CN215447957U - 一种mems惯性传感器测试装置 - Google Patents
一种mems惯性传感器测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215447957U CN215447957U CN202121446186.5U CN202121446186U CN215447957U CN 215447957 U CN215447957 U CN 215447957U CN 202121446186 U CN202121446186 U CN 202121446186U CN 215447957 U CN215447957 U CN 215447957U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- testing
- inertial sensor
- seat
- mems inertial
- rotating rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种MEMS惯性传感器测试装置，该MEMS惯性传感器测试装置包括：测试装置本体，以及压力调节装置；所述测试装置本体包括测试座、开设在所述测试座上的测试腔、以及与所述测试座固定连接的多根测试探针；其中，每根所述测试探针均贯穿所述测试座；所述压力调节装置包括与所述测试座固定连接的调节座、与所述调节座转动连接的多根第一转杆、以及与所述转杆螺纹连接的压板；其中，所述压板位于所述测试座的上方，且每根所述转杆均贯穿所述测试座。本实用新型的有益效果是：通过设置的测试装置本体，可以达到对MEMS惯性传感器进行测试的目的；通过设置的压力调节装置，可以在对MEMS惯性传感器进行测试时调整MEMS惯性传感器受到的压力。
Description
技术领域
本实用新型涉及到惯性传感器测试技术领域，尤其涉及到一种MEMS惯性传感器测试装置。
背景技术
MEMS惯性传感器是一种利用MEMS(微机电系统)加工技术制造的新型惯性传感器，包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计。与传统惯性传感器一样，在交付用户使用前需要对其进行全面的性能测试和评估，此时就需要一套与惯性传感器配套的测试夹具，测试夹具的作用有两个，第一，固定惯性传感器，使惯性传感器与夹具保持相对静止；第二，保持惯性传感器与外部进行稳定的电连接。
MEMS惯性传感器有其自身的特点，比如MEMS惯性传感器对外部压力敏感，当MEMS惯性传感器受到的压力不同时，自身的性能也会发生变化，所以若要得到稳定的、最优的性能，应该使用可以调节压力的测试夹具，对MEMS惯性传感器进行测试。而市面上的测试夹具大部分不能调节压力。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供了一种MEMS惯性传感器测试装置。
解决了市面上的MEMS惯性传感器测试夹具大部分不能调节压力的问题。
本实用新型是通过以下技术方案实现：
本实用新型提供了一种MEMS惯性传感器测试装置，该MEMS惯性传感器测试装置包括：测试装置本体，以及压力调节装置；
所述测试装置本体包括测试座、开设在所述测试座上的测试腔、以及与所述测试座固定连接的多根测试探针；其中，每根所述测试探针均贯穿所述测试座；
所述压力调节装置包括与所述测试座固定连接的调节座、与所述调节座转动连接的多根第一转杆、以及与所述转杆螺纹连接的压板；其中，所述压板位于所述测试座的上方，且每根所述转杆均贯穿所述测试座。
优选的，每根所述测试探针的顶端均位于所述测试腔内。
优选的，所述调节座位于所述测试座的下方，且所述调节座通过多根连接杆与所述测试座相连接。
优选的，所述调节座内开设有空腔，且每根所述第一转杆的底端均位于所述空腔内。
优选的，每根所述第一转杆位于所述空腔内的部分均固定连接有第一齿轮。
优选的，所述空腔内转动连接有第二转杆，所述第二转杆的顶端固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与每个所述第一齿轮均啮合连接。
优选的，还包括驱动装置，所述驱动装置包括与所述调节座转动连接的第三转杆和第四转杆，所述第三转杆的一端固定连接有第一锥形齿轮，所述第四转杆的一端固定连接有第二锥形齿轮，且所述第二锥形齿轮与所述第一锥形齿轮啮合连接。
优选的，所述第四转杆固定连接有第一皮带轮，所述第二转杆固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮通过传动皮带与所述第二皮带轮相连接。
本实用新型的有益效果是：通过设置的测试装置本体，可以达到对MEMS惯性传感器进行测试的目的；通过设置的压力调节装置，可以在对MEMS惯性传感器进行测试时调整MEMS惯性传感器受到的压力。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置的驱动装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
为了方便理解本申请实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置，首先说明一下其应用场景，本申请实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置用于提供一种用于对MEMS惯性传感器进行测试的装置；而市面上的MEMS惯性传感器测试夹具大部分不能调节MEMS惯性传感器受到的压力。下面结合附图对本申请实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置进行说明。
