CN215400953U - 一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，包括：两组平行设置的货架，两组所述货架间隔设置以形成位于两者之间的转移通道，其中一组所述货架中开设有连通其内外的对接通道；缓存上料机构，其包括机架及设于其中的缓存搬运组件；上下料转移机构，其设于所述机架中并位于所述缓存搬运组件的正下方；以及取放料机构，其包括设于所述转移通道中的水平导轨、与所述水平导轨滑动连接的升降架及与所述升降架滑动连接的取放组件。根据本实用新型，其降低了存取物料的移动路径，同时能够双向进行存取物料，增大了立体仓库收纳能力的同时也提高了存取效率。

Description

一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库。

背景技术

在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的立体仓库来实现物料的存放与取出是众所周知的。在研究和实现物料的存放与取出的过程中，研究人员发现现有技术中的立体仓库至少存在如下问题：

结构复杂，体积庞大，使得取放料机构存取物料的移动路径长，大大降低了存取效率；大多只能进行单向存取物料，不能最大程度利用厂房空间，降低了立体仓库的收纳能力，也进一步降低了存放效率。

有鉴于此，实有必要开发一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，用以解决上述问题。

实用新型内容

为了克服上述自动化立体仓库所存在的问题，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构紧凑、空间利用率高并且能够双向存取的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其降低了存取物料的移动路径，同时能够双向进行存取物料，增大了立体仓库收纳能力的同时也提高了存取效率。

就自动化立体仓库而言，本实用新型为解决上述技术问题的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库包括：

两组平行设置的货架，两组所述货架间隔设置以形成位于两者之间的转移通道，其中一组所述货架中开设有连通其内外的对接通道；

缓存上料机构，其包括机架及设于其中的缓存搬运组件；

上下料转移机构，其设于所述机架中并位于所述缓存搬运组件的正下方；以及

取放料机构，其包括设于所述转移通道中的水平导轨、与所述水平导轨滑动连接的升降架及与所述升降架滑动连接的取放组件；

其中，两组所述上下料转移机构均延伸至所述对接通道中并与所述转移通道相对接；所述货架包括上下间隔设置的上安装板与下安装板以及至少两块上下层叠地布置于所述上安装板与下安装板之间的置物板，相邻两块所述置物板间隔设置以形成位于两者之间的置物空间；所述升降架的前侧及后侧敞开以分别形成前取料口及后取料口，所述前取料口及后取料口分别与其中一组所述货架相对；当所述取放组件从所述上下料转移机构中取到待存放的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨平移并沿着所述升降架升降以将待存放的物料存放于其中一组货架的置物板上；当所述取放组件从其中一块置物板上取下待取出的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨平移并沿着所述升降架升降以将待取出的物料放置于所述上下料转移机构上。

可选的，所述货架还包括：

多组连接件，其从上至下依次穿过所述上安装板、置物板及下安装板以将所述上安装板、置物板及下安装板串联并紧固成稳固的整体。

可选的，所述连接件包括：

连接杆；

至少两个夹持套筒，其沿所述连接杆的长度方向依次穿套于所述连接杆上；以及

分别螺接于所述连接杆两端的上紧固螺母及下紧固螺母。

可选的，所述上安装板包括：

沿一直线方向延伸的上安装板主体；以及

至少两根上安装臂，其从所述上安装板主体的一侧出发以大致垂直于所述上安装板主体的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述上安装臂平行且间隔设置以形成位于两者之间的置物通道。

可选的，所述置物板包括：

沿一直线方向延伸的连接部；以及

至少两块承重部，其从所述连接部的一侧出发以大致垂直于所述连接部的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述承重部平行且间隔设置以形成位于两者之间的让位通道；每个所述让位通道与相应一个所述置物通道在竖直方向上相对齐以使得每根所述上安装臂与相应一块所述承重部相对齐；所述上安装板主体在所述连接部上的投影与所述连接部至少部分重合；每根所述上安装臂在水平面上的投影面积小于相应一块所述承重部在水平面上的投影面积，从而使得相邻两块所述承重部的相向内侧形成有用于承托物料的承托区域。

