CN215682803U - 真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括无尘车间和控制柜。无尘车间具有墙壁，墙壁上开设有贯通的安装口。控制柜包括第一侧壁、第二侧壁、控制面板和检修门。第二侧壁与第一侧壁相邻；控制面板安装于第一侧壁。检修门安装于控制柜的第二侧壁。控制柜密封地安装于安装口，使控制柜嵌入墙壁中，且控制面板朝向无尘车间。本实用新型的真空镀膜设备避免了对控制柜检修时影响无尘室内的洁净度，提高了操作安全性。

Description

真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备用于对工件表面镀膜。因设备生产对环境的要求极高，一般需要配置无尘车间，工作人员在无尘车间中完成对工件的安装卸载工作。真空镀膜设备包括控制柜，以实现在整个镀膜过程中，对各个工序的电控制。例如，控制柜可以包括触摸屏，工作人员可以通过操作触摸屏以控制其他装置实现对工件的安装卸载。

相关技术中，控制柜设置在无尘车间中，便于工作人员操作。传统的控制柜，检修门与触摸屏位于控制柜的同侧，在对控制柜进行日常维护时，需要打开检修门，对控制柜内的电路底板以及其他装置进行检修以及清洁，但是这会影响到无尘车间内的洁净度，同时由于控制柜的多个电器件均设置在无尘室内，增加了工作人员触电的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备，对控制柜检修不影响无尘车间清洁度，并且提高操作安全性。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供一种真空镀膜设备，包括：无尘车间和控制柜。无尘车间具有墙壁，所述墙壁上开设有贯通的安装口。控制柜包括：第一侧壁、第二侧壁、控制面板和检修门。第二侧壁与所述第一侧壁相邻；控制面板安装于所述第一侧壁。检修门安装于所述第二侧壁。所述控制柜密封地安装于所述安装口，使所述控制柜嵌入所述墙壁中，且所述控制面板朝向所述无尘车间。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜的外壁与所述安装口之间设有密封圈。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜还包括控制电路板，设于所述控制柜内部。

根据本实用新型一示例性实施例，所述第一侧壁开设有第一安装孔，所述控制面板安装于所述第一安装孔，且所述控制面板与所述第一安装孔件之间设有第一密封环。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制面板为触摸屏，所述触摸屏与所述控制电路板电连接。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜还包括：信号灯，设于所述第一侧壁，并与所述控制电路板电连接。所述第一侧壁上开设有第二安装孔；所述信号灯安装于所述第二安装孔，且所述信号灯和所述第二安装孔件之间设有第二密封环。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜还包括：收纳腔室，位于所述控制面板的下方，所述收纳腔室自所述第一侧壁向所述控制柜内部凹陷，使所述收纳腔室的开口朝向所述无尘车间，且所述收纳腔室的开口端与所述第一侧壁密封连接。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜还包括：抽拉式托盘，设于所述收纳腔室中，所述抽拉式托盘包括：托盘本体；滑轨，设于所述收纳腔室的底部，所述托盘本体可滑动地安装于所述滑轨，使所述托盘本体能够沿着所述滑轨抽出或收纳于所述收纳腔室。

根据本实用新型一示例性实施例，所述控制柜还包括盖板，所述盖板设于所述第一侧壁的外侧，并与所述第一侧壁可转动地连接，以打开或关闭所述收纳腔室。

根据本实用新型一示例性实施例，所述收纳腔室与所述第一侧壁一体成型。

由上述技术方案可知，本实用新型具备以下优点和积极效果中的至少之一：

本实用新型的实施例中提供的真空镀膜设备，通过将检修门与控制面板设于控制柜的不同侧，并将控制柜密封地嵌入无尘车间的墙壁中，使控制面板朝向无尘车间，能够将对控制面板的操作地点与检修工作的地点隔离，在无尘车间内对控制面板操作，在无尘车间外进行检修，避免了对控制柜检修时影响无尘室内的洁净度，且提高了安装便利性，实现功能分区，同时还提高检修效率。另外，操作人员在进行操作时，仅接触到控制柜的具有控制面板的一侧，不会误碰其他电器件，降低了操作人员触电的风险。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本实用新型的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1为根据一示例性实施方式示出的真空镀膜设备的立体示意图；