本实用新型提供了一种MEMS惯性传感器测试装置，该MEMS惯性传感器测试装置包括测试装置本体和压力调节装置。使用本申请实用新型时，可通过测试装置本体对MEMS惯性传感器进行测试，在测试的同时可通过压力调节装置调整MEMS惯性传感器受到的压力，从而对MEMS惯性传感器在不同压力下进行测试。
其中，测试装置本体在具体设置时可参考图1，图1是本实用新型实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置的结构示意图。根据图1可知，测试装置本体包括测试座1，该测试座1开设有测试腔2，该测试腔2的形状大小与MEMS惯性传感器的形状大小相同，从而MEMS惯性传感器能够正好放入测试腔2，同时测试腔2能够起到对MEMS惯性传感器进行限位的作用；继续参考图1，测试座1对应测试腔2的位置固定连接有多根测试探针3，每根测试探针3均贯穿测试座1。使用本申请实用新型对MEMS惯性传感器进行测试时，可将MEMS惯性传感器放入测试腔2内，使MEMS惯性传感器与测试探针3的顶端电连接在一起，然后使MEMS惯性传感器测试仪与测试探针3的底端电连接在一起，从而将MEMS惯性传感器测试仪与MEMS惯性传感器电连接在一起，从而方便对MEMS惯性传感器进行测试。在测试的同时能够通过压力调节装置对MEMS惯性传感器施加不同的压力，从而方便对MEMS惯性传感器在不同压力下进行测试。
压力调节装置在具体设置时可继续参考图1，根据图1可知，压力调节装置包括位于测试座1上方的压板6和位于测试座1下方的调节座4，该调节座4通过多根连接杆7与测试座1相连接，连接杆7包括但不限于现有技术中常用的木杆、铁杆、以及塑料杆等；继续参考图1，测试座1内开设有空腔8，该空腔8转动连接有多根第一转杆5，每根第一转杆5的外壁均开设有螺纹，每根第一转杆5均贯穿测试座1并与压板6螺纹连接，具体的，调节座1开设有多个与空腔8相连通的第一通孔，测试座1开设有多个第二通孔，且压板6开设有多个内螺纹孔，多个第一通孔、多个第二通孔、多个内螺纹孔均与多根第一转杆5一一对应，第一转杆5依次穿过对应的第一通孔和第二通孔，并与对应的内螺纹孔螺纹连接在一起；继续参考图1，每根第一转杆5位于空腔8内的部分均固定连接有第一齿轮9，空腔8内转动连接有第二转杆10，该第二转杆10的顶端固定连接有第二齿轮11，且第二齿轮11与每个第一齿轮9均啮合连接在一起。对MEMS惯性传感器进行测试时，可转动第二齿轮11，从而带动多个第一齿轮9同时同向转动，从而带动多根第一转杆5同时同向转动，在转动的第一转杆5的作用下，压板6可向下移动，通过调节压板6的不同位置从而对MEMS惯性传感器施加不同的压力，从而在不同压力下对MEMS惯性传感器进行测试。
为了方便使第二齿轮11转动，可通过驱动装置驱动第二转杆10转动，从而带动第二齿轮11转动，驱动装置在具体设置时可参考图2，图2是本实用新型实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置的驱动装置的结构示意图。根据图2可知，驱动装置包括位于空腔8内并与调节座4转动连接的第三转杆12和第四转杆13，第三转杆12的一端位于调节座4外，且第三转杆12固定连接有第一锥形齿轮14，第四转杆13固定连接有第二锥形齿轮15，该第二锥形齿轮15与第一锥形齿轮14啮合连接；继续参考图2，第四转杆13固定连接有第一皮带轮16，第二转杆10固定连接有第二皮带轮17，且第一皮带轮16通过传动皮带18与第二皮带轮17相连接。使用本申请实用新型时，可通过转动第三转杆12从而带动第一锥形齿轮14转动，从而带动第二锥形齿轮15转动，从而带动第四转杆13转动，从而带动第一皮带轮16转动，从而带动传动皮带18转动，从而带动第二皮带轮17转动，从而带动第二转杆10转动，从而带动第二齿轮11转动，从而带动多个第一齿轮9同时同向转动，从而带动多根第一转杆5同时同向转动，在转动的第一转杆5的作用下，压板6可向下移动，通过调节压板6的不同位置从而对MEMS惯性传感器施加不同的压力，从而在不同压力下对MEMS惯性传感器进行测试。
为了方便转动第三转杆12，第三转杆12位于调节座4外的一端可固定连接有转手，从而方便工作人员通过转动转手带动第三转杆12转动。
本申请实用新型中的所有部件均为现有技术中常用的部件。
在上述实施例中，本申请实施例提供的一种MEMS惯性传感器测试装置能够在不同的压力下对MEMS惯性传感器进行测试。
上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
Claims (8)
1.一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，包括：测试装置本体，以及压力调节装置；
所述测试装置本体包括测试座、开设在所述测试座上的测试腔、以及与所述测试座固定连接的多根测试探针；其中，每根所述测试探针均贯穿所述测试座；
所述压力调节装置包括与所述测试座固定连接的调节座、与所述调节座转动连接的多根第一转杆、以及与所述转杆螺纹连接的压板；其中，所述压板位于所述测试座的上方，且每根所述转杆均贯穿所述测试座。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，每根所述测试探针的顶端均位于所述测试腔内。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，所述调节座位于所述测试座的下方，且所述调节座通过多根连接杆与所述测试座相连接。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，所述调节座内开设有空腔，且每根所述第一转杆的底端均位于所述空腔内。
