CN215067907U - 一种用于半导体管道加热器的温度控制器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体管道加热设备技术领域，具体为一种用于半导体管道加热器的温度控制器，包括固定板、U型杆、安装座和控制器本体，本实用新型通过设置安装座和安装板，且安装座通过U型杆固定在需要固定位置，安装板通过螺栓连接有控制器本体，以此实现控制器本体与安装座之间的分体式安装；在对控制器本体进行安装时，用手将固定头拉起，然后使限位块对准限位槽，同时把卡合块插进卡合槽内，插好后，放下固定头，即完成控制器本体的安装；在需要将安装板和控制器本体拆卸时，工作人员用手将固定头拉起，在将卡合块从卡合槽中拔出即可，从而由以上结构的设计，极大方便了整个半导体管道加热器的温度控制器的安装和拆卸，提升了工作效率。

Description

一种用于半导体管道加热器的温度控制器

技术领域

本实用新型涉及半导体管道加热设备技术领域，具体为一种用于半导体管道加热器的温度控制器。

背景技术

目前，半导体管道加热已广泛应用于许多半导体生产工艺中。由于许多半导体生产工艺中有大量的可凝生成物生成，对半导体管道的加热可以避免此类生成物在管道内壁上的沉积，从而避免管道的堵塞，以保证半导体生产设备的正常运行。在对半导体管道加热时，对于加热温度的控制至关重要，然而，传统用于半导体管道加热器的温度控制器还普遍存在如下不足。比如现有的半导体管道加热器的温度控制器在使用一段时间后在后续拆装更换或维修时非常麻烦，需要额外的工具辅助才能进行拆装，大大的降低了拆装效率，且操作起来多有不便，为此设计了一种用于半导体管道加热器的温度控制器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体管道加热器的温度控制器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体管道加热器的温度控制器，包括固定板、U型杆、安装座和控制器本体，所述固定板背面通过螺栓固定连接有U型杆，所述固定板正面连接有连接柱，所述连接柱一端焊接有安装座，所述安装座侧面中间开设有开槽，所述开槽内腔底部于安装座内部开设有两个连通腔，所述连通腔内腔壁上开设有滑动腔，所述连通腔内安装有插杆，所述插杆侧面中间于滑动腔内连接有滑动板，所述插杆顶端安装有固定头，所述安装座正面中间开设有卡合槽，所述卡合槽内设置有卡合块，所述卡合块一端焊接有安装板，所述安装板正面通过螺栓连接有控制器本体。

优选的，所述滑动板与滑动腔相卡合滑动连接，且滑动板表面与靠近固定头一侧的滑动腔内腔壁之间连接有复位弹簧，便于使插杆固定在固定槽内。

优选的，所述卡合块表面开设有固定槽，所述连通腔与卡合槽相连通，且插杆贯穿连通腔与固定槽相卡合固定连接，便于将卡合块固定在安装座内。

优选的，所述卡合块一端连接有嵌合块，且嵌合块为不锈钢材质，所述连接柱内部中间开设有嵌合槽，且嵌合槽内腔侧面铺设有磁铁，所述嵌合块与嵌合槽相嵌合磁性连接，使卡合块更加牢固的固定在安装座内部。

优选的，所述卡合块底部设置有限位块，所述卡合槽内腔底部开设有限位槽，所述限位块与限位槽相卡合连接。

优选的，所述固定头侧面开设有防滑槽，且防滑槽表面均匀设置有若干个防滑凸起，便于更好的用手拿取固定头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置安装座和安装板，且安装座通过U型杆固定在需要固定位置，安装板通过螺栓连接有控制器本体，以此实现控制器本体与安装座之间的分体式安装；在对控制器本体进行安装时，用手将固定头拉起，然后使限位块对准限位槽，同时把卡合块插进卡合槽内，插好后，放下固定头，即完成控制器本体的安装；在需要将安装板和控制器本体拆卸时，工作人员用手将固定头拉起，在将卡合块从卡合槽中拔出即可，从而由以上结构的设计，极大方便了整个半导体管道加热器的温度控制器的安装和拆卸，提升了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的卡合块与安装座连接结构示意图；

图3为本实用新型的固定头结构示意图。

图中：1、固定板；2、U型杆；3、安装座；4、安装板；5、控制器本体；6、螺栓；7、连接柱；8、开槽；9、固定头；10、卡合块；11、卡合槽；12、嵌合槽；13、嵌合块；14、磁铁；15、固定槽；16、连通腔；17、滑动腔；18、插杆；19、滑动板；20、复位弹簧；21、限位槽；22、限位块；23、防滑槽；24、防滑凸起。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体管道加热器的温度控制器，包括固定板1、U型杆2、安装座3和控制器本体5，固定板1背面通过螺栓6固定连接有U型杆2，固定板1正面连接有连接柱7，连接柱7一端焊接有安装座3，安装座3侧面中间开设有开槽8，开槽8内腔底部于安装座3内部开设有两个连通腔16，连通腔16内腔壁上开设有滑动腔17，连通腔16内安装有插杆18，插杆18侧面中间于滑动腔17内连接有滑动板19，插杆18顶端安装有固定头9，安装座3正面中间开设有卡合槽11，卡合槽11内设置有卡合块10，卡合块10一端焊接有安装板4，安装板4正面通过螺栓6连接有控制器本体5。

进一步的，滑动板19与滑动腔17相卡合滑动连接，且滑动板19表面与靠近固定头9一侧的滑动腔17内腔壁之间连接有复位弹簧20，便于使插杆18固定在固定槽15内。

进一步的，卡合块10表面开设有固定槽15，连通腔16与卡合槽11相连通，且插杆18贯穿连通腔16与固定槽15相卡合固定连接，便于将卡合块10固定在安装座3内。

进一步的，卡合块10一端连接有嵌合块13，且嵌合块13为不锈钢材质，连接柱7内部中间开设有嵌合槽12，且嵌合槽12内腔侧面铺设有磁铁14，嵌合块13与嵌合槽12相嵌合磁性连接，使卡合块10更加牢固的固定在安装座3内部。

进一步的，卡合块10底部设置有限位块22，卡合槽11内腔底部开设有限位槽21，限位块22与限位槽21相卡合连接。

进一步的，固定头9侧面开设有防滑槽23，且防滑槽23表面均匀设置有若干个防滑凸起24，便于更好的用手拿取固定头9。

本实用新型通过设置安装座3和安装板4，且安装座3通过U型杆2固定在需要固定位置，安装板4通过螺栓6连接有控制器本体5，以此实现控制器本体5与安装座3之间的分体式安装；在对控制器本体5进行安装时，用手将固定头9拉起，然后使限位块22对准限位槽21，同时把卡合块10插进卡合槽11内，插好后，放下固定头9，即完成控制器本体5的安装；在需要将安装板4和控制器本体5拆卸时，工作人员用手将固定头9拉起，在将卡合块10从卡合槽11中拔出即可，从而由以上结构的设计，极大方便了整个半导体管道加热器的温度控制器的安装和拆卸，提升了工作效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于半导体管道加热器的温度控制器，包括固定板(1)、U型杆(2)、安装座(3)和控制器本体(5)，其特征在于：所述固定板(1)背面通过螺栓(6)固定连接有U型杆(2)，所述固定板(1)正面连接有连接柱(7)，所述连接柱(7)一端焊接有安装座(3)，所述安装座(3)侧面中间开设有开槽(8)，所述开槽(8)内腔底部于安装座(3)内部开设有两个连通腔(16)，所述连通腔(16)内腔壁上开设有滑动腔(17)，所述连通腔(16)内安装有插杆(18)，所述插杆(18)侧面中间于滑动腔(17)内连接有滑动板(19)，所述插杆(18)顶端安装有固定头(9)，所述安装座(3)正面中间开设有卡合槽(11)，所述卡合槽(11)内设置有卡合块(10)，所述卡合块(10)一端焊接有安装板(4)，所述安装板(4)正面通过螺栓(6)连接有控制器本体(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于：所述滑动板(19)与滑动腔(17)相卡合滑动连接，且滑动板(19)表面与靠近固定头(9)一侧的滑动腔(17)内腔壁之间连接有复位弹簧(20)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于：所述卡合块(10)表面开设有固定槽(15)，所述连通腔(16)与卡合槽(11)相连通，且插杆(18)贯穿连通腔(16)与固定槽(15)相卡合固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于：所述卡合块(10)一端连接有嵌合块(13)，且嵌合块(13)为不锈钢材质，所述连接柱(7)内部中间开设有嵌合槽(12)，且嵌合槽(12)内腔侧面铺设有磁铁(14)，所述嵌合块(13)与嵌合槽(12)相嵌合磁性连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于：所述卡合块(10)底部设置有限位块(22)，所述卡合槽(11)内腔底部开设有限位槽(21)，所述限位块(22)与限位槽(21)相卡合连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于：所述固定头(9)侧面开设有防滑槽(23)，且防滑槽(23)表面均匀设置有若干个防滑凸起(24)。

Images