图2为根据一示例性实施方式示出的真空镀膜设备的俯视示意图；

图3为根据一示例性实施方式示出的控制柜的正面示意图；

图4为根据一示例性实施方式示出的收纳腔室以及抽拉式托盘的示意图；

图5为根据一示例性实施方式示出的控制柜的侧面示意图。

附图标记说明：

1、墙壁；2、控制柜；201、第一侧壁；202、第二侧壁；203、控制面板；204、检修门；205、控制按钮；206、信号灯；207、收纳腔室；2071、第一通孔；2072、USB接口；208、抽拉式托盘；2081、托盘本体；2082、滑轨；209、盖板；210、散热口；3、电器件底板；4、键盘；5、鼠标。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

在对本实用新型的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本实用新型的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本实用新型的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本实用新型范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本实用新型的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本实用新型的范围内。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”、“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便。如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。用语“一”、“该”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

如图1至图5所示，图1示出了真空镀膜设备的控制柜2嵌入无尘车间的墙壁1的立体示意图。图2示出了控制柜2嵌入无尘车间墙壁1的俯视示意图；图3示出了控制柜2的正面示意图。图4示出了收纳腔室207以及位于其中的抽拉式托盘208的示意图。图5示出了控制柜2的侧面示意图。如图1所示，本实用新型实施例的真空镀膜设备包括：无尘车间和控制柜2。其中，无尘车间具有墙壁1，墙壁1上开设有贯通的安装口。控制柜2包括：第一侧壁201、第二侧壁202、控制面板203和检修门204。第二侧壁202与第一侧壁201相邻。控制面板203安装于第一侧壁201。检修门204安装于控制柜2的第二侧壁202。控制柜2密封地安装于安装口，使控制柜2嵌入墙壁中，且控制面板203朝向无尘车间。

本实用新型的实施例中提供的真空镀膜设备，通过将检修门204与控制面板203设于控制柜2的不同侧，并将控制柜2密封地嵌入无尘车间的墙壁中，使控制面板203朝向无尘车间，能够将对控制面板203的操作地点与检修工作的地点隔离，在无尘车间内对控制面板203操作，在无尘车间外进行检修，避免了对控制柜2检修时影响无尘室内的洁净度，且提高了安装便利性，实现功能分区，同时还提高检修效率。另外，操作人员在进行操作时，仅接触到控制柜2的具有控制面板203的一侧，不会误碰其他电器件，降低了操作人员触电的风险。

下面对本实用新型实施例的真空镀膜设备进行详细的说明。

本实用新型的真空镀膜设备包括镀膜腔室、真空机组、控制柜2和无尘车间等。无尘车间与镀膜腔室连通，通过密封门隔离。工作人员在无尘车间中完成待镀膜工件的安装与卸载，并操作控制柜2控制面板203，当完成待镀膜工件的准备工作后，开启密封门，将该工件直接运送至镀膜腔室中进行真空镀膜。真空机组用于对镀膜腔室抽真空。

如图1和图2所示，本实用新型实施例的控制柜2可以为长方体结构，具有相邻的第一侧壁201和第二侧壁202。控制柜2内部设有工控机等电器件，且这些电器件设于电器件底板3上。

如图2所示，控制面板203安装于第一侧壁201，控制面板203可以是触摸屏，操作人员可以触控操作。控制柜2还包括控制电路板(图中未示出)，设于控制柜2内部，控制面板203与与控制电路板电连接，工作人员通过对控制面板203进行操作，可以相应控制各个与控制电路板电连接的部件。

在一实施例中，第一侧壁201开设有第一安装孔(图中未示出)，控制面板203安装于第一安装孔，且控制面板203与第一安装孔件之间设有第一密封环。由于第一侧壁201朝向无尘车间，因此，需要保证第一侧壁201与控制柜2内部密封隔离，进而保证控制柜2内部的灰尘不会进入到无尘车间中，避免影响无尘车间的洁净度。控制面板203可以为触摸屏，触摸屏与控制电路板电连接，以实现触控操作。

在一实施例中，如图3和图5所示，控制柜2还包括信号灯206，设于第一侧壁201，并与控制电路板电连接。控制面板203上开设有第二安装孔(图中未示出)；信号灯206安装于第二安装孔，且信号灯206和第二安装孔件之间设有第二密封环，以保证无尘车间与控制柜2的内部密封隔离。

