CN215067713U - 光刻设备的照明系统和光刻设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻设备的照明系统和光刻设备，光刻设备的照明系统包括：光纤光源、透镜组、复眼匀光镜片组和光接收器件，光纤光源具有出光端，出光端的端面呈矩形，透镜组包括：第一透镜和第二透镜，第一透镜和第二透镜在光纤光源的出射方向间隔设置，复眼匀光镜片组包括：第一柱状透镜阵列、第二柱状透镜阵列、第三柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列，第一柱状透镜阵列与第四柱状透镜阵列的棱柱方向相同，第二柱状透镜阵列与第三柱状透镜阵列的棱柱方向相同，光接收器件接收第二透镜的出射光。通过在照明系统上设置出光端为矩形的光纤光源，以及设置复眼匀光镜片组，使得出射的矩形光斑的杂散光较少，从而可以提高照明系统的总出光能量。

Description

光刻设备的照明系统和光刻设备

技术领域

本实用新型涉及光刻设备技术领域，尤其是涉及一种光刻设备的照明系统和光刻设备。

背景技术

光刻技术用于制造大规模集成电路、微机电系统等。投影光刻机主要包括照明系统和投影物镜，照明系统均匀照射掩模版，掩模版上的精细图案被投影物镜成像到涂有光刻胶的硅片上。投影光刻机中的照明系统主要实现对激光束的整形、照明均匀化、改变相干因子、偏振控制、视场控制等。照明系统有三项关键指标：照明系统输出总能量、照明系统能量均匀性和照明系统出光发散角。

相关技术中，照明系统使用圆形的光纤作为光源，圆形的光纤在使用时产生的入射光发散角较大，使得入射光在通过光学镜片调制时会产生杂散光，以及会降低有效输出能量。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种光刻设备的照明系统，通过在照明系统上设置出光端为矩形的光纤光源，以及设置复眼匀光镜片组，使得出射的矩形光斑的杂散光较少，从而可以提高照明系统的总出光能量。

本实用新型还提出了一种光刻设备。

根据本实用新型第一方面实施例的光刻设备的照明系统，包括：光纤光源、透镜组、复眼匀光镜片组和光接收器件，所述光纤光源具有出光端，所述出光端的端面呈矩形，所述透镜组包括：第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜在所述光纤光源的出射方向间隔设置，所述复眼匀光镜片组包括：第一柱状透镜阵列、第二柱状透镜阵列、第三柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列，所述第一柱状透镜阵列、所述第二柱状透镜阵列、所述第三柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列在所述光纤光源的出射方向间隔设置且位于所述第一透镜和所述第二透镜之间，所述第一柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第四柱状透镜阵列的棱柱方向相同，所述第二柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第三柱状透镜阵列的棱柱方向相同，所述第一柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第二柱状透镜阵列的棱柱方向垂直，所述光接收器件用于接收所述第二透镜的出射光。

根据本实用新型实施例的光刻设备的照明系统，通过在照明系统上设置出光端为矩形的光纤光源，以及设置具有第一柱状透镜阵列、第二柱状透镜阵列、第三柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列的复眼匀光镜片组，使得光纤光源可以产生不同发散角的光线，并且发散角小的对应外侧的第一柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列，发散角大的对应第二柱状透镜阵列和第三柱状透镜阵列，使得出射的矩形光斑的杂散光较少，从而在保证照明系统出光NA、能量均匀性不变的情况下，提高照明系统的总出光能量，进而可以提升光刻设备的产能。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一柱状透镜阵列的曲率半径和所述第四柱状透镜阵列的曲率半径相同，所述第一柱状透镜阵列的棱柱宽度和所述第四柱状透镜阵列的棱柱宽度相同。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二柱状透镜阵列的曲率半径和所述第三柱状透镜阵列的曲率半径相同，所述第二柱状透镜阵列的棱柱宽度和所述第三柱状透镜阵列的棱柱宽度相同。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列之间的距离为所述第一柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列的焦距；所述第二柱状透镜阵列和所述第三柱状透镜阵列之间的距离为所述第二柱状透镜阵列和所述第三柱状透镜阵列的焦距。

