CN215161779U - 一种微电子半导体厂用cmp废水高效回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出端固定连接有传动轴，传动轴的表面固定连接有搅拌杆，传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，第一齿轮的表面啮合有传动机构，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。

Description

一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置

技术领域

本实用新型涉及废水处理技术领域，具体为一种微电子半导体厂用CMP 废水高效回收装置。

背景技术

半导体工业是一个十分依赖水资源的行业，也是高耗水的行业，尤其在水资源有限的情形下，限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力，因此，对半导体生产企业节约用水的研究与实践，有助于提升用水效益，降低用水成本，目前，节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施，特别是废水的回收利用，既能减少对水资源的需求，又能降低生产成本，同时也减少对环境的污染。

现有的对CMP废水的回收设备在使用过程中对废水的过滤效果不佳，且过滤后不方便对滤网进行清洗，同时不便于对污水处理箱内部的异味进行吸收净化处理。

实用新型内容

解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括底座，所述底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，所述底座上表面的中部固定连接有电解箱，所述底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，所述电解箱上表面的一侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴的表面固定连接有搅拌杆，所述传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面啮合有传动机构，所述传动机构的输出端啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的中部固定连接有支撑轴，所述支撑轴的表面固定连接有两组搅拌叶，所述过滤箱内侧壁的底部固定连接有过滤网，所述净化箱的内侧壁搭接有活性炭吸附层。

可选的，所述过滤箱的背面固定连接有排放窗，所述排放窗的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗的正面开设有与过滤箱相连通的排放口，从而方便人员清理过滤在过滤网上方的杂质，同时便于密封排放窗。

可选的，所述传动机构包括传动杆，所述传动杆的两端均固定连接有第三齿轮，从而方便与传动第一齿轮和第二齿轮。

可选的，所述第三齿轮与第一齿轮和第二齿轮相适配，所述传动杆通过防水轴承固定安装在过滤箱的正面，从而通过第一齿轮带动传动机构工作。

可选的，所述过滤箱的一侧固定设置有水泵，所述水泵的输入端与过滤箱相连通，所述水泵的输出端连通设置有分流管，通过水泵将水输送到净化箱和电解箱内。

可选的，所述分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱相连通，另一个支管与净化箱相连通，所述支管的表面设置有第一电磁阀，从而方便控制支管。

可选的，所述净化箱和电解箱表面的底部均固定连接有排放管，所述排放管的表面设置有第二电磁阀，从而方便排放净化过的废水。

可选的，所述搅拌叶的数量为若干个，若干个所述搅拌叶呈环形阵列在所述支撑轴的表面，从而方便废水在过滤箱内过滤沉淀。

有益效果

本实用新型提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，具备以下有益效果：

该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱、电机、传动轴、搅拌杆、第一齿轮、传动机构、第二齿轮、支撑轴、过滤网和活性炭吸附层的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，杂质留存在过滤网的上方，便于处理，搅拌叶转动提高废水与沉淀剂的混合度，从而提高沉淀效率，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型第二形态结构示意图；

图3为本实用新型第三形态结构示意图；

图4为本实用新型传动机构及搅拌叶的结构示意图；

图5为本实用新型电解箱的结构示意图；

图6为本实用新型净化箱的结构示意图。

图中：1-底座、2-过滤箱、3-电解箱、4-净化箱、5-电机、6-传动轴、 7-搅拌杆、8-第一齿轮、9-传动机构、901-传动杆、902-第三齿轮、10-第二齿轮、11-支撑轴、12-搅拌叶、13-过滤网、14-活性炭吸附层、15-排放窗、 16-水泵、17-排放管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图6，本实用新型提供一种技术方案：一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，包括底座1，底座1上表面的一侧固定连接有过滤箱2，底座1上表面的中部固定连接有电解箱3，底座1上表面的另一侧固定连接有净化箱4，电解箱3上表面的一侧设置有电机5，电机5的输出端固定连接有传动轴6，传动轴6的表面固定连接有搅拌杆7，传动轴6的表面靠近电机5的一端固定连接有第一齿轮8，第一齿轮8的表面啮合有传动机构9，传动机构9的输出端啮合有第二齿轮10，第二齿轮10的中部固定连接有支撑轴11，支撑轴11的表面固定连接有两组搅拌叶12，过滤箱2内侧壁的底部固定连接有过滤网13，净化箱4的内侧壁搭接有活性炭吸附层14。