在一实施例中，如图1和图3所示，控制柜2还包括控制按钮205，控制按钮205设于第一侧壁201，并与控制电路板电连接。控制按钮205可以与触摸屏配合操作，也可以用来启动或关闭该控制柜2内的电器件运行。第一侧壁201上还开设有第三安装孔，控制按钮205安装于该第三安装孔，且控制按钮205与第三安装孔之间设有第三密封环，以保证无尘车间与控制柜2内部密封隔离。第三安装孔的数量与控制按钮205的数量相等，如图1和图3所示，本实施例中，控制按钮205的数量为三个，第三安装孔的数量也为三个，当然，控制按钮205的数量也可以是一个、两个、四个或更多个，本领域技术人员可以根据实际情况设置，此处不做特殊限定。

在一实施例中，如图3和图4所示，控制柜2还包括收纳腔室207，位于控制面板203的下方，收纳腔室207自第一侧壁201向控制柜2内部凹陷，使收纳腔室207的开口朝向无尘车间，且收纳腔室207的开口端与第一侧壁201密封连接。

在一实施例中，收纳腔室207可以与第一侧壁201一体成型，即收纳腔室207的侧壁与第一侧壁201一体成型，如此能够最大程度地保证无尘车间与控制柜2内部密封隔离。

在另一实施例中，收纳腔室207也可以是一个具有开口的壳体，壳体内部为腔室。在第一侧壁201对应该收纳腔室207的位置处开设一贯通的收纳口，壳体的侧壁的开口端与第一侧壁201的收纳口的四周的部分密封连接，使壳体的开口对应收纳口。其中，壳体的侧壁的开口端可以与第一侧壁201通过焊接或粘接的方式密封连接，此处不做特殊限定。

在一实施例中，控制柜2还包括抽拉式托盘208，设于收纳腔室207中。抽拉式托盘208包括托盘本体2081和滑轨2082。其中，滑轨2082设于收纳腔室207的底部，托盘本体2081可滑动地安装于滑轨2082，以对托盘本体2081起到支撑的作用，并使托盘本体2081能够沿着滑轨2082抽出或收纳于收纳腔室207。收纳腔室207的深度(即收纳腔室207的自其开口沿着抽拉方向向控制柜2内部延伸的距离)不小于托盘本体2081的沿抽拉方向的尺寸，以保证抽拉式托盘208能够完全容纳于该收纳腔室207中。

抽拉式托盘208用于承载外部设备，该外部设备可以是键盘4、鼠标5。当使用该外部设备时，将托盘本体2081抽出控制柜2，当使用完毕后，将托盘本体2081推进控制柜2内，以将该外部设备收纳于收纳腔室207中，避免了将外部设备暴露在控制柜2外面，容易产生磕碰，造成人身伤害的危险，并且能够防止无关人员误碰，提高了控制权限管理的安全性，并且使控制柜2的外形更加美观

进一步地，如图4所示，收纳腔室207的侧壁开设有第一通孔2071，使抽拉式托盘208上的外部设备的连接线穿过第一通孔2071连接到控制柜2内部的工控机。如键盘4和鼠标5的连接线可以通过该第一通孔2071与工控机连接，以实现鼠标5和键盘4的操作。

进一步地，为了保证收纳腔室207内与控制柜2内部密封隔离，在第一通孔2071中设有密封圈。具体地，密封圈设于第一通孔2071的内壁与外部设备的连线之间。

进一步地，继续参考图4，第一侧壁201还开设有贯通的USB接口2072。在控制柜2内部对应USB接口2072处设有USB接口板，USB接口板与工控机电连接。当外部需要使用USB设备时，可以直接将USB设备插在该USB接口2072处，即可与USB接口板连接。由于USB接口板设于USB接口2072处，因此，也能够实现该USB接口2072与柜体1内部密封隔离。

进一步地，如图1和图3所示，控制柜2还包括盖板209，盖板209设于第一侧壁201的外侧，并与第一侧壁201转动连接，以打开或关闭收纳腔室207。盖板209可以与第一侧壁201通过铰链铰接，使盖板209可以相对于第一侧壁201翻转打开。盖板209可以为能够覆盖收纳腔室207的开口的板体，板体的外侧设有便于打开或关闭的把手。为了使盖板209能够稳固地覆盖在收纳腔室207的开口，可以在盖板209的内侧与第一侧壁201之间设置磁性件，当盖板209关闭时，设于盖板209内侧的磁性件可以与设于第一侧壁201相应位置的磁性件相吸。