可寻的，每个所述置物通道的边缘设有至少三组所述连接件，每根所述连接杆从所述上安装板的顶面出发依次穿过所述置物板直至从所述下安装板的底面穿出，相邻两个所述夹持套筒间隔设置以形成位于两者之间的夹持间隙；当将所述上紧固螺母及下紧固螺母紧固后，每块所述置物板被每根连接杆上穿套的相应两个相邻夹持套筒夹持于夹持间隙之中。

可选的，两两相邻的两根所述承重部之间设有从所述连接部出发水平延伸至相应一个所述让位通道中的中心承重板。

可选的，所述机架内沿一直线方向依次设有左备料区、上下料区及右备料区，所述左备料区及右备料区中分别设有可进出所述机架的备料小车，所述上下料区中设有置物平台，所述上下料转移机构设于所述置物平台之上；所述缓存搬运组件横置于所述左备料区及右备料区之间以选择性地从任一备料小车上的物料逐次搬运至所述上下料转移机构上。

可选的，所述缓存搬运组件包括：

搬运横梁，其从所述左备料区出发跨过所述上下料区的上下料转移机构后延伸至所述右备料区；

横移底座，其沿所述搬运横梁的延伸方向与所述搬运横梁滑动连接；

升降底座，其沿竖直方向与所述横移底座滑动连接；

夹爪，其安装于所述升降底座上；以及

分别与横移底座、升降底座及夹爪传动连接的横移驱动器、升降驱动器及夹紧驱动器；

其中，所述夹爪具有两个相对设置的夹持指，两个所述夹持指在所述夹紧驱动器的驱动下靠近或远离以将物料选择性地夹持。

可选的，所述上下料转移机构包括：

设于所述置物平台上的上下料框架，其包括底板、顶板及支撑柱，至少三根非共线设置的所述支撑柱支撑于所述顶板与底板之间以使得所述顶板与底板间隔设置从而形成位于所述顶板与底板之间的搬运空间；以及

搬运组件，其包括搬运托盘、搬运驱动器以及设于所述搬运空间中的顶升底座；

其中，所述底板上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨，所述顶升底座通过所述滑行导轨与所述底板滑动连接；所述顶板上沿着滑行导轨的延伸方向依次设置的下料工位、缓存定位工位及上料工位；所述顶升底座的动力输出端穿过所述顶板后支撑于所述搬运托盘的底部；所述顶升底座在所述搬运驱动器的驱动下牵引着所述搬运托盘在所述下料工位、缓存定位工位及上料工位之间往复滑移，从而实现将所述缓存定位工位处的物料搬运至所述上料工位或者将所述上料工位处的物料搬运至所述下料工位；所述搬运横梁从所述左备料区出发跨过所述缓存定位工位后延伸至所述右备料区。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其结构紧凑、空间利用率高并且能够双向存取，降低了存取物料的移动路径，同时能够双向进行存取物料，增大了立体仓库收纳能力的同时也提高了存取效率。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于货架采用轻量化设计精简了所需的零部件，使得物料在货架中进出较为顺畅，大大降低了物料在取放过程中与货架发生刮擦或碰撞的几率，能够防止物料在取放过程中发生损坏。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于两两相邻的两根所述承重部之间设有从所述连接部出发水平延伸至相应一个所述让位通道中的中心承重板，从而使得当物料搁置于具有让位通道的置物板上时，物料的中心区域能够被中心承重板所承托，避免长时间放置后物料的中心区域发生弯曲变形，同时，中心承重板的自由端上设置的中心定位端子能够通过对物料的中心进行定位限制，从而防止物料放置在置物板上时出现窜动甚至跌落的风险。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过双向上下料的方式，使得一侧在备料的时候不影响另一侧上料，进而使得上下料作业能够不间断地进行，大大提高了上下料效率。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其具备缓存工位并能够对物料进行双向传送从而仅用一台设备即可实现物料的上料或下料作业，从而降低了设备采购费用并提高了空间利用率。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其能够双侧进行取放料作业，大大提高了取放料机构的取放料范围，提高了使用便捷性及实用性。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过降低转动惯量来降低转动过程中的转动偏差，从而提高了转动定位精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库的立体图；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库的俯视图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中货架的立体图；

图4为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中连接件的立体图，图中的局部放大部分示出了夹持套筒的详细结构；

图5为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中货架的俯视图；

图6为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中货架的仰视图；

图7为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中单片置物板的立体图；

图8为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中货架的立体图，图中示出了货架上存放满圆盘状物料时的状态；

