CN215466442U - 一种用于高纯石英制品通风清洗柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于高纯石英制品通风清洗柜，属于半导体行业的石英等无机材料容器制品清洗领域，包括柜体，所述柜体的正面固定安装有观察窗口，且柜体正面的底部活动安装有柜门，所述观察窗口与柜门之间设置有推拉窗口，所述推拉窗口的底部安装有固定板，柜体的顶部固定安装有顶盖，顶盖的内部固定安装有集气罩，且顶盖的内侧固定连接有导流板，导流板的内部固定安装有日光灯；该用于高纯石英制品通风清洗柜，在使用的过程中提高了自动化水平，清洗能力好，人员操作环境有所改善，机械化清洗程度提高，功能性较强和多样，不仅能够进行连续性操作，而且能够实时控制和监测清洗成果和清洗程度，从而加强了数子化操作性能。

Description

一种用于高纯石英制品通风清洗柜

技术领域

本实用新型属于半导体行业的石英等无机材料容器制品清洗技术领域，具体涉及一种用于高纯石英制品通风清洗柜。

背景技术

石英制品属于易碎材质，但具有优良的物理和化学性能，因此广泛的应用于半导体行业，但由于半导体行业对于石英制品洁净度要求极高，并且操作过程中会产生有毒有害化学气体的各类化学药品，因此需要配备相应特殊的清洗设备，在安全的前提下完成清洗操作；

然而，现有的大多数石英制品清洗设备(即清洗柜)在使用的过程中，最大的缺点在于自动化水平低，清洗能力差，人员操作环境差，机械化清洗程度低，功能性较弱和单一，间断性操作，难以实时控制和监测清洗成果和清洗程度，数子化操作性缺乏，为此，我们提出了一种用于高纯石英制品通风清洗柜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于高纯石英制品通风清洗柜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于高纯石英制品通风清洗柜，包括柜体，所述柜体的正面固定安装有观察窗口，且柜体正面的底部活动安装有柜门，所述观察窗口与柜门之间设置有推拉窗口，所述推拉窗口的底部安装有固定板，所述柜体的顶部固定安装有顶盖，所述顶盖的内部固定安装有集气罩，且顶盖的内侧固定连接有导流板，所述导流板的内部固定安装有日光灯，所述柜体的内部从上到下依次设置有冷凝液收集槽、清洗槽、滑板、操作台面和水槽，所述水槽包括清洗液接水槽和溶液接水槽，所述清洗槽内腔的底部和内侧分别固定安装有加热板、超声波发生器和和带有微孔的陶瓷管，且清洗槽一侧的底部固定连接有排液管，所述排液管的外部固定安装有排液阀，所述柜体内侧固定连接有夹板，所述夹板的顶部卡接有喷头，所述喷头的底端固定连接有软管，所述柜体内腔底部的一侧固定安装有收管机，所述软管缠绕在收管机上，所述溶液接水槽的底部固定连接有下水管，所述下水管出水端的底部设置有废液排液管，所述废液排液管与车间污水处理系统相连。

作为一种优选的实施方式，所述集气罩位于导流板的上方，且集气罩与抽风系统相连。

作为一种优选的实施方式，所述冷凝液收集槽固定安装在观察窗口的背面，且冷凝液收集槽位于清洗槽的上方。

作为一种优选的实施方式，所述清洗槽卡接在滑板的顶部，所述滑板放置在操作台面的顶部，所述操作台面设置在水槽的顶部，所述操作台面的顶部设置有圆柱，且操作台面的表面开设有通孔。

作为一种优选的实施方式，所述清洗液接水槽位于溶液接水槽的一侧，且清洗液接水槽的容积值远远大于溶液接水槽的容积值。

作为一种优选的实施方式，所述清洗液接水槽底部的一侧固定连接有冲洗排液管，所述冲洗排液管的外部从上到下依次安装有PH值检测仪、电子式温度检测仪和出水阀，所述出水阀的下方从左到右分别设置有电阻率检测仪和电子式流量计，所述电阻率检测仪和电子式流量计均安装在冲洗排液管的外部，所述柜体正面的一侧固定安装有液晶控制面板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该用于高纯石英制品通风清洗柜，在使用的过程中提高了自动化水平，清洗能力好，人员操作环境有所改善，机械化清洗程度提高，功能性较强和多样，不仅能够进行连续性操作，而且能够实时控制和监测清洗成果和清洗程度，从而加强了数子化操作性能；