在一实施例中，控制柜2的第一侧壁201可以是一安装板，该安装板取代第一侧壁201，且该安装板的厚度大于第一侧壁201的厚度，以便于安装上述实施例中的控制面板203、信号灯206、控制按钮205。

在一实施例中，控制柜2嵌入无尘车间的墙壁1中，为了进一步保证无尘车间的密封性，在控制柜2的外壁与安装口之间设置密封圈。

在一实施例中，如图5所示，检修门204设于第二侧壁202，在进行日常维护时，将检修门204打开，并可以进入控制柜2内部进行维护与清洁。检修门204可以是双开式检修门，可以在检修时预留充分的空间，便于检修工作。当然，也可以是单开式检修门。检修门204的数量可以是一个、两个或三个，本领域技术人员可以根据实际需求设置，此处不做特殊限定。

在一实施例中，如图5所示，控制柜2还开设有多个散热口210。散热口210可以开设于检修门204，也可以开设于第二侧壁202的其他位置，或者开设于除第一侧壁201的其他位置，以能够及时对控制柜2内部的电器件以及面板组件散热。

综上，本实用新型的实施例中提供的真空镀膜设备，通过将检修门204与控制面板203设于控制柜2的不同侧，并将控制柜2密封地嵌入无尘车间的墙壁中，使控制面板203朝向无尘车间，能够将对控制面板203的操作地点与检修工作的地点隔离，在无尘车间内对控制面板203操作，在无尘车间外进行检修，避免了对控制柜2检修时影响无尘室内的洁净度，且提高了安装便利性，实现功能分区，同时还提高检修效率。另外，操作人员在进行操作时，仅接触到控制柜2的具有控制面板203的一侧，不会误碰其他电器件，降低了操作人员触电的风险。

应可理解的是，本实用新型不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本实用新型能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本实用新型的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本实用新型延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本实用新型的多个可替代方面。本说明书的实施方式说明了已知用于实现本实用新型的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本实用新型。

Claims (10)

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：

无尘车间，具有墙壁(1)，所述墙壁(1)上开设有贯通的安装口；

控制柜(2)，包括：

第一侧壁(201)；

第二侧壁(202)，与所述第一侧壁(201)相邻；

控制面板(203)，安装于所述第一侧壁(201)；

检修门(204)，安装于所述第二侧壁(202)；

所述控制柜(2)密封地安装于所述安装口，使所述控制柜(2)嵌入所述墙壁(1)中，且所述控制面板(203)朝向所述无尘车间。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)的外壁与所述安装口之间设有密封圈。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)还包括控制电路板，设于所述控制柜(2)内部。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一侧壁(201)开设有第一安装孔，所述控制面板(203)安装于所述第一安装孔，且所述控制面板(203)与所述第一安装孔件之间设有第一密封环。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制面板(203)为触摸屏，所述触摸屏与所述控制电路板电连接。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)还包括：

信号灯(206)，设于所述第一侧壁(201)，并与所述控制电路板电连接；

所述第一侧壁(201)上开设有第二安装孔；

所述信号灯(206)安装于所述第二安装孔，且所述信号灯(206)和所述第二安装孔件之间设有第二密封环。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)还包括：

收纳腔室(207)，位于所述控制面板(203)的下方，所述收纳腔室(207)自所述第一侧壁(201)向所述控制柜(2)内部凹陷，使所述收纳腔室(207)的开口朝向所述无尘车间，且所述收纳腔室(207)的开口端与所述第一侧壁(201)密封连接。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)还包括：

抽拉式托盘(208)，设于所述收纳腔室(207)中，所述抽拉式托盘(208)包括：

托盘本体(2081)；

滑轨(2082)，设于所述收纳腔室(207)的底部，所述托盘本体(2081)可滑动地安装于所述滑轨(2082)，使所述托盘本体(2081)能够沿着所述滑轨(2082)抽出或收纳于所述收纳腔室(207)。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述控制柜(2)还包括盖板(209)，所述盖板(209)设于所述第一侧壁(201)的外侧，并与所述第一侧壁(201)可转动地连接，以打开或关闭所述收纳腔室(207)。

10.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述收纳腔室(207)与所述第一侧壁(201)一体成型。

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