CN215198665U

CN215198665U - 一种用于半导体生产的检测设备

Info

Publication number: CN215198665U
Application number: CN202121694748.8U
Authority: CN
Inventors: 杨斌; 黄峰荣; 何秋生
Original assignee: Foshan Hexin Semiconductor Co ltd
Current assignee: Foshan Hexin Semiconductor Co ltd
Priority date: 2021-07-23
Filing date: 2021-07-23
Publication date: 2021-12-17
Anticipated expiration: 2031-07-23

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体生产的检测设备，包括底座，所述底座底部的四周均固定安装有支撑腿，所述底座的顶部固定安装有检测箱，所述检测箱顶部的左侧固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，且螺杆的底部通过轴承活动连接于检测箱内腔的底部，所述螺杆的外表面螺纹连接有螺套，所述螺套的右侧固定安装有连接杆。本实用新型通过电机的输出端带动螺杆转动，螺杆带动螺套上下移动，螺套通过连接杆带动风扇上下移动，产生风能，将检测箱内腔中的灰尘吹向右侧，风机的输入端经过吸尘管和喇叭管将灰尘吸入，然后风机的输出端将灰尘输送至除尘箱的内腔中，通过设置滤网，可以吸附灰尘，达到了除尘的效果。

Description

一种用于半导体生产的检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种用于半导体生产的检测设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明和大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗和砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，在半导体生产中需要用到检测设备，但现有的检测设备不具备除尘的功能，影响工作质量，从而不便于人们使用。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于半导体生产的检测设备，具备除尘的优点，解决了现有的检测设备不具备除尘的功能，影响工作质量，从而不便于人们使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体生产的检测设备，包括底座，所述底座底部的四周均固定安装有支撑腿，所述底座的顶部固定安装有检测箱，所述检测箱顶部的左侧固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，且螺杆的底部通过轴承活动连接于检测箱内腔的底部，所述螺杆的外表面螺纹连接有螺套，所述螺套的右侧固定安装有连接杆，所述连接杆的右侧固定安装有风扇，所述检测箱顶部的中端固定安装有除尘箱，所述除尘箱内腔的左右两侧均固定安装有卡座，所述卡座的内腔卡接有滤网，所述除尘箱右侧的底部开设有出气孔，所述除尘箱的顶部固定安装有风机，且风机的输出端贯穿至除尘箱的内腔中，所述风机的输入端固定连接有吸尘管，且吸尘管远离风机的一端贯穿至检测箱的内腔中，所述吸尘管远离风机的一端固定连接有喇叭管。

优选的，所述检测箱内腔底部的左右两侧均固定安装有支架，所述支架的顶部固定安装有检测平台。

优选的，所述检测箱内腔的左侧开设有滑槽，所述螺套的左侧固定安装有滑杆，且滑杆的左侧滑动连接于滑槽的内腔中。

优选的，所述除尘箱的前侧通过合页活动安装有第二箱门，且第二箱门的前侧固定安装有把手。

优选的，所述除尘箱的右侧固定安装有固定杆，且固定杆的右侧固定安装于吸尘管的内侧。

优选的，所述检测箱的前侧通过合页活动安装有第一箱门，所述第一箱门的前侧设置有观察窗。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于半导体生产的检测设备，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过电机的输出端带动螺杆转动，螺杆带动螺套上下移动，螺套通过连接杆带动风扇上下移动，产生风能，将检测箱内腔中的灰尘吹向右侧，风机的输入端经过吸尘管和喇叭管将灰尘吸入，然后风机的输出端将灰尘输送至除尘箱的内腔中，通过设置滤网，可以吸附灰尘，达到了除尘的效果，通过以上结构的配合，解决了现有的检测设备不具备除尘的功能，影响工作质量，从而不便于人们使用的问题。

2、本实用新型通过设置观察窗，可以方便人们观察，通过设置固定杆，可以避免吸尘管脱落，通过设置第二箱门，可以方便人们取出滤网。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型剖视结构示意图；