该用于高纯石英制品通风清洗柜，通过设置顶盖、集气罩和导流板，可以在石英制品清洗的过程中，便于利用带有电动式控制蝶阀的抽风系统对柜体的内部进行通风，能够有效的去除柜体内部的化学气味，从而对操作人员的身体起到了保护的作用；

该用于高纯石英制品通风清洗柜，通过设置PH值检测仪、电子式温度检测仪、电阻率检测仪和电子式流量计，可以在清洗柜中废水排放时，便于对废水的PH值、温度、电阻率和排量进行监测，使得废水达到外排标准时才能进行排放，这样对环境起到了保护的作用；

该用于高纯石英制品通风清洗柜，通过设置滑板，可以在该清洗柜使用的过程中，便于对清洗槽进行摆放，且通过设置带有圆柱的操作台面，能够减小滑板底部的摩擦力，使得滑板上的清洗槽可以在操作台面的顶部移动，而操作台面上的通孔，可以使得冲洗时所产生的废水掉落至清洗液接水槽的内部，从而为废水的收集带来了便利。

附图说明

图1为本实用新型结构的正面示意图；

图2为本实用新型结构中顶盖的局部侧剖图；

图3为本实用新型结构中柜体的下部分剖视图；

图4为本实用新型中部分结构爆炸图。

图中：1、柜体；2、观察窗口；3、柜门；4、推拉窗口；5、固定板；6、顶盖；7、集气罩；8、导流板；9、日光灯；10、冷凝液收集槽；11、清洗槽；12、滑板；13、操作台面；14、水槽；141、清洗液接水槽；142、溶液接水槽；15、加热板；16、超声波发生器；17、排液管；18、排液阀；19、夹板；20、喷头；21、软管；22、收管机；23、下水管；24、废液排液管；25、冲洗排液管；26、PH值检测仪；27、电子式温度检测仪；28、出水阀；29、电阻率检测仪；30、电子式流量计；31、液晶控制面板。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。

以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整，在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种用于高纯石英制品通风清洗柜，包括柜体1，此柜体1的材质为改性耐腐蚀PP材料，柜体1的正面固定安装有观察窗口2，通过观察窗口2可以对柜体1内部石英制品的清洗情况进行了解，此观察窗口2为ABS材质透明材料，且柜体1正面的底部活动安装有柜门3，观察窗口2与柜门3之间设置有推拉窗口4，通过设置推拉窗口4，可以将待清洗的石英制品放入至柜体1的内部，推拉窗口4的底部安装有固定板5，柜体1的顶部固定安装有顶盖6，顶盖6的内部固定安装有集气罩7，且顶盖6的内侧固定连接有导流板8，导流板8的内部固定安装有日光灯9，集气罩7位于导流板8的上方，且集气罩7与抽风系统相连；当石英制品在柜体1的内部清洗时，打开抽风系统，使得柜体1内部的空气向上流动并进入至集气罩7的内部，且空气中的水汽会与导流板8相接触，并在导流板8上凝结成水珠顺着导流板8的倾斜面向下流动，从而便于对柜体1的内部进行通风，通过设置日光灯9，可以为柜体1的内部进行照明。

请参阅图3和图4，柜体1的内部从上到下依次设置有冷凝液收集槽10、清洗槽11、滑板12、操作台面13和水槽14，水槽14包括清洗液接水槽141和溶液接水槽142，此清洗槽11的材质为聚四氟乙烯，冷凝液收集槽10固定安装在观察窗口2的背面，且冷凝液收集槽10位于清洗槽11的上方，清洗液接水槽141位于溶液接水槽142的一侧，且清洗液接水槽141的容积值远远大于溶液接水槽142的容积值，通过设置冷凝液收集槽10可以对观察窗口2表面凝结的水珠进行收集，且通过设置溶液接水槽142可以对清洗槽11内部清洗后的废液进行收集，通过设置清洗液接水槽141，可以对石英制品冲洗时所产生的废水进行收集。