根据本实用新型的一些实施例，所述光纤光源位于所述第一透镜入射侧的焦距处，所述复眼匀光镜片组位于所述第一透镜出射侧的焦距处。

根据本实用新型的一些实施例，所述光刻设备的照明系统还包括：外壳，所述外壳包括：第一外壳、第二外壳和第三外壳，所述第二外壳可转动地设置于所述第一外壳，所述第三外壳可转动地设置于所述第二外壳；所述光纤光源和所述第一透镜设置于所述第一外壳，所述复眼匀光镜片组设置于所述第二外壳，所述第二透镜设置于所述第三外壳。

根据本实用新型的一些实施例，所述外壳还包括：第一固定件和第二固定件，所述第二外壳设置第一穿孔，所述第一固定件穿过所述第一穿孔与所述第一外壳固定连接，所述第三外壳设置第二穿孔，所述第二固定件穿过所述第二穿孔与所述第二外壳固定连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述光纤光源包括：光纤耦合器和光纤，所述光纤耦合器设置于所述光纤，所述光纤为多合一光纤且具有所述出光端。

根据本实用新型的一些实施例，所述光刻设备的照明系统还包括：反射器件，所述反射器件设置于所述第二透镜的出射方向，所述光接收器件设置于所述反射器件的反射方向。

根据本实用新型第二方面实施例的光刻设备，包括：上述的光刻设备的照明系统。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的照明系统的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的光线穿过第一透镜的光路图；

图3是根据本实用新型实施例的复眼匀光镜片组的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的光线穿过第一柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列后的光路图；

图5是根据本实用新型实施例的光线穿过第二柱状透镜阵列和第三柱状透镜阵列后的光路图。

附图标记：

100、照明系统；

10、光纤光源；11、光纤耦合器；12、光纤；

20、透镜组；21、第一透镜；22、第二透镜；

30、复眼匀光镜片组；31、第一柱状透镜阵列；32、第二柱状透镜阵列；33、第三柱状透镜阵列；34、第四柱状透镜阵列；

40、外壳；41、第一外壳；42、第二外壳；43、第三外壳；44、第一固定件；45、第二固定件；46、第一穿孔；47、第二穿孔；

51、光接收器件；52、反射器件；53、安装台阶。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本实用新型的实施例。

下面参考图1-图5描述根据本实用新型实施例的光刻设备的照明系统100，本实用新型还提出了一种具有上述照明系统100的光刻设备。

如图1所示，根据本实用新型实施例的光刻设备的照明系统100，包括：光纤光源10、透镜组20、复眼匀光镜片组30和光接收器件51，光纤光源10具有出光端，出光端的端面呈矩形，即光纤光源10可以出射呈矩形的光束。透镜组20包括：第一透镜21和第二透镜22，第一透镜21和第二透镜22在光纤光源10的出射方向间隔设置。复眼匀光镜片组30包括：第一柱状透镜阵列31、第二柱状透镜阵列32、第三柱状透镜阵列33和第四柱状透镜阵列34，第一柱状透镜阵列31、第二柱状透镜阵列32、第三柱状透镜阵列33和第四柱状透镜阵列34在光纤光源10的出射方向间隔设置，并且复眼匀光镜片组30位于第一透镜21和第二透镜22之间。其中，光纤光源10产生的光束穿过第一透镜21后，被复眼匀光镜片组30调制，可以得到杂散光少的矩形光斑，矩形光斑在穿过第二透镜22后，被光接收器件51接收，从而可以减少照明系统100杂散光，提高照明系统100的总出光能量。并且，第一柱状透镜阵列31、第二柱状透镜阵列32、第三柱状透镜阵列33和第四柱状透镜阵列34均由柱状透镜阵列而成。

其中，如图2所示，光纤光源10出光端出射的光线通过第一透镜21后可以形成一定发散角的准直光入射到复眼匀光镜片组30中。具体地，光纤光源10的长为a、宽为b、发散角为u、到达复眼匀光镜片组30的光斑直径为c。根据拉赫不变量，出光端的长边方向对应准直光发散角为：b*u/c、出光端的短边方向对应准直光发散角为：a*u/c。也就是说，出光端的短边提供给复眼匀光镜片组30入射光发散角大，可以对应内侧的第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33；出光端的长边提供给复眼匀光镜片组30入射光发散角小，可以对应外侧的第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34。

此外，结合图3-图5所示，第一柱状透镜阵列31的棱柱方向与第四柱状透镜阵列34的棱柱方向相同，第二柱状透镜阵列32的棱柱方向与第三柱状透镜阵列33的棱柱方向相同，第一柱状透镜阵列31的棱柱方向与第二柱状透镜阵列32的棱柱方向垂直。即第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34为一组，两者结构相同，同样，第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33为一组，两者结构相同。其中，第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的焦距为f1，柱状透镜的宽为d1，第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33的焦距为f2，柱状透镜的宽为d2，并且第一透镜21焦距为F。

结合图3-图5所示，一定发散角的准直光入射到复眼匀光镜片组30中，经过第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的光学调制后，可以获得与第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34棱柱方向平行的均匀光斑，光斑高度为F*d1/f1。以及，一定发散角的准直光入射到复眼匀光镜片组30中，经过第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33的光学调制后，可以获得与第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33棱柱方向平行的均匀光斑，光斑高度为F*d2/f2。并且，第一柱状透镜阵列31的棱柱方向与第二柱状透镜阵列32的棱柱方向垂直，使得一定发散角的准直光从复眼匀光镜片组30出射后，最终可以获得长为F*d2/f2、宽为F*d1/f1的均匀矩形光斑，该矩形光斑形成在光接收器件51上。

此外，复眼匀光镜片组30还对入射光发散角有限制。例如，对于外侧的第一柱状透镜阵列31的棱柱方向与第四柱状透镜阵列34，当入射光发散角＞f1/2*d1时，光线会汇聚到F*d1/f1的均匀光斑外侧，产生杂散光，降低有效输出能量。以及，对于内侧的第二柱状透镜阵列32的棱柱方向与第三柱状透镜阵列33，当入射光发散角＞f2/2*d2时，光线会汇聚到F*d2/f2的均匀光斑外侧，产生杂散光，降低有效输出能量。因此需要要求，出射光短边方向对应准直光发散角a*u/c＜f1/2*d1，以及出射光长边方向对应准直光发散角b*u/c＜f2/2*d2。

并且，光接收器件51可以为DMD器件(数字微镜器件)，DMD是一种由多个高速数字式光反射开光组成的阵列。具体地，DMD是由许多小型铝制反射镜面构成的，镜片的多少由显示分辨率决定，一个小镜片对应一个像素。其中，DMD的反射率高，对比度大，可以有效提高照明系统100的输出总能量，从而可以提高光刻设备的产能。

由此，通过在照明系统100上设置出光端为矩形的光纤光源10，以及设置具有第一柱状透镜阵列31、第二柱状透镜阵列32、第三柱状透镜阵列33和第四柱状透镜阵列34的复眼匀光镜片组30，使得光纤光源10可以产生不同发散角的光线，并且发散角小的对应外侧的第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34，发散角大的对应第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33，使得出射的矩形光斑的杂散光较少，从而在保证照明系统100出光NA、能量均匀性不变的情况下，提高照明系统100的总出光能量，进而可以提升光刻设备的产能。

其中，第一柱状透镜阵列31、第二柱状透镜阵列32、第三柱状透镜阵列33和第四柱状透镜阵列34均采用柱状透镜，柱状透镜便于不同镜片之间光轴的调节与对齐，从而可以降低加工度和成本，提高由复眼匀光镜片组30出射的出射光的均匀性。

参照图4和图5所示，因为光纤光源10的限制，光束在穿过第一透镜22后，并不完全为准直光，而是会分为主光束和从光束，主光束为准直光，从光束为与主光束成一定角度的杂光。因此，如图4所示，第一柱状透镜阵列31的曲率半径和第四柱状透镜阵列34的曲率半径相同，第一柱状透镜阵列31的棱柱宽度和第四柱状透镜阵列34的棱柱宽度相同。即，第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的结构相同，如此设置，当主光束和从光束照射在第一柱状透镜阵列31上的同一点时，主光束和从光束均发生折射，折射后的主光束和从光束进入第四柱状透镜阵列34后，并经过第四柱状透镜阵列34的调制后，主光束和从光束相互平行的由第四柱状透镜阵列34出射。相互平行的主光束和从光束在经过第二透镜22后，汇聚于第二透镜22的焦平面处，且位于同一点，因此可以将从光束利用起来，从而可以提高照明系统100的总出光能量，减少照明系统100杂散光。

同样，参照图5所示，第二柱状透镜阵列32的曲率半径和第三柱状透镜阵列33的曲率半径相同，第二柱状透镜阵列32的棱柱宽度和第三柱状透镜阵列33的棱柱宽度相同。即，第二柱状透镜阵列32和第二柱状透镜阵列32的结构相同。如此设置，当主光束和从光束照射在第二柱状透镜阵列32上的同一点时，主光束和从光束均发生折射，折射后的主光束和从光束进入第三柱状透镜阵列33后，并经过第三柱状透镜阵列33的调制后，主光束和从光束相互平行的由第三柱状透镜阵列33出射。相互平行的主光束和从光束在经过第二透镜22后，汇聚于第二透镜22的焦平面处，且位于同一点，因此可以将从光束利用起来，从而可以提高照明系统100的总出光能量，减少照明系统100杂散光。

如图3所示，第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34之间的距离为第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的焦距。如此设置，当准直光穿过第一柱状透镜阵列31时，因为第一柱状透镜阵列31与第四柱状透镜阵列34之间的距离为第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的焦距，即第一柱状透镜阵列31位于第四柱状透镜阵列34的焦点上，使得主光束和从光束在穿过第四柱状透镜阵列34变为平行光，即穿过第一柱状透镜阵列31和第四柱状透镜阵列34的光线更多，从而可以提高照明系统100的总出光能量。

如图3所示，同样，第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33之间的距离为第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33的焦距。如此设置，当准直光穿过第二柱状透镜阵列32时，因为第二柱状透镜阵列32与第二柱状透镜阵列32之间的距离为第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33的焦距，即第二柱状透镜阵列32位于第三柱状透镜阵列33的焦点上，使得主光束和从光束在穿过和第三柱状透镜阵列33变为平行光，即穿过第二柱状透镜阵列32和第三柱状透镜阵列33的光线更多，从而可以提高照明系统100的总出光能量。

其中，光纤光源10位于第一透镜21入射侧的焦距处，复眼匀光镜片组30位于第一透镜21出射侧的焦距处。因为光纤光源10位于第一透镜21入射侧的焦距处，光纤光源10发出带有一定发散角的光束在经过第一透镜21后，可以变为准直光，并且复眼匀光镜片组30同样位于第一透镜21出射侧的焦距处，从而使得第一透镜21的出射光可以以准直光的状态穿过复眼匀光镜片组30。

如图1所示，光刻设备的照明系统100还包括：外壳40，外壳40包括：第一外壳41、第二外壳42和第三外壳43，第二外壳42可转动地设置于第一外壳41，第三外壳43可转动地设置于第二外壳42，光纤光源10和第一透镜21设置于第一外壳41，复眼匀光镜片组30设置于第二外壳42，第二透镜22设置于第三外壳43。也就是说，第二外壳42可转动地设置在第一外壳41上，在第二外壳42内设置有复眼匀光镜片组30，通过旋转第二外壳42使得复眼匀光镜片组30可以与光纤光源10正对设置。具体地，使得第一柱状透镜阵列31的柱面延伸方向与光纤光源10的长边相对应，以及使得第二柱状透镜阵列32的的柱面延伸方向与光纤光源10的短边相对应，如此设置，使得第一透镜21出射的准直光可以完全穿过复眼匀光镜片组30。同样，第三外壳43可转动地设置在第二外壳42上，通过旋转第三外壳43可以调整复眼匀光镜片组30出光的矩形光斑与光接收器件51的旋转对应关系。具体地，通过旋转第三外壳43使得复眼匀光镜片组30出光的矩形光斑的长边与光接收器件51的长边对应，使得矩形光斑的短边与光接收器件51的短边相对应。进一步地，出光端的长宽比与光接收器件51的长宽比一致。

