CN215521199U - 一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统 - Google Patents
一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统。包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，第一管路上和第二管路上均分别安装有气体加热装置，气体加热装置进气端通入氮气。在原有真空系统中改造加装氮气加热装置进行氮气吹扫加热管路，这样会减少粉尘遇凝结在真空管上风险，有效避免宕机。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统。
背景技术
原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，反应腔与泵之间真空管路经常会凝结粉尘时间一长会堆积掉落到正在运行的泵内，造成泵卡死停转，并且泵与废气处理设备之间也会有粉尘凝结堆积造成管路堵塞，造成设备宕机。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，在原有真空系统中改造加装氮气加热装置进行氮气吹扫加热管路，这样会减少粉尘遇凝结在真空管上风险，有效避免宕机。
(二)技术方案
为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案：包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，所述第一管路上和第二管路上均分别安装有气体加热装置，所述气体加热装置进气端通入氮气。
优选的，所述气体加热装置位于第二管路上安装有两个。
优选的，所述第一管路靠近泵的一端安装有第一空气流量计。
优选的，所述第二管路靠近废气处理设备一端安装有第二空气流量计。
优选的，所述气体加热装置出气端分别与第一管路和第二管路连通。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统。具备以下有益效果：
(1)、氮气通过气体加热装置加热，然后对第一管路和第二管路进行管路以及气体加热，减少管路粉尘凝结堵死的概率，同时能够对第一管路和第二管路进行吹扫，能够减少粉尘遇凝结在真空管上风险。
(2)、第一空气流量计检测第一管路的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第一管路上粘结附着粉尘，适当的提升第一管路上的气体加热装置的功率和吹入氮气的速度，对第一管路进行清理。
(3)、第二空气流量计检测第二管路的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第二管路上粘结附着粉尘，适当的提升第二管路上的气体加热装置的功率和吹入氮气的速度，同时提升蹦的功率，对第二管路进行清理。
附图说明
图1为本实用新型真空管路系统图。
图中：1、制程腔体；2、第一管路；3、泵；4、第二管路；5、废气处理设备；6、气体加热装置；7、第一空气流量计；8、第二空气流量计。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，本实施例的具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，包括制程腔体1、第一管路2、泵3、第二管路4和废气处理设备5，第一管路2上和第二管路4上均分别安装有气体加热装置6，气体加热装置6进气端通入氮气。氮气通过气体加热装置6加热，然后对第一管路2和第二管路4进行管路以及气体加热，减少管路粉尘凝结堵死的概率，同时能够对第一管路2和第二管路4进行吹扫，能够减少粉尘遇凝结在真空管上风险。
进一步的，气体加热装置6位于第二管路4上安装有两个。
进一步的，第一管路2靠近泵3的一端安装有第一空气流量计7。第一空气流量计7检测第一管路2的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第一管路2上粘结附着粉尘，适当的提升第一管路2上的气体加热装置6的功率和吹入氮气的速度，对第一管路2进行清理。
进一步的，第二管路4靠近废气处理设备5一端安装有第二空气流量计8。第二空气流量计8检测第二管路4的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第二管路4上粘结附着粉尘，适当的提升第二管路4上的气体加热装置6的功率和吹入氮气的速度，同时提升蹦的功率，对第二管路4进行清理。
进一步的，气体加热装置6出气端分别与第一管路2和第二管路4连通。
工作原理：氮气通过气体加热装置6加热，然后对第一管路2和第二管路4进行管路以及气体加热，减少管路粉尘凝结堵死的概率，同时能够对第一管路2和第二管路4进行吹扫，能够减少粉尘遇凝结在真空管上风险。第一空气流量计检测第一管路2的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第一管路2上粘结附着粉尘，适当的提升第一管路2上的气体加热装置6的功率和吹入氮气的速度，对第一管路2进行清理。第二空气流量计检测第二管路4的空气流量，当空气流量减少幅度过大，可以推测第二管路4上粘结附着粉尘，适当的提升第二管路4上的气体加热装置6的功率和吹入氮气的速度，同时提升蹦的功率，对第二管路4进行清理。
Claims (5)
1.一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，包括制程腔体(1)、第一管路(2)、泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备(5)，其特征在于：所述第一管路(2)上和第二管路(4)上均分别安装有气体加热装置(6)，所述气体加热装置(6)进气端通入氮气。
2.根据权利要求1所述的一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，其特征在于：所述气体加热装置(6)位于第二管路(4)上安装有两个。
3.根据权利要求1所述的一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，其特征在于：所述第一管路(2)靠近泵(3)的一端安装有第一空气流量计(7)。
4.根据权利要求1所述的一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，其特征在于：所述第二管路(4)靠近废气处理设备(5)一端安装有第二空气流量计(8)。
5.根据权利要求1所述的一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统，其特征在于：所述气体加热装置(6)出气端分别与第一管路(2)和第二管路(4)连通。
Priority Applications (1)
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| CN202121839577.3U CN215521199U (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2021
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