CN215656725U - 一种花篮抓取装置 - Google Patents

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李伟凡
靳立辉
杨骅
任志高
耿名强
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Abstract

本实用新型涉及一种花篮抓取装置,其上设有接触传感装置和防撞传感装置,抓取机械手包括安装基板和夹持结构,两个夹持结构可移动对称设置在安装基板两侧,夹持结构上可移动设有夹爪;接触传感装置设置在夹持结构上,抓取花篮时,接触传感装置末端能够接触花篮;防撞传感装置设置在夹持结构上,夹爪移动时触发防撞传感装置。本实用新型的有益效果是:通过接触传感装置控制夹爪夹取幅度,在生产线硅片花篮自动抓取及搬移过程中,避免抓取不到位导致花篮坠落,也能够避免抓取过紧导致花篮变形损坏;防撞传感器能够对花篮高度进行监控,当遇见障碍物时能够触发防撞传感器,及时抬起花篮,避免对硅片造成损坏;提高了设备的智能性和安全性。

Description

一种花篮抓取装置
技术领域
本实用新型属于硅片清洗花篮自动搬运上料技术领域,尤其是涉及一种花篮抓取装置,能够用于硅片清洗自动移栽清洗机。
背景技术
现有的硅片清洗花篮抓取机构,大部分只能实现简单的抓取、搬运动作。抓取花篮的过程中无法识别是否抓取到位,造成花篮掉落或过度抓取的现象;另外当抓取花篮放入一个清洗槽的过程中,如果该清洗槽中存在没有移走的花篮,就会发生两花篮相撞,对花篮内的硅片造成损坏;现用花篮抓取机构的夹爪从一清洗槽退出时,会带走一部分清洗液,清洗液一旦沾到硅片表面暴露空气中就会造成硅片发脏,此外当抓取机构进入下一清洗槽时,会对下一清洗液造成污染。因此,在这种情况下,需要一种新型花篮抓取机构,来解决以上生产问题。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种花篮抓取装置。
本实用新型采用的技术方案是:一种花篮抓取装置,包括,
抓取机械手,包括安装基板和夹持结构,两个夹持结构可移动对称设置在安装基板两侧,夹持结构上可移动设有夹爪;
接触传感装置,设置在夹持结构上,抓取花篮时,接触传感装置末端能够接触花篮;
防撞传感装置,设置在夹持结构上,夹爪移动时触发防撞传感装置。
优选地,夹持结构包括驱动气缸、夹爪安装板和夹爪,驱动气缸固定设置在安装基板上,驱动气缸可移动端连接夹爪安装板,多个夹爪可移动设置在夹爪安装板的夹爪导向槽中。
优选地,一个夹爪安装板上包括偶数个夹爪,相邻两个夹爪为一组,每一组夹爪间设有一个接触传感装置。
优选地,接触传感装置包括触杆和接触传感器,接触传感器固定设置在夹爪安装板上,触杆铰接在夹爪安装板上,底端向内倾斜,顶部与接触传感器配合,抓取花篮时,触杆末端能够受花篮挤压触发接触传感器。
优选地,触杆与夹爪安装板连接处设有扭力弹簧。
优选地,触杆顶部垂直连接有连接轴,连接轴另一端连接有连接杆,连接杆末端连接有位移触发片,位移触发片能够触发接触传感器。
优选地,防撞传感装置包括防撞触发片和防撞传感器,防撞触发片设置在每个夹爪顶部,防撞传感器固定在夹爪安装板的一端或两端。
优选地,夹爪底部向下设有尖角。
优选地,还设有直线矫正装置,包括直线导轨和轴承连接板,直线导轨和轴承连接板通过滑动轴承连接,直线导轨与安装基板连接,两个轴承连接板分别连接两个夹爪安装板。
优选地,直线矫正装置包括设置在安装基板一侧的一个,或包括对称设置在安装基板两侧的两个。
本实用新型具有的优点和积极效果是:通过接触传感装置控制夹爪夹取幅度,在生产线硅片花篮自动抓取及搬移过程中,避免抓取不到位导致花篮坠落,也能够避免抓取过紧导致花篮变形损坏;防撞传感器能够对花篮高度进行监控,当遇见障碍物时能够触发防撞传感器,及时抬起花篮,避免对硅片造成损坏;提高了设备的智能性和安全性,避免物料损失;另外通过改变夹爪形状,快速倒流残存的清洗液,降低硅片清洗脏片率,提高硅片清洗合格率。
附图说明
图1是本实用新型一个实施例结构示意图;