图9为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中缓存上料机构与取放料机构相配合时的正视图；

图10为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中缓存上料机构与取放料机构相配合时的俯视图；

图11为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中缓存上料机构与取放料机构相配合时的右视图；

图12为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中举升模组的立体图；

图13为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中上下料转移机构的俯视图；

图14为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中上下料转移机构的立体图；

图15为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中上下料转移机构的纵向剖视图；

图16为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中取放料机构的立体图；

图17为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中取放料机构的立体图，图中示出了夹持状态下的示意图；

图18为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中取放料机构另一个视角下的立体图，图中进一步示出了各零部件的装配空间关系；

图19为根据本实用新型一个实施方式提出的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库中取放料机构的纵向剖视图，图中示出了与料箱相配合使用时的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1和图2的示出，可以看出，用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库包括：

两组平行设置的货架4，两组所述货架4间隔设置以形成位于两者之间的转移通道45，其中一组所述货架4中开设有连通其内外的对接通道；

缓存上料机构2，其包括机架21及设于其中的缓存搬运组件25；

上下料转移机构1，其设于所述机架21中并位于所述缓存搬运组件25 的正下方；以及

取放料机构3，其包括设于所述转移通道45中的水平导轨36、与所述水平导轨36滑动连接的升降架35及与所述升降架35滑动连接的取放组件；

其中，两组所述上下料转移机构1均延伸至所述对接通道中并与所述转移通道45相对接；所述货架4包括上下间隔设置的上安装板41与下安装板 44以及至少两块上下层叠地布置于所述上安装板41与下安装板44之间的置物板42，相邻两块所述置物板42间隔设置以形成位于两者之间的置物空间；所述升降架35的前侧及后侧敞开以分别形成前取料口及后取料口，所述前取料口及后取料口分别与其中一组所述货架4相对；当所述取放组件从所述上下料转移机构1中取到待存放的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨36 平移并沿着所述升降架35升降以将待存放的物料存放于其中一组货架4的置物板42上；当所述取放组件从其中一块置物板42上取下待取出的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨36平移并沿着所述升降架35升降以将待取出的物料放置于所述上下料转移机构1上。由于其结构紧凑、空间利用率高并且能够双向存取，降低了存取物料的移动路径，同时能够双向进行存取物料，增大了立体仓库收纳能力的同时也提高了存取效率。

参照图3～图5，所述货架4还包括：

多组连接件43，其从上至下依次穿过所述上安装板41、置物板42及下安装板44以将所述上安装板41、置物板42及下安装板44串联并紧固成稳固的整体。由于货架4采用轻量化设计精简了所需的零部件，使得物料在货架中进出较为顺畅，大大降低了物料在取放过程中与货架发生刮擦或碰撞的几率，能够防止物料在取放过程中发生损坏。

在实践中发现，现有技术中将置物板进行连接固定多采用较为厚重的型材连接而成的框架结构，而传统的框架结构由于单根型材体积较大，从而使得货架整体占地空间较大，上述缺点在有限的空间限定下会导致货架的内部存储空闲相对缩水，从而限制了货架的收纳能力，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：

参照图4，所述连接件43包括：

连接杆431；

至少两个夹持套筒434，其沿所述连接杆431的长度方向依次穿套于所述连接杆431上；以及

分别螺接于所述连接杆431两端的上紧固螺母432及下紧固螺母433。

为了进一步对货架进行轻量化设计，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：

参照图3、图5及图6，所述上安装板41与下安装板44的形状及尺寸均相同。

参照图5，所述上安装板41包括：

沿一直线方向延伸的上安装板主体411；以及

至少两根上安装臂412，其从所述上安装板主体411的一侧出发以大致垂直于所述上安装板主体411的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述上安装臂412平行且间隔设置以形成位于两者之间的置物通道413。

参照图6，所述下安装板44包括：

沿一直线方向延伸的下安装板主体441；以及

至少两根下安装臂442，其从所述下安装板主体441的一侧出发以大致垂直于所述下安装板主体441的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述下安装臂442平行且间隔设置。

