酸和硝酸排出状态，电动球阀14开放时，液体通过排液管11流出罐体1的外部，横箱15搭载过液网12和放料机构6，过液网12在保证氢氟酸和硝酸可以通过的同时，也将多晶硅原料隔在中心处，放料机构6可以控制多晶硅从横箱15上掉落，搅拌机构5对多晶硅进行搅拌，增加多晶硅与氢氟酸和硝酸接触的均匀程度，控水机构7在接纳清洗过后的多晶硅的同时，可以将冲洗的纯水进行排出。

具体而言，搅拌机构5包括第一轴承51、第二轴承53和底板57，第一轴承51和第二轴承53分别固接于左右两个过液网12上，底板57固接于罐体1的右侧壁顶部，底板57的上部设有电机56，电机56的转动端固接有转动杆54，转动杆54通过密封轴承55贯穿罐体1，转动杆54从右至左贯穿第二轴承53和第一轴承51，转动杆54位于两个过液网12上方的外壁固接有若干个搅拌杆52。

第一轴承51和第二轴承53为转动杆提供支撑点，使转动杆54可以在其内部转动，底板57搭载电机56，电机56的转动使转动杆54转动，密封轴承55使转动杆54可以进入罐体1的内部且进行密封，转动杆54带动搅拌杆52转动，对泡在氢氟酸和硝酸内部的多晶硅进行搅拌。

具体而言，放料机构6包括支板66和挡板61，支板66固接于横箱15的内部侧壁，挡板61通过转轴62活动安装于横箱15的顶部，挡板支板66的上表面固接有摆动气缸65，摆动气缸65的输出端固接有顶杆64的一端，顶杆64的另一端与滑槽63滑动卡接。

支板66搭载摆动气缸65，摆动气缸65工作带动顶杆64转动，以此控制挡板61的运动，水平状态时，多晶硅停留在挡板61上进行浸泡，两块挡板61倾斜时，中间位置产生缝隙，多晶硅因为重力的原因滑落，滑槽64限制住顶杆64的活动范围，顶杆64转动时，挡板61因为重力的原因下降，但是因为转轴62的限制，挡板61在横箱15上以转轴62为转动点转动，顶杆64向竖直状态转动时，将挡板61顶动恢复水平状态。

具体而言，控水机构7包括第一筛板71、第二筛板73和电动伸缩杆75，第一筛板71固接于罐体1的内壁，第一筛板71的底部紧密贴有第二筛板73，电动伸缩杆75设于第二筛板73的右端下方，且与罐体1相连，第二筛板73的左端底部设有挡板76，且挡板76与罐体1相连，第一筛板71和第二筛板73上均开有多个筛眼72，第一筛板71和第二筛板73上的筛眼72交错开来，第二筛板73的右端底部固接有竖板74，电动伸缩杆75的输出端与竖板74相连。

第一筛板71接纳掉落下的多晶硅，纯水对多晶硅进行清洗，正常状态下，电动伸缩杆75推动第二筛板73，使第一筛板71和第二筛板73上的筛眼72交错，且将第一筛板71的筛眼72挡住，水不能流下停留在第一筛板71的上表面对多晶硅进行浸泡，完成一次冲洗后，通过继电器控制电动伸缩杆75使第二筛板73运动，使两个筛板的筛眼72互通，水通过筛眼72流出至罐体1的底部，进行下一次冲洗，第二筛板73在挡板76上滑动，防止掉落，排水过后电动伸缩杆75推动第二筛板73复位，竖板74是电动伸缩杆75传递动力至第二筛板73上的媒介。