过滤箱2的一侧固定设置有水泵16，水泵16的输入端与过滤箱2相连通，水泵16的输出端连通设置有分流管，通过水泵16将水输送到净化箱4和电解箱3内，分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱3相连通，另一个支管与净化箱4相连通，支管的表面设置有第一电磁阀，从而方便控制支管，净化箱4和电解箱3表面的底部均固定连接有排放管17，排放管17的表面设置有第二电磁阀，从而方便排放净化过的废水，搅拌叶12 的数量为若干个，若干个搅拌叶12呈环形阵列在支撑轴11的表面，从而方便废水在过滤箱2内过滤沉淀，过滤箱2的背面固定连接有排放窗15，排放窗15的内侧壁插接有密封板，密封板的侧面设置有橡胶密封圈，排放窗15 的正面开设有与过滤箱2相连通的排放口，从而方便人员清理过滤在过滤网 13上方的杂质，同时便于密封排放窗15，传动机构9包括传动杆901，传动杆901的两端均固定连接有第三齿轮902，从而方便与传动第一齿轮8和第二齿轮10，第三齿轮902与第一齿轮8和第二齿轮10相适配，传动杆901通过防水轴承固定安装在过滤箱2的正面，从而通过第一齿轮8带动传动机构9 工作。

综上，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，使用时，工作人员将废水引入过滤箱2内，同时向过滤箱2内添加明矾等沉淀剂，使得废水沉淀便于处理，电机5工作带动第一齿轮8转动，第一齿轮8啮合第二齿轮10 进而带动传动杆901转动，传动杆901转动的同时驱动支撑轴11转动，支撑轴11带动搅拌叶12搅拌，使得废水充分与明矾混合，杂质过滤在过滤网13 上，打开排放窗15内的密封板，便于将过滤的杂质清理出去，沉淀后的废水可以通过水泵16引入电解箱3进行电解，打开电解箱3一侧支管上的第一电磁阀，即可将废水排入电解箱3内，传动轴6带动搅拌杆7转动，提高电解效率，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱4，经过活性炭吸附层14，去除废水中的异味，再通过排放管17排出。

本公开具体实施方式省略了已知功能和已知部件的详细说明，为保证设备的兼容性，所采用的操作手段均与市面器械参数保持一致。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备,通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考上述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，因此不在对电气控制做说明。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”、“设置”等均做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接或在不影响部件关系与技术效果的基础上通过中间组件间接进行，也可以是一体连接或部分连接，如同此例的情形对于本领域普通技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型或实用新型中的具体含义。

其中所使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，且本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面的一侧固定连接有过滤箱(2)，所述底座(1)上表面的中部固定连接有电解箱(3)，所述底座(1)上表面的另一侧固定连接有净化箱(4)，所述电解箱(3)上表面的一侧设置有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有传动轴(6)，所述传动轴(6)的表面固定连接有搅拌杆(7)，所述传动轴(6)的表面靠近电机(5)的一端固定连接有第一齿轮(8)，所述第一齿轮(8)的表面啮合有传动机构(9)，所述传动机构(9)的输出端啮合有第二齿轮(10)，所述第二齿轮(10)的中部固定连接有支撑轴(11)，所述支撑轴(11)的表面固定连接有两组搅拌叶(12)，所述过滤箱(2)内侧壁的底部固定连接有过滤网(13)，所述净化箱(4)的内侧壁搭接有活性炭吸附层(14)。

2.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述过滤箱(2)的背面固定连接有排放窗(15)，所述排放窗(15)的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗(15)的正面开设有与过滤箱(2)相连通的排放口。

3.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述传动机构(9)包括传动杆(901)，所述传动杆(901)的两端均固定连接有第三齿轮(902)。

4.根据权利要求3所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述第三齿轮(902)与第一齿轮(8)和第二齿轮(10)相适配，所述传动杆(901)通过防水轴承固定安装在过滤箱(2)的正面。

5.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述过滤箱(2)的一侧固定设置有水泵(16)，所述水泵(16)的输入端与过滤箱(2)相连通，所述水泵(16)的输出端连通设置有分流管。

6.根据权利要求5所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱(3)相连通，另一个支管与净化箱(4)相连通，所述支管的表面设置有第一电磁阀。

7.根据权利要求6所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述净化箱(4)和电解箱(3)表面的底部均固定连接有排放管(17)，所述排放管(17)的表面设置有第二电磁阀。

8.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述搅拌叶(12)的数量为若干个，若干个所述搅拌叶(12)呈环形阵列在所述支撑轴(11)的表面。

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