进一步地，所述置物板42包括：

沿一直线方向延伸的连接部421；以及

至少两块承重部422，其从所述连接部421的一侧出发以大致垂直于所述连接部421的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述承重部422平行且间隔设置以形成位于两者之间的让位通道423；每个所述让位通道423与相应一个所述置物通道413在竖直方向上相对齐以使得每根所述上安装臂412与相应一块所述承重部422相对齐；所述上安装板主体411在所述连接部421上的投影与所述连接部421至少部分重合；每根所述上安装臂412在水平面上的投影面积小于相应一块所述承重部422在水平面上的投影面积，从而使得相邻两块所述承重部422的相向内侧形成有用于承托物料的承托区域。

进一步地，每个所述置物通道413的边缘设有至少三组所述连接件43，每根所述连接杆431从所述上安装板41的顶面出发依次穿过所述置物板42 直至从所述下安装板44的底面穿出，相邻两个所述夹持套筒434间隔设置以形成位于两者之间的夹持间隙；当将所述上紧固螺母432及下紧固螺母433 紧固后，每块所述置物板42被每根连接杆431上穿套的相应两个相邻夹持套筒434夹持于夹持间隙之中。

进一步地，每根所述上安装臂412穿套有至少一组所述连接件43，所述上安装板主体411上与所述置物通道413相对的区域上穿套有至少一组所述连接件43。

前述为了避免物料的外周与货架发生碰撞或刮擦，承托区域的外周并未设置额外的定位结构，然而在实践中发现，取消了相应的定位结构会使得物料在货架上位置不能确定，其在置物板上极易发生窜动或滑动甚至跌落的问题，并且形如晶圆等一些薄圆盘状结构的物料，在置物板上长时间存放后，物料的中心区域附近由于长时间没有收到支撑力的承托，会使得物料的中心区域在其自身重力作用下会发生弯曲变形，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：

参照图7，两两相邻的两根所述承重部422之间设有从所述连接部421 出发水平延伸至相应一个所述让位通道423中的中心承重板424。

参照图6及图8，所述中心承重板424的根部与所述连接部421相固接，所述中心承重板424的自由端上设有向上凸起的中心定位端子4241。形如晶圆等圆盘状的物料24的圆心处开设有定位凹槽，当物料24搁置于相应一块置物板42的承托区域上时，物料24圆心处的定位凹槽与所述中心定位端子 4241相适配，并使得物料24中心区域受到中心承重板424所承托，从而避免长时间放置后物料的中心区域发生弯曲变形，同时，中心承重板的自由端上设置的中心定位端子能够通过对物料的中心进行定位限制，从而防止物料放置在置物板上时出现窜动甚至跌落的风险。

进一步地，所述中心承重板424的长度为所述承重部422的1/3～1/2。

参照图16～图18，所述机架21内沿一直线方向依次设有左备料区212、上下料区211及右备料区213，所述左备料区212及右备料区213中分别设有可进出所述机架21的备料小车22，所述上下料区211中设有置物平台23，所述上下料转移机构1设于所述置物平台23之上；所述缓存搬运组件25横置于所述左备料区212及右备料区213之间以选择性地从任一备料小车22上的物料逐次搬运至所述上下料转移机构1上。

参照图17及图18，所述缓存搬运组件25包括：

搬运横梁251，其从所述左备料区212出发跨过所述上下料区211的上下料转移机构1后延伸至所述右备料区213；

横移底座252，其沿所述搬运横梁251的延伸方向与所述搬运横梁251 滑动连接；

升降底座253，其沿竖直方向与所述横移底座252滑动连接；

夹爪，其安装于所述升降底座253上；以及

分别与横移底座252、升降底座253及夹爪传动连接的横移驱动器、升降驱动器及夹紧驱动器；

其中，所述夹爪具有两个相对设置的夹持指254，两个所述夹持指254 在所述夹紧驱动器的驱动下靠近或远离以将物料选择性地夹持。

再次参照图1，两个所述夹持指254的相向内侧形成有与物料上的夹持端相适配的夹持曲面。

参照图19，所述备料小车22包含举升模组，所述举升模组包括：

直立设置的举升立板221；

与所述举升立板221滑动连接的举升支座222；以及

与所述举升支座222传动连接的举升驱动器224；

其中，所述举升支座222上固接有至少两根水平向外伸出的举升臂223。

参照图13～图15，所述上下料转移机构1包括：

设于所述置物平台23上的上下料框架11，其包括底板111、顶板112及支撑柱113，至少三根非共线设置的所述支撑柱113支撑于所述顶板112与底板111之间以使得所述顶板112与底板111间隔设置从而形成位于所述顶板112与底板111之间的搬运空间；以及