图2是本实用新型一个实施例花篮抓取装置抓取花篮结构示意图;
图3是本实用新型一个实施例接触传感装置结构示意图;
图4是本实用新型一个实施例抓取花篮时夹爪状态结构示意图;
图5是本实用新型一个实施例夹爪结构示意图;
图6是本实用新型一个实施例接触传感装置结构示意图;
图7是本实用新型一个实施例接触传感器结构示意图;
图8是本实用新型一个实施例防撞传感装置安装示意图;
图9是本实用新型一个实施例防撞传感器安装示意图。
图中:
1、安装基板 2、夹爪安装板 3、驱动气缸
4、直线导轨 5、轴承连接板 6、滑动轴承
7、加强筋 8、防撞触发片 9、防撞传感器
10、夹爪 11、夹爪导向槽 12、触杆
13、接触传感器 14、连接轴 15、连接杆
16、位移触发片
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
如图1所示,本实用新型涉及一种花篮抓取装置,具体为抓取机械手,抓取机械手上设有接触传感装置和防撞传感装置;接触传感装置用于检测是否抓取到花篮,并保持对花篮合适的抓取力度,防撞传感装置用于检测待放置花篮的为准是否有已存放有花篮或其他异物。
抓取机械手包括安装基板1和夹持结构,两个夹持结构可移动对称设置在安装基板1两侧;夹持结构包括驱动气缸3、夹爪安装板2和夹爪10,驱动气缸3固定设置在安装基板1上,驱动气缸3可移动端连接夹爪安装板2,为了使得夹爪安装板2能够稳定移动,每个夹爪安装板2上可对称设置两个驱动气缸3,设置安装在安装基板1上的四个驱动气缸3同步运行,从而使得两个夹爪安装板2能够镜像稳定的移动。在本方案某些实施例中,还设有直线矫正装置,直线矫正装置包括直线导轨4和轴承连接板5,直线导轨4和轴承连接板5通过滑动轴承6连接,使得轴承连接板5能够沿直线导轨4做往复运动;直线导轨4与安装基板1固定连接,两个轴承连接板5分别连接两个夹爪安装板2;为了加强轴承连接板5和夹爪安装板2间的连接,还可增加三角形的加强筋7。直线矫正装置可包括设置在安装基板1一侧的一个,或包括对称设置在安装基板1两侧的两个。
夹爪安装板2上设有多个夹爪10,多个夹爪10可移动设置在夹爪安装板2的夹爪导向槽11中,能够用于抓取花篮。一个夹爪安装板2上包括偶数个夹爪10,相邻两个夹爪10为一组,对称设置的一组夹爪10可用于抓取一个花篮,多个夹爪10的设置使得抓取机械手能够一次性抓取多个花篮,如图2所示。本方案所涉及的花篮抓取装置适用于结构匹配的花篮,花篮两端的侧壁上设有抓取孔,与夹爪10配合挂在夹爪10上。
为了解决夹爪10抓取不到位导致花篮脱落,或抓取过紧导致压迫花篮,致其损毁,在每一组夹爪10间设有一个接触传感装置,由于两侧的夹爪安装板2为镜像移动,接触传感装置可设置在每一组夹爪10间,或者也可只是设置在一侧夹爪安装板2的每一组夹爪10间。如图4所示,抓取花篮时,接触传感装置末端能够接触花篮,从而控制夹持结构的运行,适当的抓取花篮。
接触传感装置包括触杆12和接触传感器13,如图3所示,接触传感器13固定设置在夹爪安装板2上,触杆12通过安装轴杆铰接在夹爪安装板2上,底端向内倾斜,顶部与接触传感器13配合,抓取花篮时,触杆12末端能够受花篮挤压触发接触传感器13。为了使得触杆12在脱离花篮侧壁后恢复到原位,触杆12与夹爪安装板2连接处的安装轴杆上设有扭力弹簧。通过接触传感器13的信号信息即可判断夹爪10上是否抓取到花篮,从而保证花篮的有效抓取,并保证不会过度抓取。
本实用新型某些实施例中,触杆12顶部垂直连接有连接轴14,连接轴14另一端连接有连接杆15,连接杆15末端连接有位移触发片16,位移触发片16能够触发接触传感器13,连接轴14轴向固定设置,可转动,触杆12抬起后会转动连接轴14,连接轴14另一端的连接杆15带动位移触发片16触发或脱离接触传感器13,具体结构如图6-7所示,其中接触传感器13可采用PM-Y44光电开关传感器。
花篮抓取装置上还设有防撞传感装置,设置在夹持结构上,具体包括防撞触发片8和防撞传感器9,防撞触发片8设置在每个夹爪10顶部,防撞传感器9固定在夹爪安装板2的一端或两端,如图8-9所示,本实用新型某些实施例中,防撞传感器9了采用CX-411对射光电开关传感器。夹爪10可移动设置在夹爪安装板2上,夹爪安装板2上设有夹爪导向槽11,夹爪导向槽11为外部收缩,内部扩张的槽状,夹爪10上设有形状匹配的凸起结构,凸起结构能够嵌合到夹爪导向槽11中,并在夹爪导向槽11中沿轴向往复移动,从而使得夹爪10能够在夹爪导向槽11中上下移动;如图5所示,夹爪10上端连接设有宽于所述夹爪10的限定板,避免夹爪10从夹爪导向槽11中脱落,在本实用新型某些实施例中夹爪10下端也向外凸出,避免夹爪10上移的过程中脱落;夹爪10或限定板上设有防撞触发片8,当夹爪10处于自然垂落状态时,防撞触发片8处于防撞传感器9范围外;夹爪10向内凸出设有受力柱,受力柱伸入到花篮侧壁的通孔中,夹取后将花篮提起;通孔呈长条状态,当花篮下方有异物时,花篮抓取装置放下花篮时,异物会阻挡花篮下降,受力柱受到通孔下边缘阻挡,使得夹爪10能够相对于夹爪安装板2向上移动,设置在夹爪10上的防撞触发片8向上抬起,触发防撞传感器9;花篮抓起装置接收到碰触到异物的信息后,暂停向下移动或立即抬起,避免花篮继续下落造成物料损失。
传统使用的机械手在夹爪10处容易产生清洁液残留,在花篮移动过程中容易产生脏片,本方案中夹爪10底部向下设有尖角,快速导流使得清洁液快速滴落,降低硅片脏片率。
实施例1:
一种花篮抓取装置,具体为抓取机械手,其上设有接触传感器13和防撞传感器9。
抓取机械手包括安装基板1和夹持结构,两个夹持结构可移动对称设置在安装基板1两侧,夹持结构上可移动设有夹爪10,一个夹爪安装板2上包括8个夹爪10,夹爪10底部向下设有尖角,相邻两个夹爪10为一组,每一个夹爪安装板2上包括4组,使得花篮抓取装置能够同时抓取4个花篮;夹持结构包括驱动气缸3、夹爪安装板2和夹爪10,驱动气缸3固定设置在安装基板1上,驱动气缸3可移动端连接夹爪安装板2,16个夹爪10可移动设置在夹爪安装板2的夹爪导向槽11中;还设有直线矫正装置,包括直线导轨4和轴承连接板5,直线导轨4和轴承连接板5通过滑动轴承6连接,直线导轨4与安装基板1连接,两个轴承连接板5分别连接两个夹爪安装板2;直线矫正装置包括对称设置在安装基板1两侧的两个。
接触传感装置设置在夹持结构上,每一组夹爪10间设有一个接触传感装置,抓取花篮时,接触传感装置末端能够接触花篮;接触传感装置包括触杆12和接触传感器13,接触传感器13固定设置在夹爪安装板2上,触杆12铰接在夹爪安装板2上,底端向内倾斜,顶部与接触传感器13配合,抓取花篮时,触杆12末端能够受花篮挤压触发接触传感器13;触杆12与夹爪安装板2连接处设有扭力弹簧,触杆12脱离花篮侧壁时触杆12能够自动回弹;触杆12顶部垂直连接有连接轴14,连接轴14另一端连接有连接杆15,连接杆15末端连接有位移触发片16,位移触发片16能够触发接触传感器13。
防撞传感装置设置在夹持结构上,夹爪10移动时触发防撞传感装置;防撞传感装置包括防撞触发片8和防撞传感器9,防撞触发片8设置在每个夹爪10顶部,防撞传感器9固定在夹爪安装板2的两端,夹爪10升起时,防撞触发片8能够触发防撞传感器9。
实施例2:
一种花篮抓取装置,具体为抓取机械手,其上设有接触传感器13和防撞传感器9。
抓取机械手包括安装基板1和夹持结构,两个夹持结构可移动对称设置在安装基板1两侧,夹持结构上可移动设有夹爪10,一个夹爪安装板2上包括4个夹爪10,夹爪10底部向下设有尖角,相邻两个夹爪10为一组,每一个夹爪安装板2上包括2组,使得花篮抓取装置能够同时抓取2个花篮;夹持结构包括驱动气缸3、夹爪安装板2和夹爪10,驱动气缸3固定设置在安装基板1上,驱动气缸3可移动端连接夹爪安装板2,8个夹爪10可移动设置在夹爪安装板2的夹爪导向槽11中;还设有直线矫正装置,包括直线导轨4和轴承连接板5,直线导轨4和轴承连接板5通过滑动轴承6连接,直线导轨4与安装基板1连接,两个轴承连接板5分别连接两个夹爪安装板2;直线矫正装置包括对称设置在安装基板1两侧的两个。