具体而言，挡板61与横箱15连接的缝隙之间设有密封条17，密封条17与横箱15相连。

密封条17防止液体顺着缝隙泄漏至下方。

工作原理：将氢氟酸和硝酸通过进液管2注入罐体1的内部，将多晶硅通过进料管3进入罐体1的内部，将氢氟酸和硝酸与多晶硅进行混合，接通电机56的电源，带动转动杆54转动使搅拌杆52转动，不断翻动多晶硅，使多晶硅与液体进行充分接触，浸泡过后，电动球阀14开启，液体可以流出，通过排液管11流出罐体1，摆动气缸65工作带动顶杆64转动，挡板61因为重力的原因下降，两个挡板61倾斜，使多晶硅掉落至第一筛板71上，通过进水管10进水导至喷淋头16上，进行喷水冲洗，每冲洗一次后，继电器控制电动伸缩杆75使第二筛板73运动，使两个筛板的筛眼72互通，水通过筛眼72流出至罐体1的底部，进行下一次冲洗，打开电磁阀9，使冲洗的水可以流出，打开密封舱门4可以取出清洗好的多晶硅，完成清洗。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设置备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种多晶硅原料清洗装置，包括罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)的左右两侧壁底部均固接装配有支架(8)，所述罐体(1)的正表面底部安装有密封舱门(4)，所述罐体(1)的上部左右两侧分别进液管(2)和进料管(3)，所述罐体(1)的底部固接有电磁阀(9)，所述电磁阀(9)与罐体(1)相连通，所述罐体(1)的右侧壁中心处固接有进水管(10)，所述进水管(10)位于罐体(1)内部的一端固接有喷淋头(16)，所述罐体(1)的内部左右两侧壁均固接有斜板(13)的一端，两个所述斜板(13)的另一端均固接有电动球阀(14)的一侧壁，所述电动球阀(14)的出水端固接有排液管(11)，两个所述电动球阀(14)的另一侧壁固接有横箱(15)，所述横箱(15)顶部左右两侧均固接有过液网(12)，所述横箱(15)的内部左右两侧均设有放料机构(6)，所述过液网(12)的顶部设有搅拌机构(5)，所述罐体(1)的内腔下部设有控水机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅原料清洗装置，其特征在于：所述搅拌机构(5)包括第一轴承(51)、第二轴承(53)和底板(57)，所述第一轴承(51)和第二轴承(53)分别固接于左右两个过液网(12)上，所述底板(57)固接于罐体(1)的右侧壁顶部，所述底板(57)的上部设有电机(56)，所述电机(56)的转动端固接有转动杆(54)，所述转动杆(54)通过密封轴承(55)贯穿罐体(1)，所述转动杆(54)从右至左贯穿第二轴承(53)和第一轴承(51)，所述转动杆(54)位于两个过液网(12)上方的外壁固接有若干个搅拌杆(52)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅原料清洗装置，其特征在于：所述放料机构(6)包括支板(66)和挡板(61)，所述支板(66)固接于横箱(15)的内部侧壁，所述挡板(61)通过转轴(62)活动安装于横箱(15)的顶部，所述挡板所述支板(66)的上表面固接有摆动气缸(65)，所述摆动气缸(65)的输出端固接有顶杆(64)的一端，所述顶杆(64)的另一端与滑槽(63)滑动卡接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅原料清洗装置，其特征在于：所述控水机构(7)包括第一筛板(71)、第二筛板(73)和电动伸缩杆(75)，所述第一筛板(71)固接于罐体(1)的内壁，所述第一筛板(71)的底部紧密贴有第二筛板(73)，所述电动伸缩杆(75)设于第二筛板(73)的右端下方，且与罐体(1)相连，所述第二筛板(73)的左端底部设有挡板(76)，且挡板(76)与罐体(1)相连，所述第一筛板(71)和第二筛板(73)上均开有多个筛眼(72)，所述第一筛板(71)和第二筛板(73)上的筛眼(72)交错开来，所述第二筛板(73)的右端底部固接有竖板(74)，所述电动伸缩杆(75)的输出端与竖板(74)相连。

5.根据权利要求3所述的一种多晶硅原料清洗装置，其特征在于：所述挡板(61)与横箱(15)连接的缝隙之间设有密封条(17)，所述密封条(17)与横箱(15)相连。

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