5.根据权利要求4所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，每根所述第一转杆位于所述空腔内的部分均固定连接有第一齿轮。
6.根据权利要求5所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，所述空腔内转动连接有第二转杆，所述第二转杆的顶端固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与每个所述第一齿轮均啮合连接。
7.根据权利要求6所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置包括与所述调节座转动连接的第三转杆和第四转杆，所述第三转杆的一端固定连接有第一锥形齿轮，所述第四转杆的一端固定连接有第二锥形齿轮，且所述第二锥形齿轮与所述第一锥形齿轮啮合连接。
8.根据权利要求7所述的一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，所述第四转杆固定连接有第一皮带轮，所述第二转杆固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮通过传动皮带与所述第二皮带轮相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121446186.5U CN215447957U (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种mems惯性传感器测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121446186.5U CN215447957U (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种mems惯性传感器测试装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215447957U true CN215447957U (zh) | 2022-01-07 |
Family
ID=79713541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121446186.5U Expired - Fee Related CN215447957U (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种mems惯性传感器测试装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215447957U (zh) |
-
2021
- 2021-06-28 CN CN202121446186.5U patent/CN215447957U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN211669246U (zh) | 一种新型电路板测试工装的测试架 | |
| CN205643036U (zh) | 一种轴状件弯曲变形测试装置 | |
| CN215447957U (zh) | 一种mems惯性传感器测试装置 | |
| CN207556777U (zh) | 一种轴承水环境密封性能测试机 | |
| CN105842614A (zh) | 旋转测试机构及基于该旋转测试机构的pcb测试方法 | |
| CN201207008Y (zh) | 曲轴动平衡机 | |
| CN209459899U (zh) | 一种电梯曳引轮外齿轴承试验机 | |
| CN203616327U (zh) | 一种血栓弹力测量装置 | |
| CN206804445U (zh) | 一种袜子拉伸仪 | |
| CN205744966U (zh) | 一种支架、血栓弹力仪及支撑系统 | |
| CN205670187U (zh) | 旋转测试机构 | |
| CN116165063A (zh) | 一种线束检测用拉伸装置 | |
| CN103091169A (zh) | 一种膜材十二向拉伸测试装置 | |
| CN203203735U (zh) | 牙科手机扭矩测试仪 | |
| CN105865790B (zh) | 轴承灵活性的检测装置及方法 | |
| CN216116700U (zh) | 一种气弹簧强度测试装置 | |
| CN210269420U (zh) | 一种稳定效果好的袜子拉伸仪 | |
| CN109269798B (zh) | 一种减震器补偿阀弹簧预紧力试验机 | |
| CN210071331U (zh) | 一种谐波减速器用柔性轴承耐久测试装置 | |
| CN208420573U (zh) | 用于皮革疲劳耐久测试的试验机 | |
| CN208140523U (zh) | 数显六速旋转粘度计扭力弹簧校验装置 | |
| CN215743610U (zh) | 一种血生化检验用血样存放装置 | |
| CN209858207U (zh) | 一种机器人球窝关节摩擦副的测试装置 | |
| CN220525212U (zh) | 一种用于旋转试验的同心状态监测及调节装置 | |
| CN206378291U (zh) | 一种齿轮箱性能检测仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20220107 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |