CN215342504U - 抗光衰炉和热处理设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种抗光衰炉和热处理设备，抗光衰炉包括：第一炉体，第二炉体，与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔；光源组件，设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔进行加热和光照辐射。本申请通过光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，从而能够对传送装置上的电池片进行单面或双面的加热和光照辐射，满足不同电池片的加热需求。

Description

抗光衰炉和热处理设备

技术领域

本申请涉及太阳能电池片技术领域，具体而言，涉及一种抗光衰炉和热处理设备。

背景技术

在太阳能电池片制备过程中，对于晶硅太阳能电池，因为硼氧对的存在，硅片电池在太阳光照射环境下，使用初期都会发生效率衰减现象。在生产过程预先使用一种特定的光源在一定温度条件下对电池片进行辐照退火处理，可有效防止这种现象的发生，从而提高太阳能电池的光电转化效率。

实用新型内容

本申请旨在解决上述技术问题的至少之一。

为此，本申请的第一目的在于提供一种抗光衰炉。

本申请的第二目的在于提供一种热处理设备。

为实现本申请的第一目的，本申请的技术方案提供了抗光衰炉，包括：第一炉体，第二炉体，与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔；光源组件，设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔进行加热和光照辐射。

根据本申请提供的抗光衰炉，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔，用于设置传送装置。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，光源组件包括：多个第一红外灯管，位于第一炉体内；多个第二红外灯管，位于第二炉体内。

在本技术方案中，光源组件包括多个第一红外灯管和多个第二红外灯管，多个第一红外灯管位于第一炉体内，多个第二红外灯管位于第二炉体内。多个第一红外灯管和多个第二红外灯管用于对传送装置上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速。通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

上述技术方案中，第一炉体还包括：多个第一进风组件，第一进风组件设于多个第一红外灯管远离多个第二红外灯管的一侧；第二炉体还包括：多个第二进风组件，第二进风组件设于多个第二红外灯管远离多个第一红外灯管的一侧。

在本技术方案中，第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管远离第二红外灯管的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔。第二进风组件设于多个第二红外灯管远离第一红外灯管的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔。通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

上述技术方案中，第一进风组件包括：第一均风板，位于多个第一红外灯管远离多个第二红外灯管的一侧，第一均风板上设有多个第一通孔，第一通孔用于通过气流；第二进风组件包括：第二均风板，位于多个第二红外灯管远离多个第一红外灯管的一侧，第二均风板上设有多个第二通孔，第二通孔用于通过气流。

在本技术方案中，第一进风组件包括第一均风板，第二进风组件包括第二均风板。第一均风板位于多个第一红外灯管远离多个第二红外灯管的一侧，第二均风板位于多个第二红外灯管远离多个第一红外灯管的一侧，因此，第一均风板和第二均风板不会阻挡在红外灯管和电池片之间，从而能够使多个第一红外灯管和多个第二红外灯管在传输热量的同时对电池片进行光照。第一均风板、第二均风板上均设有多个通孔，多个通孔均匀分布，便于空气流通，从而调节抗光衰炉内温度均匀、恒定。

上述技术方案中，多个第一红外灯管与第一均风板间隔设置，多个第一红外灯管沿硅片传输方向均匀地间隔设置；多个第二红外灯管与第二均风板间隔设置，多个第二红外灯管沿硅片传输方向均匀地间隔设置。

在本技术方案中，多个第一红外灯管与第一均风板间隔设置，并位于第一均风板靠近多个第二红外灯管的一侧。多个第二红外灯管与第二均风板间隔设置，并位于第二均风板靠近多个第一红外灯管的一侧。由于多个第一红外灯管和多个第二红外灯管之间无阻隔，多个第一红外灯管和多个第二红外灯管能够在传输热量的同时对电池片进行光照。多个第一红外灯管沿硅片传输方向均匀地间隔设置，多个第二红外灯管沿硅片传输方向均匀地间隔设置，能够使电池片受热均匀。

上述技术方案中，沿第一均风板向多个第一红外灯管的方向上，第一通孔的直径逐渐减小，直至预设数值；和/或沿第二均风板向多个第二红外灯管的方向上，第二通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。

在本技术方案中，第一均风板、第二均风板上均设有均匀分布的通孔，该通孔的特征是一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后不再改变直至完全贯穿均风板，空气从大孔径一侧流到小孔一侧，具有均匀分散热风，减小流动阻力的作用。

上述技术方案中，第一进风组件还包括：第一壳体，第一壳体位于第一均风板远离多个第一红外灯管的一侧，第一壳体与第一均风板相连，并合围出第一均流腔；第二进风组件还包括：第二壳体，第二壳体位于第二均风板远离多个第二红外灯管的一侧，第二壳体与第二均风板相连，并合围出第二均流腔。

在本技术方案中，第一进风组件还包括第一壳体，第二进风组件还包括第二壳体。第一壳体位于第一均风板远离多个第一红外灯管的一侧，并与第一均风板相连，合围出第一均流腔。冷空气通过第一进风管和第一马达进入第一均流腔，第一均流腔内带有压力的空气经过第一均风板上的通孔均匀的通入工艺腔，用于保持工艺腔内恒定的温度。第二壳体位于第二均风板远离第二红外灯管的一侧，并与第二均风板相连，合围出第二均流腔。冷空气通过第二进风管和第二马达进入第二均流腔，第二均流腔内带有压力的空气经过第二均风板上的通孔均匀的通入工艺腔，用于保持工艺腔内恒定的温度。

上述技术方案中，第一进风组件还包括：第一进风管，设于第一炉体的炉壁上，第一进风管用于向炉腔内进气；第一风轮，第一风轮设于第一壳体上；第一马达，第一马达与第一风轮相连，用于驱动第一风轮；第二进风组件还包括：第二进风管，设于第二炉体的炉壁上，第二进风管用于向炉腔内进气；第二风轮，第二风轮设于第二壳体上；第二马达，第二马达与第二风轮相连，用于驱动第二风轮。

在本技术方案中，第一进风组件还包括第一进风管，第一进风管连通抗光衰炉内外，用于使冷空气进入抗光衰炉内。第一进风组件还包括第一风轮和第一马达。第一风轮设于第一壳体上，通过第一马达驱动第一风轮，可以使从第一进风管进入的空气进入第一均流腔，第一均流腔内带有压力的空气经过第一均风板上的通孔均匀的通入工艺腔，从而保持工艺腔内恒定的温度。第二进风组件还包括第二进风管，第二进风管连通抗光衰炉内外，用于使冷空气进入抗光衰炉内。第二风轮设于第二壳体上，通过第二马达驱动第二风轮，可以使从第二进风管进入的空气进入第二均流腔，第二均流腔内带有压力的空气经过第二均风板上的通孔均匀的通入工艺腔，从而保持工艺腔内恒定的温度。

上述技术方案中，工艺腔的侧壁设有多个回抽口，回抽口用于回抽工艺腔的热气。抗光衰炉还包括：多个排废管，每个排废管与一个第二均流腔相连通；排废箱，与排废管相连通，并与外部相连通。

在本技术方案中，工艺腔的侧壁设有多个回抽口工艺腔内的热空气主要通过回抽口，经过炉体后部的连通腔，通过第一壳体回到第一均流腔，通过第二壳体回到第二均流腔，达到循环使用热空气的目的，减小热量损耗，保持炉内温度恒定。第一均风板、第二均风板周边的长条孔也可以回抽热空气，热空气通过第一壳体、第二壳体回到第一均流腔、第二均流腔。抗光衰炉还包括多个排废管和排废箱。每个排废管一端与第二均流腔连通，另一端与排废箱连通，用于将一部分热废气排出炉外，保证抗光衰炉内的空气质量。

为实现本申请的第二目的，本申请的技术方案提供了一种热处理设备，包括：传送装置；如本申请上述任一技术方案的抗光衰炉，传送装置设于抗光衰炉的工艺腔中。

根据本申请提供的热处理设备，包括如本申请上述任一技术方案的抗光衰炉，因而其具有如本申请上述任一技术方案的抗光衰炉的全部有益效果，在此不再赘述。传送装置设于抗光衰炉的工艺腔中，用于传送电池片。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本申请一个实施例的抗光衰炉的局部立体结构示意图；

图2为根据本申请一个实施例的抗光衰炉的剖视结构示意图；

图3为根据本申请一个实施例的抗光衰炉的立体结构示意图；

图4为根据本申请一个实施例的热处理设备的结构示意框图。

其中，图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10：抗光衰炉；110：第一红外灯管；122：第一均风板；124：第一壳体；126：第一均流腔；128：第一进风管；130：第一风轮；132：第一马达；210：第二红外灯管；222：第二均风板；224：第二壳体；226：第二均流腔；228：第二进风管；230：第二风轮；232：第二马达；310：工艺腔；320：回抽口；410：排废管；420：排废箱；20：热处理设备；500：传送装置。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本申请的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本申请进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图4描述根据本申请一些实施例的抗光衰炉和热处理设备。

实施例1：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

实施例2：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

实施例3：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

进一步地，第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，第二进风组件设于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔310内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

实施例4：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

进一步地，第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，第二进风组件设于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔310内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

进一步地，第一进风组件包括第一均风板122，第二进风组件包括第二均风板222。第一均风板122位于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，第二均风板222位于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧。第一均风板122、第二均风板222上均设有多个通孔，多个通孔均匀分布，便于空气流通，从而调节抗光衰炉10内温度均匀、恒定。

实施例5：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

进一步地，第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，第二进风组件设于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔310内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

进一步地，第一进风组件包括第一均风板122，第二进风组件包括第二均风板222。第一均风板122位于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，第二均风板222位于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧。第一均风板122、第二均风板222上均设有多个通孔，多个通孔均匀分布，便于空气流通，从而调节抗光衰炉10内温度均匀、恒定。

进一步地，如图1和图3所示，多个第一红外灯管110与第一均风板122上下间隔设置，并位于第一均风板122靠近多个第二红外灯管210的一侧。多个第二红外灯管210与第二均风板222上下间隔设置，并位于第二均风板222靠近多个第一红外灯管110的一侧。由于多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210之间无阻隔，多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210能够在传输热量的同时对电池片进行光照。多个第一红外灯管110之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，多个第二红外灯管210之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，能够使电池片受热均匀。

实施例6：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，第二进风组件设于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔310内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

进一步地，第一进风组件包括第一均风板122，第二进风组件包括第二均风板222。第一均风板122位于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，第二均风板222位于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧。第一均风板122、第二均风板222上均设有多个通孔，多个通孔均匀分布，便于空气流通，从而调节抗光衰炉10内温度均匀、恒定。

进一步地，如图1和图3所示，多个第一红外灯管110与第一均风板122上下间隔设置，并位于第一均风板122靠近多个第二红外灯管210的一侧。多个第二红外灯管210与第二均风板222上下间隔设置，并位于第二均风板222靠近多个第一红外灯管110的一侧。由于多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210之间无阻隔，多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210能够在传输热量的同时对电池片进行光照。多个第一红外灯管110之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，多个第二红外灯管210之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，能够使电池片受热均匀。

进一步地，沿第一均风板122从远离多个第一红外灯管110的一面到靠近多个第一红外灯管110的一面的方向上，通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。沿第二均风板222从远离多个第二红外灯管210的一面到靠近多个第二红外灯管210的一面的方向上，通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。可以理解，第一均风板122、第二均风板222上均设有均匀分布的通孔，该通孔的特征是一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后不再改变直至完全贯穿均风板，空气从大孔径一侧流到小孔一侧，具有均匀分散热风，减小流动阻力的作用。

实施例7：

如图1所示，本实施例提供了一种抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件。第二炉体与第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310。光源组件设置在第一炉体和/或第二炉体内，光源组件用于对工艺腔310进行加热和光照辐射。

根据本实施例提供的抗光衰炉10，包括第一炉体、第二炉体和光源组件，第一炉体和第二炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔310，用于设置传送装置500。光源组件可以设置在第一炉体或第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行单面加热和单面光照辐射，也可以设置在第一炉体和第二炉体内，对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射，加热均匀且迅速，从而满足不同电池片的加热需求。

进一步地，光源组件包括多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210。多个第一红外灯管110位于第一炉体内，多个第二红外灯管210位于第二炉体内。通过多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210，可以对传送装置500上的电池片进行双面的加热和双面的光照辐射。其中，多个第一红外灯管110、多个第二红外灯管210均为红外灯管，通过红外灯管对电池片进行光照辐射，可以起到光注入，即抗光衰的作用。

进一步地，第一炉体还包括多个第一进风组件，第二炉体还包括多个第二进风组件。第一进风组件设于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，第二进风组件设于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧，使新鲜的空气均匀的进入工艺腔310，通过第一进风组件和第二进风组件，可以使工艺腔310内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

进一步地，第一进风组件包括第一均风板122，第二进风组件包括第二均风板222。第一均风板122位于多个第一红外灯管110远离多个第二红外灯管210的一侧，第二均风板222位于多个第二红外灯管210远离多个第一红外灯管110的一侧。第一均风板122、第二均风板222上均设有多个通孔，多个通孔均匀分布，便于空气流通，从而调节抗光衰炉10内温度均匀、恒定。

进一步地，如图1和图3所示，多个第一红外灯管110与第一均风板122上下间隔设置，并位于第一均风板122靠近多个第二红外灯管210的一侧。多个第二红外灯管210与第二均风板222上下间隔设置，并位于第二均风板222靠近多个第一红外灯管110的一侧。由于多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210之间无阻隔，多个第一红外灯管110和多个第二红外灯管210能够在传输热量的同时对电池片进行光照。多个第一红外灯管110之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，多个第二红外灯管210之间沿硅片传输方向均匀地间隔设置，能够使电池片受热均匀。

进一步地，沿第一均风板122从远离多个第一红外灯管110的一面到靠近多个第一红外灯管110的一面的方向上，通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。沿第二均风板222从远离多个第二红外灯管210的一面到靠近多个第二红外灯管210的一面的方向上，通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。可以理解，第一均风板122、第二均风板222上均设有均匀分布的通孔，该通孔的特征是一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后不再改变直至完全贯穿均风板，空气从大孔径一侧流到小孔一侧，具有均匀分散热风，减小流动阻力的作用。

如图2所示，进一步地，第一进风组件还包括第一壳体124，第二进风组件还包括第二壳体224。第一壳体124位于第一均风板122远离多个第一红外灯管110的一侧，并与第一均风板122相连，合围出第一均流腔126。冷空气通过第一进风管128和第一马达132进入第一均流腔126，第一均流腔126内带有压力的空气经过第一均风板122上的通孔均匀的通入工艺腔310，用于保持工艺腔310内恒定的温度。第二壳体224位于第二均风板222远离多个第二红外灯管210的一侧，并与第二均风板222相连，合围出第二均流腔226。冷空气通过第二进风管228和第二马达232进入第二均流腔226，第二均流腔226内带有压力的空气经过第二均风板222上的通孔均匀的通入工艺腔310，用于保持工艺腔310内恒定的温度。

实施例8：

如图2所示，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征：第一进风组件还包括：第一进风管128，设于第一炉体的炉壁上，第一进风管128用于向炉腔内进气。第一风轮130，第一风轮130设于第一壳体124上。第一马达132，第一马达132与第一风轮130相连，用于驱动第一风轮130。第二进风组件还包括：第二进风管228，设于第二炉体的炉壁上，第二进风管228用于向炉腔内进气。第二风轮230，第二风轮230设于第二壳体224上。第二马达232，第二马达232与第二风轮230相连，用于驱动第二风轮230。

进一步地，第一进风组件还包括第一风轮130和第一马达132，第二进风组件还包括第二风轮230和第二马达232。第一风轮130设于第一壳体124上，通过第一马达132驱动第一风轮130，可以使从第一进风管128进入的空气进入第一均流腔126，第一均流腔126内带有压力的空气经过第一均风板122上的通孔均匀的通入工艺腔310，从而保持工艺腔310内恒定的温度。第二风轮230设于第二壳体224上，通过第二马达232驱动第二风轮230，可以使从第二进风管228进入的空气进入第二均流腔226，第二均流腔226内带有压力的空气经过第二均风板222上的通孔均匀的通入工艺腔310，从而保持工艺腔310内恒定的温度。

实施例9：

如图2和图3所示，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征：工艺腔310的侧壁设有多个回抽口320，回抽口320用于回抽工艺腔310的热气。抗光衰炉还包括：多个排废管410，每个排废管410与一个第二均流腔226相连通。排废箱420，与排废管410相连通，并与外部相连通。

在该实施例中，工艺腔310的侧壁设有多个回抽口320，工艺腔310内的热空气主要通过回抽口320，经过炉体后部的连通腔，通过第一壳体回到第一均流腔126，通过第二壳体回到第二均流腔226，达到循环使用热空气的目的，减小热量损耗，保持炉内温度恒定。第一均风板、第二均风板周边的长条孔也可以回抽热气，热空气通过第一壳体、第二壳体回到第一均流腔126、第二均流腔226。抗光衰炉10还包括多个排废管410和排废箱420。每个排废管410一端与一个第二均流腔226连通，另一端与排废箱420连通，用于将一部分热废气排出炉外，保证抗光衰炉10内的空气质量。

实施例10：

如图4所示，根据本申请的实施例提出的一种热处理设备20，包括传送装置500和如上述任一实施例的抗光衰炉10。传送装置500设于抗光衰炉10的工艺腔310中。

根据本申请提供的热处理设备20，包括如上述任一实施例的抗光衰炉10，因而其具有如上述任一实施例的抗光衰炉10的全部有益效果，在此不再赘述。传送装置500设于抗光衰炉10的工艺腔310中，用于传送电池片。

如图1至图4所示，根据本申请一个具体实施例的热处理设备20，包括抗光衰炉10和传送装置500，抗光衰炉10包括第一炉体、第二炉体、排废管410和排废箱420。第一炉体包括多个第一红外灯管110和多个第一进风组件，第一进风组件包括第一均风板122、第一进风管128、第一风轮130和第一马达132。第二炉体包括多个第二红外灯管210和多个第二进风组件，第二进风组件包括第二均风板222、第二进风管228、第二风轮230和第二马达232。太阳能电池片通过特定的传送装置500经过工艺腔310，接收正反面全方位光照辐射，使电池片达到退火的工艺温度，并且开始光衰反应。

冷空气由第一进风管128和第一马达132进入第一均流腔126，通过第一均风板122进入工艺腔310；靠近太阳能电池片传输方向均匀排布有多个红外灯管；第一均风板122中央区域设有均匀分布的Y型孔，四边设有多个长条孔；第一均流腔126内带有压力的空气经过第一均风板122中央的Y型孔均匀的通入工艺腔310，用于保持工艺腔310内恒定的温度；工艺腔310内装有多个温度检测装置，将温度值反馈给温度控制器，用于精准控制工艺腔310内的工艺温度；Y型孔其特征一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后不再改变直至完全贯穿第一均风板122，空气从大孔径一侧流到小孔一侧；具有均匀分散热风，减小流动阻力的作用；工艺腔310两侧壁设有多个回抽口320，工艺腔310内的热空气主要通过回抽口320，经过炉体后部的连通腔由第一均风板122周边的长条孔回到第一均流腔126，来达到循环使用热空气的目的；排废管410连接到第二炉体内的第二均流腔226，将一部分热废气排出炉外保证炉腔内的空气质量。

综上，本申请实施例的有益效果为：

1.第一炉体、第二炉体结构对称，炉腔完全封闭，炉腔内上下都均匀排列有若干红外灯管，加热均匀且迅速，并且可以满足后续工艺电池片双面光衰的需求。

2.在工艺腔310设置回抽口320将热风送回第一均流腔126和第二均流腔226来达到热风循环加热使用的目的，减小热量损耗，保持炉内温度恒定。

3.采用风机将鲜气均匀鼓吹进入炉腔内部，采用均流腔与均流板使得气流恒定输送使炉腔内温度可以长时间保持在工艺需求范围内。

4、第二炉体设有排废管410，及时有效的抽走腔内产生的有机废气。

在本申请中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本申请的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种抗光衰炉，其特征在于，包括：