搬运组件14，其包括搬运托盘141、搬运驱动器以及设于所述搬运空间中的顶升底座142；

其中，所述底板111上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨1111，所述顶升底座142通过所述滑行导轨1111与所述底板111滑动连接；所述顶板112 上沿着滑行导轨1111的延伸方向依次设置的下料工位114、缓存定位工位115 及上料工位116；所述顶升底座142的动力输出端穿过所述顶板112后支撑于所述搬运托盘141的底部；所述顶升底座142在所述搬运驱动器的驱动下牵引着所述搬运托盘141在所述下料工位114、缓存定位工位115及上料工位 116之间往复滑移，从而实现将所述缓存定位工位115处的物料搬运至所述上料工位116或者将所述上料工位116处的物料搬运至所述下料工位114；所述搬运横梁251从所述左备料区212出发跨过所述缓存定位工位115后延伸至所述右备料区213。

进一步地，所述顶板112上形成有在所述搬运托盘141的移动路径上的搬运通道。

进一步地，所述下料工位114处设有两组成对地布置于所述搬运通道两侧的下料定位台12。

进一步地，所述下料定位台12的上表面设有下料定位销121。

进一步地，所述备料定位工位115处设有两组成对地布置于所述搬运通道两侧的备料定位台13。

进一步地，每组所述备料定位台13的上表面开设有向下凹陷的备料定位槽131，所述备料定位槽131的形状与物料的至少部分边缘相相适配。

进一步地，所述上料定位工位116处设有两组成对地布置于所述搬运通道两侧的上料定位台15。

上料时，缓存搬运组件25将待上料的物料从其中一侧的备料小车中取出并搬运至缓存定位工位115处的备料定位台13上进行缓存并定位，所述顶升底座142推动搬运托盘141将物料向上顶起并在所述搬运驱动器的驱动下沿着滑行导轨111从缓存定位工位115平移至所述上料工位116处，所述顶升底座142下降直至搬运托盘141上承托的物料被搁置于所述上料定位台15上等待取走；下料时，从立库中取出的物料放置于所述上料工位116处的上料定位台15上，所述顶升底座142推动搬运托盘141将物料向上顶起并在所述搬运驱动器的驱动下沿着滑行导轨111从所述上料工位116平移至所述下料工位114处，所述顶升底座142下降直至搬运托盘141上承托的物料被搁置于所述下料定位台12上等待取走。

进一步地，所述上料定位台15的上表面设有上料定位销151。

进一步地，所述顶升底座142的动力输出端连接有至少一根支撑板，所述顶板112上开设有沿着所述滑行导轨1111的长度方向延伸的让位槽1121，所述支撑板穿过所述让位槽1121后支撑于所述搬运托盘114的底部。

参照图16～图19示出的实施例，取放料机构3包括：

安装底座31；

转动底板32，其与所述安装底座31转动连接，所述转动底板32的正上方形成有缓存空间；

取料模组33，其与所述转动底板32沿一直线方向滑动连接；以及

分别与所述转动底板32及取料模组33传动连接的转动驱动器311及滑动驱动器336；

其中，所述转动驱动器311安装于所述安装底座31上，所述转动底板 32在所述转动驱动器311的驱动下绕其转动连接点往复转动。

进一步地，所述取料模组33包括：

取料底座331，其与所述转动底板32滑动连接；以及

至少两根间隔设置的取料臂337，其固接于所述取料底座331的旁侧，并且沿着所述直线方向水平向外延伸；

其中，所述滑动驱动器336安装于所述转动底板32上，所述转动底板 32通过所述取料底座331与所述滑动驱动器336传动连接，所述取料底座331 在所述滑动驱动器336的驱动下沿着所述直线方向往复滑移，以从所述缓存空间中选择性地向外伸出。

参照图16及图19，所述取料模组33还包括夹持模组，所述夹持模组包括：

夹持安装座332，其固定安装于所述取料底座331上；

夹持板335，其可升降地安装于所述夹持安装座332中并水平地延伸至所述取料臂337的上方；以及

夹持驱动器336，其与所述夹持板335传动连接；

其中，所述夹持板335在所述夹持驱动器336下沿竖直方向往复升降以靠近或远离所述取料臂337从而将取料臂337上承托的物料24选择性夹紧。

参照图19，取料时，取料臂337可以从料箱34中铲起一片待转移的物料24，随后夹持板335下压于物料24上，能够防止物料24在转移过程中发生跌落；放料时，夹持板335与取料臂337相配合从货架上夹取一片待转移的物料24，随后将该物料24放置于料箱34中，随后夹持板335升起，取料臂337从该物料24的底部抽出，至此实现了单片物料24从货架转移到料箱 34的作业过程。

在图17及图19公开的实施例中可以看出，所述夹持安装座332中转动安装有升降螺杆334，所述夹持板335通过一螺母与所述升降螺杆334螺纹连接。

进一步地，所述升降螺杆334的其中一端固接有从动轮3332，所述夹持驱动器336的动力输出端固接有主动轮3331，所述主动轮3331与所述从动轮3332之间通过一传动部件3333实现传动连接。

进一步地，所述传动部件3333为链条、皮带或齿条中的任意一种。

进一步地，为了在取放料过程中防止碰坏物料24或者在转移过程中增加物料24与夹持板335及取料臂24的摩擦力以防止跌落，所述取料臂337及夹持板335的表面均包覆有由弹性材料制成的防滑缓冲层。

进一步地，所述弹性材料为橡胶、PVC、PU或硅胶材料中的一种。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

本文中所描述的不同实施方案的零部件可经组合以形成上文未具体陈述的其它实施例。零部件可不考虑在本文中所描述的结构内而不会不利地影响其操作。此外，各种单独零部件可被组合成一或多个个别零部件以执行本文中所描述的功能。

此外，尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (10)

1.一种用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，包括：

两组平行设置的货架(4)，两组所述货架(4)间隔设置以形成位于两者之间的转移通道(45)，其中一组所述货架(4)中开设有连通其内外的对接通道；

缓存上料机构(2)，其包括机架(21)及设于其中的缓存搬运组件(25)；

上下料转移机构(1)，其设于所述机架(21)中并位于所述缓存搬运组件(25)的正下方；以及

取放料机构(3)，其包括设于所述转移通道(45)中的水平导轨(36)、与所述水平导轨(36)滑动连接的升降架(35)及与所述升降架(35)滑动连接的取放组件；

其中，两组所述上下料转移机构(1)均延伸至所述对接通道中并与所述转移通道(45)相对接；所述货架(4)包括上下间隔设置的上安装板(41)与下安装板(44)以及至少两块上下层叠地布置于所述上安装板(41)与下安装板(44)之间的置物板(42)，相邻两块所述置物板(42)间隔设置以形成位于两者之间的置物空间；所述升降架(35)的前侧及后侧敞开以分别形成前取料口及后取料口，所述前取料口及后取料口分别与其中一组所述货架(4)相对；当所述取放组件从所述上下料转移机构(1)中取到待存放的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨(36)平移并沿着所述升降架(35)升降以将待存放的物料存放于其中一组货架(4)的置物板(42)上；当所述取放组件从其中一块置物板(42)上取下待取出的物料后，所述取放组件沿着所述水平导轨(36)平移并沿着所述升降架(35)升降以将待取出的物料放置于所述上下料转移机构(1)上。

2.如权利要求1所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述货架(4)还包括：

多组连接件(43)，其从上至下依次穿过所述上安装板(41)、置物板(42)及下安装板(44)以将所述上安装板(41)、置物板(42)及下安装板(44)串联并紧固成稳固的整体。

3.如权利要求2所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述连接件(43)包括：

连接杆(431)；

至少两个夹持套筒(434)，其沿所述连接杆(431)的长度方向依次穿套于所述连接杆(431)上；以及

分别螺接于所述连接杆(431)两端的上紧固螺母(432)及下紧固螺母(433)。

4.如权利要求3所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述上安装板(41)包括：

沿一直线方向延伸的上安装板主体(411)；以及

至少两根上安装臂(412)，其从所述上安装板主体(411)的一侧出发以大致垂直于所述上安装板主体(411)的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述上安装臂(412)平行且间隔设置以形成位于两者之间的置物通道(413)。

5.如权利要求4所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述置物板(42)包括：

沿一直线方向延伸的连接部(421)；以及

至少两块承重部(422)，其从所述连接部(421)的一侧出发以大致垂直于所述连接部(421)的方向水平向外延伸；

其中，相邻两根所述承重部(422)平行且间隔设置以形成位于两者之间的让位通道(423)；每个所述让位通道(423)与相应一个所述置物通道(413)在竖直方向上相对齐以使得每根所述上安装臂(412)与相应一块所述承重部(422)相对齐；所述上安装板主体(411)在所述连接部(421)上的投影与所述连接部(421)至少部分重合；每根所述上安装臂(412)在水平面上的投影面积小于相应一块所述承重部(422)在水平面上的投影面积，从而使得相邻两块所述承重部(422)的相向内侧形成有用于承托物料的承托区域。

6.如权利要求5所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，每个所述置物通道(413)的边缘设有至少三组所述连接件(43)，每根所述连接杆(431)从所述上安装板(41)的顶面出发依次穿过所述置物板(42)直至从所述下安装板(44)的底面穿出，相邻两个所述夹持套筒(434) 间隔设置以形成位于两者之间的夹持间隙；当将所述上紧固螺母(432)及下紧固螺母(433)紧固后，每块所述置物板(42)被每根连接杆(431)上穿套的相应两个相邻夹持套筒(434)夹持于夹持间隙之中。

7.如权利要求5所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，两两相邻的两根所述承重部(422)之间设有从所述连接部(421)出发水平延伸至相应一个所述让位通道(423)中的中心承重板(424)。

8.如权利要求1所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述机架(21)内沿一直线方向依次设有左备料区(212)、上下料区(211)及右备料区(213)，所述左备料区(212)及右备料区(213)中分别设有可进出所述机架(21)的备料小车(22)，所述上下料区(211)中设有置物平台(23)，所述上下料转移机构(1)设于所述置物平台(23)之上；所述缓存搬运组件(25)横置于所述左备料区(212)及右备料区(213)之间以选择性地从任一备料小车(22)上的物料逐次搬运至所述上下料转移机构(1)上。

9.如权利要求8所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述缓存搬运组件(25)包括：

搬运横梁(251)，其从所述左备料区(212)出发跨过所述上下料区(211)的上下料转移机构(1)后延伸至所述右备料区(213)；

横移底座(252)，其沿所述搬运横梁(251)的延伸方向与所述搬运横梁(251)滑动连接；

升降底座(253)，其沿竖直方向与所述横移底座(252)滑动连接；

夹爪，其安装于所述升降底座(253)上；以及

分别与横移底座(252)、升降底座(253)及夹爪传动连接的横移驱动器、升降驱动器及夹紧驱动器；

其中，所述夹爪具有两个相对设置的夹持指(254)，两个所述夹持指(254)在所述夹紧驱动器的驱动下靠近或远离以将物料选择性地夹持。

10.如权利要求9所述的用于缓存半导体元器件的自动化立体仓库，其特征在于，所述上下料转移机构(1)包括：

设于所述置物平台(23)上的上下料框架(11)，其包括底板(111)、顶板(112)及支撑柱(113)，至少三根非共线设置的所述支撑柱(113)支撑于所述顶板(112)与底板(111)之间以使得所述顶板(112)与底板(111)间隔设置从而形成位于所述顶板(112)与底板(111)之间的搬运空间；以及

搬运组件(14)，其包括搬运托盘(141)、搬运驱动器以及设于所述搬运空间中的顶升底座(142)；

其中，所述底板(111)上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨(1111)，所述顶升底座(142)通过所述滑行导轨(1111)与所述底板(111)滑动连接；所述顶板(112)上沿着滑行导轨(1111)的延伸方向依次设置的下料工位(114)、缓存定位工位(115)及上料工位(116)；所述顶升底座(142)的动力输出端穿过所述顶板(112)后支撑于所述搬运托盘(141)的底部；所述顶升底座(142)在所述搬运驱动器的驱动下牵引着所述搬运托盘(141)在所述下料工位(114)、缓存定位工位(115)及上料工位(116)之间往复滑移，从而实现将所述缓存定位工位(115)处的物料搬运至所述上料工位(116)或者将所述上料工位(116)处的物料搬运至所述下料工位(114)；所述搬运横梁(251)从所述左备料区(212)出发跨过所述缓存定位工位(115)后延伸至所述右备料区(213)。

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