接触传感装置设置在夹持结构上,每一组夹爪10间设有一个接触传感装置,抓取花篮时,接触传感装置末端能够接触花篮;接触传感装置包括触杆12和接触传感器13,接触传感器13固定设置在夹爪安装板2上,触杆12铰接在夹爪安装板2上,底端向内倾斜,顶部与接触传感器13配合,抓取花篮时,触杆12末端能够受花篮挤压触发接触传感器13;触杆12与夹爪安装板2连接处设有扭力弹簧,触杆12脱离花篮侧壁时触杆12能够自动回弹。
防撞传感装置设置在夹持结构上,夹爪10移动时触发防撞传感装置;防撞传感装置包括防撞触发片8和防撞传感器9,防撞触发片8设置在每个夹爪10顶部,防撞传感器9固定在夹爪安装板2的两端,夹爪10升起时,防撞触发片8能够触发防撞传感器9。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种花篮抓取装置,其特征在于:包括,
抓取机械手,包括安装基板和夹持结构,两个所述夹持结构可移动对称设置在所述安装基板两侧,所述夹持结构上可移动设有夹爪;
接触传感装置,设置在所述夹持结构上,抓取花篮时,所述接触传感装置末端能够接触所述花篮;
防撞传感装置,设置在所述夹持结构上,所述夹爪移动时触发所述防撞传感装置。
2.根据权利要求1所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述夹持结构包括驱动气缸、夹爪安装板和所述夹爪,所述驱动气缸固定设置在所述安装基板上,所述驱动气缸可移动端连接所述夹爪安装板,多个所述夹爪可移动设置在所述夹爪安装板的夹爪导向槽中。
3.根据权利要求2所述的花篮抓取装置,其特征在于:一个所述夹爪安装板上包括偶数个所述夹爪,相邻两个所述夹爪为一组,每一组所述夹爪间设有一个所述接触传感装置。
4.根据权利要求3所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述接触传感装置包括触杆和接触传感器,所述接触传感器固定设置在所述夹爪安装板上,所述触杆铰接在所述夹爪安装板上,底端向内倾斜,顶部与所述接触传感器配合,抓取花篮时,所述触杆末端能够受所述花篮挤压触发所述接触传感器。
5.根据权利要求4所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述触杆与所述夹爪安装板连接处设有扭力弹簧。
6.根据权利要求4或5所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述触杆顶部垂直连接有连接轴,所述连接轴另一端连接有连接杆,所述连接杆末端连接有位移触发片,所述位移触发片能够触发所述接触传感器。
7.根据权利要求2-5中任一所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述防撞传感装置包括防撞触发片和防撞传感器,所述防撞触发片设置在每个所述夹爪顶部,所述防撞传感器固定在所述夹爪安装板的一端或两端。
8.根据权利要求7所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述夹爪底部向下设有尖角。
9.根据权利要求2-5和8中任一所述的花篮抓取装置,其特征在于:还设有直线矫正装置,包括直线导轨和轴承连接板,所述直线导轨和所述轴承连接板通过滑动轴承连接,所述直线导轨与所述安装基板连接,两个所述轴承连接板分别连接两个所述夹爪安装板。
10.根据权利要求9所述的花篮抓取装置,其特征在于:所述直线矫正装置包括设置在所述安装基板一侧的一个,或包括对称设置在所述安装基板两侧的两个。
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CN114858048A (zh) * 2022-05-30 2022-08-05 湖南楚微半导体科技有限公司 一种槽式晶圆清洗机手臂夹爪检测装置

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