第一炉体，

第二炉体，与所述第一炉体之间间隔设置，构造出一个工艺腔(310)；

光源组件，设置在所述第一炉体和/或所述第二炉体内，所述光源组件用于对所述工艺腔(310)进行加热和光照辐射。

2.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，

所述光源组件包括：

多个第一红外灯管(110)，位于所述第一炉体内；

多个第二红外灯管(210)，位于所述第二炉体内。

3.根据权利要求2所述的抗光衰炉，其特征在于，

所述第一炉体还包括：

多个第一进风组件，所述第一进风组件设于多个所述第一红外灯管(110)远离多个所述第二红外灯管(210)的一侧；

所述第二炉体还包括：

多个第二进风组件，所述第二进风组件设于多个所述第二红外灯管(210)远离多个所述第一红外灯管(110)的一侧。

4.根据权利要求3所述的抗光衰炉，其特征在于，所述第一进风组件包括：

第一均风板(122)，位于多个所述第一红外灯管(110)远离多个所述第二红外灯管(210)的一侧，所述第一均风板(122)上设有多个第一通孔，所述第一通孔用于通过气流；

所述第二进风组件包括：

第二均风板(222)，位于多个所述第二红外灯管(210)远离多个所述第一红外灯管(110)的一侧，所述第二均风板(222)上设有多个第二通孔，所述第二通孔用于通过气流。

5.根据权利要求4所述的抗光衰炉，其特征在于，

多个所述第一红外灯管(110)与所述第一均风板(122)间隔设置，多个所述第一红外灯管(110)沿硅片传输方向均匀地间隔设置；

多个所述第二红外灯管(210)与所述第二均风板(222)间隔设置，多个所述第二红外灯管(210)沿硅片传输方向均匀地间隔设置。

6.根据权利要求5所述的抗光衰炉，其特征在于，

沿所述第一均风板(122)向多个所述第一红外灯管(110)的方向上，所述第一通孔的直径逐渐减小，直至预设数值；和/或

沿所述第二均风板(222)向多个所述第二红外灯管(210)的方向上，所述第二通孔的直径逐渐减小，直至预设数值。

7.根据权利要求5或6所述的抗光衰炉，其特征在于，所述第一进风组件还包括：

第一壳体(124)，所述第一壳体(124)位于所述第一均风板(122)远离多个所述第一红外灯管(110)的一侧，所述第一壳体(124)与所述第一均风板(122)相连，并合围出第一均流腔(126)；

所述第二进风组件还包括：

第二壳体(224)，所述第二壳体(224)位于所述第二均风板(222)远离多个所述第二红外灯管(210)的一侧，所述第二壳体(224)与所述第二均风板(222)相连，并合围出第二均流腔(226)。

8.根据权利要求7所述的抗光衰炉，其特征在于，所述第一进风组件还包括：

第一进风管(128)，设于所述第一炉体的炉壁上，所述第一进风管(128)用于向炉腔内进气；

第一风轮(130)，所述第一风轮(130)设于所述第一壳体(124)上；

第一马达(132)，所述第一马达(132)与所述第一风轮(130)相连，用于驱动所述第一风轮(130)；

所述第二进风组件还包括：

第二进风管(228)，设于所述第二炉体的炉壁上，所述第二进风管(228)用于向炉腔内进气；

第二风轮(230)，所述第二风轮(230)设于所述第二壳体(224)上；

第二马达(232)，所述第二马达(232)与所述第二风轮(230)相连，用于驱动所述第二风轮(230)。

9.根据权利要求8所述的抗光衰炉，其特征在于，

所述工艺腔(310)的侧壁设有多个回抽口(320)，所述回抽口(320)用于回抽所述工艺腔(310)的热气；

所述抗光衰炉还包括：

多个排废管(410)，每个所述排废管(410)与一个所述第二均流腔(226)相连通；

排废箱(420)，与所述排废管(410)相连通，并与外部相连通。

10.一种热处理设备，其特征在于，包括：

传送装置(500)；

如权利要求1至9中任一项所述的抗光衰炉，所述传送装置(500)设于所述抗光衰炉的工艺腔(310)中。

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