CN215117162U - 一种曝光机用的散热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种曝光机用的散热装置，包括安装框，安装框内表面的中部贯穿安装有冷排管，两个冷排管延伸至安装框外部的一端共同安装有连接弯管，安装框靠近连接弯管一端的端部固定安装有固定座，固定座的外侧贯穿安装有出水管，固定座远离连接弯管的一侧贯穿安装有进水管，安装框内表面的上部固定安装有固定架，固定架的内环面固定安装有安装板，安装板的上表面固定安装有安装座，安装座的上表面开设有灯座，两个冷排管延伸至安装框外部的另一端共同安装有通管，冷排管的外部套设安装有呈间隔设置的散热片。本实用新型在使用的过程中，能够实现对每个灯座进行散热，散热器覆盖范围广，且散热效率高，进一步地有利于进行使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及曝光机用散热设备技术领域，尤其涉及一种曝光机用的散热装置。
背景技术
曝光机又名光刻机，是制造芯片的核心设备，采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，曝光机在使用的过程中，由于照射灯管长时间的照射，曝光机内部温度较高，为了避免温度较高影响设备的正常运行，亟需散热设备进行有效散热，传统的散热设备在使用时，散热器覆盖范围较小，不能够对每个灯座进行直接散热，进而不利于进行使用。为此，我们提出了一种曝光机用的散热装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种曝光机用的散热装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种曝光机用的散热装置，包括安装框，所述安装框内表面的中部贯穿安装有呈间隔设置的冷排管，两个所述冷排管延伸至安装框外部的一端共同安装有连接弯管，所述安装框靠近连接弯管一端的端部固定安装有固定座，所述固定座的外侧贯穿安装有出水管，所述固定座远离连接弯管的一侧贯穿安装有进水管，所述安装框内表面的上部固定安装有固定架，所述固定架的内环面固定安装有呈间隔设置的安装板，所述安装板的上表面固定安装有呈均匀分布的安装座，所述安装座的上表面开设有灯座，两个所述冷排管延伸至安装框外部的另一端共同安装有通管，所述冷排管的外部套设安装有呈间隔设置的散热片。
优选的，所述通管、冷排管与连接弯管的内部之间相连通。
优选的，所述安装框对应安装板的外环面固定安装有紧固螺栓，所述紧固螺栓延伸至安装框的内部并与安装板之间相连接。
优选的，所述安装框远离固定架的内表面的下部固定安装有散热板，所述散热板上开设有呈均匀分布的散热孔。
优选的，所述散热片上贯穿开设有安装孔，所述散热片的外表面固定安装有相间隔的半凸球，所述安装孔的内环面与冷排管的外环面之间相连接。
优选的，所述安装框靠近连接弯管和通管一侧的前后两端均固定安装有肋板。
本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置，有益效果在于：本方案在使用的过程中，通过肋板将整个装置安装在曝光机内，进水管和出水管分别接入冷凝设备中，并在安装座上的灯座内固定安装朝向上方的照射灯，确保照射灯能够得到较为直接有效的散热效果；
在曝光机内照射灯长时间的使用后，曝光机内温度较高，热量集中在冷排管上的散热片上，冷凝设备通过进水管进入冷却液并以连接弯管、冷排管以及通管之间形成的通路回到出水管，冷却液通过冷排管时，冷排管配合半凸球将散热片上的热量吸收，从而实现冷热交换，提升曝光机内部的散热效率，有利于进行使用，因此整个装置在使用的过程中，能够实现对每个灯座进行散热，散热范围广，且散热效率高，进一步地有利于进行使用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的仰视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的内部结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的散热片的结构示意图。
图中：安装框1、冷排管2、安装座3、安装板4、固定架5、连接弯管6、固定座7、出水管8、进水管9、散热片10、散热板11、通管12、紧固螺栓13、安装孔14、半凸球15、肋板16。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-4，一种曝光机用的散热装置，包括安装框1，安装框1内表面的中部贯穿安装有呈间隔设置的冷排管2，两个冷排管2延伸至安装框1外部的一端共同安装有连接弯管6，安装框1靠近连接弯管6一端的端部固定安装有固定座7，固定座7的外侧贯穿安装有出水管8，固定座7远离连接弯管6的一侧贯穿安装有进水管9，安装框1内表面的上部固定安装有固定架5，固定架5的内环面固定安装有呈间隔设置的安装板4，安装板4的上表面固定安装有呈均匀分布的安装座3，安装座3的上表面开设有灯座，通过在散热设备上直接安装灯座以及照射灯，使得照射灯产生的热量能够及时吸收，提升散热效率。