请参阅图3，清洗槽11内腔的底部和内侧分别固定安装有加热板15、超声波发生器16和带有微孔的陶瓷管，通过设置加热板15，可以对清洗槽11内部的清洗液进行升温，通过设置超声波发生器16，可以对清洗时的石英制品进行处理，且清洗槽11一侧的底部固定连接有排液管17，排液管17的外部固定安装有排液阀18，清洗槽11卡接在滑板12的顶部，滑板12放置在操作台面13的顶部，操作台面13设置在水槽14的顶部，操作台面13的顶部设置有圆柱，且操作台面13的表面开设有通孔；通过设置滑板12可以对清洗槽11进行摆放，而圆柱能够减小滑板12底部的摩擦力，使得滑板12上的清洗槽11可以在操作台面13的顶部移动，而操作台面13上的通孔，可以使得冲洗时所产生的废水掉落至清洗液接水槽141的内部。

请参阅图3，柜体1内侧固定连接有夹板19，夹板19的顶部卡接有喷头20，喷头20的底端固定连接有软管21，柜体1内腔底部的一侧固定安装有收管机22，软管21缠绕在收管机22上，当需要冲洗时，打开收管机22，使得软管21可以自行收放，再人工从夹板19上拿取喷头20，可以利用喷头20对石英制品或柜体1的内部进行冲洗，溶液接水槽142的底部固定连接有下水管23，下水管23出水端的底部设置有废液排液管24，废液排液管24与车间污水处理系统相连，当清洗槽11内部的石英制品清洗完成后，打开排液阀18，使得清洗槽11内部的废液能够从排液管17流入至溶液接水槽142的内部，而溶液接水槽142中的废液会顺着下水管23流入至废液排液管24中，从而便于将废液输送至车间污水处理系统中，清洗液接水槽141底部的一侧固定连接有冲洗排液管25，冲洗排液管25的外部从上到下依次安装有PH值检测仪26、电子式温度检测仪27和出水阀28，出水阀28的下方从左到右分别设置有电阻率检测仪29和电子式流量计30，电阻率检测仪29和电子式流量计30均安装在冲洗排液管25的外部，柜体1正面的一侧固定安装有液晶控制面板31，当清洗液接水槽141中的废水需要排放时，先通过PH值检测仪26和电子式温度检测仪27，对废水的PH值和温度进行检测，若当废水的PH正常时，满足废水外排条件，打开出水阀28，使得清洗液接水槽141内部的废水能够顺着冲洗排液管25排出，此时电阻率检测仪29和电子式流量计30，可以实时监测废水外排水洁净程度与外排水量，当监测电阻率满足接近18MΩ*cm数值并恒定时，结束清洗，通过设置液晶控制面板31，可以实时监测和显示清洗液接水槽141所出的废水PH值和废水的电阻率、水温和水流量。

上述方案中，需要说明的是：加热板15为可拆卸式，且加热板15位于陶瓷管的一侧，当使用对于金属具有较强耐腐蚀性的液体时，可以换成耐腐蚀的开孔陶瓷管，利用外通热空气对于酸碱性腐蚀液体进行加热；

上述方案中，当打开抽风系统，完成通风柜内换气并保证通风柜内换气系统正常运行，按照计划在柜内各个清洗槽11内配入目标清洗液，将目标清洗物品放入相应的清洗槽11内，加盖封闭后进行超声和加温机械清洗工作，经过浸泡清洗液(浸泡完可将石英制品放在柜壁石英制品控水支架上控水)、浸泡去离子水等阶段性操作后，取出物品在清洗柜事先预留清洗面板清洗区利用带压喷水装置进行内外喷洒清洗，其中在本通风柜所使用的抽风换气系统中采用电动式控制蝶阀，通过控制阀门开度来控制通风柜抽风量。

本实用新型的工作原理及使用流程：首先将清洗槽11摆放在滑板12的顶部，并将滑板12放置在操作台面13的顶部，而操作台面13上的圆柱能够减小滑板12底部的摩擦力，使得滑板12上的清洗槽11可以在操作台面13的顶部移动，再通过推拉窗口4，可以将清洗液和待清洗的石英制品放入至清洗槽11的内部，当石英制品在柜体1的内部清洗时，打开抽风系统，使得柜体1内部的空气向上流动并进入至集气罩7的内部，且空气中的水汽会与导流板8相接触，并在导流板8上凝结成水珠顺着导流板8的倾斜面向下流动，从而便于对柜体1的内部进行通风，通过设置日光灯9，可以为柜体1的内部进行照明；