图3为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1、底座；2、检测箱；3、第一箱门；4、观察窗；5、电机；6、除尘箱；7、第二箱门；8、风机；9、吸尘管；10、固定杆；11、支撑腿；12、风扇；13、检测平台；14、支架；15、喇叭管；16、出气孔；17、滤网；18、卡座；19、螺杆；20、滑槽；21、连接杆；22、滑杆；23、螺套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的底座1、检测箱2、第一箱门3、观察窗4、电机5、除尘箱6、第二箱门7、风机8、吸尘管9、固定杆10、支撑腿11、风扇12、检测平台13、支架14、喇叭管15、出气孔16、滤网17、卡座18、螺杆19、滑槽20、连接杆21、滑杆22和螺套23部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图1-3，一种用于半导体生产的检测设备，包括底座1，底座1底部的四周均固定安装有支撑腿11，底座1的顶部固定安装有检测箱2，检测箱2内腔底部的左右两侧均固定安装有支架14，支架14的顶部固定安装有检测平台13，检测箱2的前侧通过合页活动安装有第一箱门3，第一箱门3的前侧设置有观察窗4，通过设置观察窗4，可以方便人们观察，检测箱2顶部的左侧固定安装有电机5，电机5的输出端固定连接有螺杆19，且螺杆19的底部通过轴承活动连接于检测箱2内腔的底部，螺杆19的外表面螺纹连接有螺套23，检测箱2内腔的左侧开设有滑槽20，螺套23的左侧固定安装有滑杆22，且滑杆22的左侧滑动连接于滑槽20的内腔中，螺套23的右侧固定安装有连接杆21，连接杆21的右侧固定安装有风扇12，检测箱2顶部的中端固定安装有除尘箱6，除尘箱6内腔的左右两侧均固定安装有卡座18，卡座18的内腔卡接有滤网17，除尘箱6的前侧通过合页活动安装有第二箱门7，且第二箱门7的前侧固定安装有把手，通过设置第二箱门7，可以方便人们取出滤网17，除尘箱6右侧的底部开设有出气孔16，除尘箱6的顶部固定安装有风机8，且风机8的输出端贯穿至除尘箱6的内腔中，风机8的输入端固定连接有吸尘管9，且吸尘管9远离风机8的一端贯穿至检测箱2的内腔中，除尘箱6的右侧固定安装有固定杆10，且固定杆10的右侧固定安装于吸尘管9的内侧，通过设置固定杆10，可以避免吸尘管9脱落，吸尘管9远离风机8的一端固定连接有喇叭管15。

在使用时，通过外置控制器同时启动电机5和风机8，通过电机5的输出端带动螺杆19转动，螺杆19带动螺套23上下移动，螺套23通过连接杆21带动风扇12上下移动，产生风能，将检测箱2内腔中的灰尘吹向右侧，风机8的输入端经过吸尘管9和喇叭管15将灰尘吸入，然后风机8的输出端将灰尘输送至除尘箱6的内腔中，通过设置滤网17，可以吸附灰尘，达到了除尘的效果，通过以上结构的配合，解决了现有的检测设备不具备除尘的功能，影响工作质量，从而不便于人们使用的问题（本申请中外置控制器为PLC控制器，同时，外置控制器的两个接线端通过导线连接有电源插头，且本申请中采用市电进行供电）。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims

1.一种用于半导体生产的检测设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）底部的四周均固定安装有支撑腿（11），所述底座（1）的顶部固定安装有检测箱（2），所述检测箱（2）顶部的左侧固定安装有电机（5），所述电机（5）的输出端固定连接有螺杆（19），且螺杆（19）的底部通过轴承活动连接于检测箱（2）内腔的底部，所述螺杆（19）的外表面螺纹连接有螺套（23），所述螺套（23）的右侧固定安装有连接杆（21），所述连接杆（21）的右侧固定安装有风扇（12），所述检测箱（2）顶部的中端固定安装有除尘箱（6），所述除尘箱（6）内腔的左右两侧均固定安装有卡座（18），所述卡座（18）的内腔卡接有滤网（17），所述除尘箱（6）右侧的底部开设有出气孔（16），所述除尘箱（6）的顶部固定安装有风机（8），且风机（8）的输出端贯穿至除尘箱（6）的内腔中，所述风机（8）的输入端固定连接有吸尘管（9），且吸尘管（9）远离风机（8）的一端贯穿至检测箱（2）的内腔中，所述吸尘管（9）远离风机（8）的一端固定连接有喇叭管（15）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的检测设备，其特征在于：所述检测箱（2）内腔底部的左右两侧均固定安装有支架（14），所述支架（14）的顶部固定安装有检测平台（13）。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的检测设备，其特征在于：所述检测箱（2）内腔的左侧开设有滑槽（20），所述螺套（23）的左侧固定安装有滑杆（22），且滑杆（22）的左侧滑动连接于滑槽（20）的内腔中。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的检测设备，其特征在于：所述除尘箱（6）的前侧通过合页活动安装有第二箱门（7），且第二箱门（7）的前侧固定安装有把手。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的检测设备，其特征在于：所述除尘箱（6）的右侧固定安装有固定杆（10），且固定杆（10）的右侧固定安装于吸尘管（9）的内侧。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的检测设备，其特征在于：所述检测箱（2）的前侧通过合页活动安装有第一箱门（3），所述第一箱门（3）的前侧设置有观察窗（4）。