两个冷排管2延伸至安装框1外部的另一端共同安装有通管12，冷排管2的外部套设安装有呈间隔设置的散热片10，通管12、冷排管2与连接弯管6的内部之间相连通，安装框1对应安装板4的外环面固定安装有紧固螺栓13，紧固螺栓13延伸至安装框1的内部并与安装板4之间相连接，安装框1远离固定架5的内表面的下部固定安装有散热板11，通过散热板11的配合安装，避免因冷却液供给不足造成的无法散热的情况，提升容错率，便于使用。
散热板11上开设有呈均匀分布的散热孔，散热片10上贯穿开设有安装孔14，散热片10的外表面固定安装有相间隔的半凸球15，通过在散热片10上均匀设置半凸球15，增加散热片10的表面积，提升换热效率。
安装孔14的内环面与冷排管2的外环面之间相连接，安装框1靠近连接弯管6和通管12一侧的前后两端均固定安装有肋板16，通过肋板16进行整个装置与曝光机之间形成固定连接，便于拆装。
使用原理及优点：本实用新型在使用的过程中，通过肋板16将整个装置安装在曝光机内，进水管9和出水管8分别接入冷凝设备中，并在安装座3上的灯座内固定安装朝向上方的照射灯，确保照射灯能够得到较为直接有效的散热效果；
在曝光机内照射灯长时间的使用后，曝光机内温度较高，热量集中在冷排管2上的散热片10上，冷凝设备通过进水管9进入冷却液并以连接弯管6、冷排管2以及通管12之间形成的通路回到出水管8，冷却液通过冷排管2时，冷排管2配合半凸球15将散热片10上的热量吸收，从而实现冷热交换，提升曝光机内部的散热效率，有利于进行使用，因此整个装置在使用的过程中，能够实现对每个灯座进行散热，散热范围广，且散热效率高，进一步地有利于进行使用。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种曝光机用的散热装置，包括安装框(1)，其特征在于，所述安装框(1)内表面的中部贯穿安装有呈间隔设置的冷排管(2)，两个所述冷排管(2)延伸至安装框(1)外部的一端共同安装有连接弯管(6)，所述安装框(1)靠近连接弯管(6)一端的端部固定安装有固定座(7)，所述固定座(7)的外侧贯穿安装有出水管(8)，所述固定座(7)远离连接弯管(6)的一侧贯穿安装有进水管(9)，所述安装框(1)内表面的上部固定安装有固定架(5)，所述固定架(5)的内环面固定安装有呈间隔设置的安装板(4)，所述安装板(4)的上表面固定安装有呈均匀分布的安装座(3)，所述安装座(3)的上表面开设有灯座，两个所述冷排管(2)延伸至安装框(1)外部的另一端共同安装有通管(12)，所述冷排管(2)的外部套设安装有呈间隔设置的散热片(10)。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机用的散热装置，其特征在于，所述通管(12)、冷排管(2)与连接弯管(6)的内部之间相连通。
3.根据权利要求1所述的一种曝光机用的散热装置，其特征在于，所述安装框(1)对应安装板(4)的外环面固定安装有紧固螺栓(13)，所述紧固螺栓(13)延伸至安装框(1)的内部并与安装板(4)之间相连接。
4.根据权利要求1所述的一种曝光机用的散热装置，其特征在于，所述安装框(1)远离固定架(5)的内表面的下部固定安装有散热板(11)，所述散热板(11)上开设有呈均匀分布的散热孔。
5.根据权利要求1所述的一种曝光机用的散热装置，其特征在于，所述散热片(10)上贯穿开设有安装孔(14)，所述散热片(10)的外表面固定安装有相间隔的半凸球(15)，所述安装孔(14)的内环面与冷排管(2)的外环面之间相连接。
6.根据权利要求1所述的一种曝光机用的散热装置，其特征在于，所述安装框(1)靠近连接弯管(6)和通管(12)一侧的前后两端均固定安装有肋板(16)。
Priority Applications (1)
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| CN202120809015.8U Active CN215117162U (zh) | 2021-04-20 | 2021-04-20 | 一种曝光机用的散热装置 |
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2021
- 2021-04-20 CN CN202120809015.8U patent/CN215117162U/zh active Active
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