接着当清洗槽11内部的石英制品清洗完成后，打开排液阀18，使得清洗槽11内部的废液能够从排液管17流入至溶液接水槽142的内部，而溶液接水槽142中的废液会顺着下水管23流入至废液排液管24中，从而便于将废液输送至车间污水处理系统中，当需要冲洗时，打开收管机22，使得软管21可以自行收放，再人工从夹板19上拿取喷头20，可以利用喷头20对石英制品或柜体1的内部进行冲洗；

最后当清洗液接水槽141中的废水需要排放时，先通过PH值检测仪26和电子式温度检测仪27，对废水的PH值和温度进行检测，若当废水的PH正常时，满足废水外排条件，打开出水阀28，使得清洗液接水槽141内部的废水能够顺着冲洗排液管25排出，此时电阻率检测仪29和电子式流量计30，可以实时监测废水外排水洁净程度与外排水量，当监测电阻率满足接近18MΩ*cm数值并恒定时，结束清洗，通过设置液晶控制面板31，可以实时监测和显示清洗液接水槽141所出的废水PH值和废水的电阻率、水温和水流量。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于高纯石英制品通风清洗柜，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)的正面固定安装有观察窗口(2)，且柜体(1)正面的底部活动安装有柜门(3)，所述观察窗口(2)与柜门(3)之间设置有推拉窗口(4)，所述推拉窗口(4)的底部安装有固定板(5)，所述柜体(1)的顶部固定安装有顶盖(6)，所述顶盖(6)的内部固定安装有集气罩(7)，且顶盖(6)的内侧固定连接有导流板(8)，所述导流板(8)的内部固定安装有日光灯(9)，所述柜体(1)的内部从上到下依次设置有冷凝液收集槽(10)、清洗槽(11)、滑板(12)、操作台面(13)和水槽(14)，所述水槽(14)包括清洗液接水槽(141)和溶液接水槽(142)，所述清洗槽(11)内腔的底部和内侧分别固定安装有加热板(15)、超声波发生器(16)和带有微孔的陶瓷管，且清洗槽(11)一侧的底部固定连接有排液管(17)，所述排液管(17)的外部固定安装有排液阀(18)，所述柜体(1)内侧固定连接有夹板(19)，所述夹板(19)的顶部卡接有喷头(20)，所述喷头(20)的底端固定连接有软管(21)，所述柜体(1)内腔底部的一侧固定安装有收管机(22)，所述软管(21)缠绕在收管机(22)上，所述溶液接水槽(142)的底部固定连接有下水管(23)，所述下水管(23)出水端的底部设置有废液排液管(24)，所述废液排液管(24)与车间污水处理系统相连。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜，其特征在于：所述集气罩(7)位于导流板(8)的上方，且集气罩(7)与抽风系统相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜，其特征在于：所述冷凝液收集槽(10)固定安装在观察窗口(2)的背面，且冷凝液收集槽(10)位于清洗槽(11)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜，其特征在于：所述清洗槽(11)卡接在滑板(12)的顶部，所述滑板(12)放置在操作台面(13)的顶部，所述操作台面(13)设置在水槽(14)的顶部，所述操作台面(13)的顶部设置有圆柱，且操作台面(13)的表面开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜，其特征在于：所述清洗液接水槽(141)位于溶液接水槽(142)的一侧，且清洗液接水槽(141)的容积值远远大于溶液接水槽(142)的容积值。

6.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜，其特征在于：所述清洗液接水槽(141)底部的一侧固定连接有冲洗排液管(25)，所述冲洗排液管(25)的外部从上到下依次安装有PH值检测仪(26)、电子式温度检测仪(27)和出水阀(28)，所述出水阀(28)的下方从左到右分别设置有电阻率检测仪(29)和电子式流量计(30)，所述电阻率检测仪(29)和电子式流量计(30)均安装在冲洗排液管(25)的外部，所述柜体(1)正面的一侧固定安装有液晶控制面板(31)。

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