此外，如图1所示，外壳40还包括：第一固定件44和第二固定件45，第二外壳42设置第一穿孔46，第一固定件44穿过第一穿孔46与第一外壳41固定连接，第三外壳43设置第二穿孔47，第二固定件45穿过第二穿孔47与第二外壳42固定连接。如此设置，在确定光纤光源10与复眼匀光镜片组30之间的对应关系后，通过使第一固定件44穿过第一通孔后抵接在第一外壳41上，从而可以固定第一外壳41和第二外壳42，使得第一外壳41和第二外壳42之间不会发生相对转动。同样，在确定复眼匀光镜片组30与光接收器件51之间的对应关系后，通过使第二固定件45穿过第二通孔后抵接在第二外壳42上，从而可以固定第二外壳42和第三外壳43，使得第二外壳42和第三外壳43之间不会发生相对转动。综上，通过第一固定件44和第二固定件45设置，使得第一外壳41、第二外壳42和第三外壳43之间不会发生相对转动，从而不会影响照明系统100的正常使用。其中，第一外壳41、第二外壳42和第三外壳43均可以为金属外壳。

此外，如图1所示，在第一外壳41、第二外壳42和第三外壳43的内侧均设置有安装台阶53。其中，第一外壳41内的安装台阶53用于安装第一透镜21，第二外壳42内的安装台阶53用于安装复眼匀光镜片组30，第三外壳43内的安装台阶53用于安装第二透镜22，如此设置，可以分别将第一透镜21固定在第一外壳41上，将复眼匀光镜片组30固定在第二外壳42上，将第二透镜22固定在第三外壳43上。

如图1所示，光纤光源10包括：光纤耦合器11和光纤12，光纤耦合器11设置于光纤12，光纤12可以为多合一光纤，并且具有出光端。光纤12为多合一光纤12，即多个单一光纤12合并在一起。并且光纤12的横截面为矩形，从而使得光纤12的出光端可以发出矩形光斑。其中，光纤耦合器11主要为FC端口等光纤连接端口，从而可以将光纤12固定在第一外壳41上。

此外，如图1所示，光刻设备的照明系统100还包括：反射器件52，反射器件52设置于第二透镜22的出射方向，光接收器件51设置于反射器件52的反射方向。如此，反射器件52可以将第二透镜22的出射光以特定的角度反射至光接收器件51，使得矩形光斑的长宽可以与光接收器件51的长宽相对应。其中，反射器件52可以为反射镜、反射棱镜等器件。

根据本实用新型第二方面实施例的光刻设备，包括：上述的光刻设备的照明系统100。如此设置，保证光刻设备的照明系统100出光NA、能量均匀性不变的情况下，提高照明系统100的总出光能量，减少照明系统100杂散光，提高光刻设备的生产的工件的良品率。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种光刻设备的照明系统，其特征在于，包括：

光纤光源，所述光纤光源具有出光端，所述出光端的端面呈矩形；

透镜组，所述透镜组包括：第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜在所述光纤光源的出射方向间隔设置；

复眼匀光镜片组，所述复眼匀光镜片组包括：第一柱状透镜阵列、第二柱状透镜阵列、第三柱状透镜阵列和第四柱状透镜阵列，所述第一柱状透镜阵列、所述第二柱状透镜阵列、所述第三柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列在所述光纤光源的出射方向间隔设置且位于所述第一透镜和所述第二透镜之间，所述第一柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第四柱状透镜阵列的棱柱方向相同，所述第二柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第三柱状透镜阵列的棱柱方向相同，所述第一柱状透镜阵列的棱柱方向与所述第二柱状透镜阵列的棱柱方向垂直；

光接收器件，所述光接收器件用于接收所述第二透镜的出射光。

2.根据权利要求1所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述第一柱状透镜阵列的曲率半径和所述第四柱状透镜阵列的曲率半径相同，所述第一柱状透镜阵列的棱柱宽度和所述第四柱状透镜阵列的棱柱宽度相同。

3.根据权利要求2所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述第二柱状透镜阵列的曲率半径和所述第三柱状透镜阵列的曲率半径相同，所述第二柱状透镜阵列的棱柱宽度和所述第三柱状透镜阵列的棱柱宽度相同。

4.根据权利要求3所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述第一柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列之间的距离为所述第一柱状透镜阵列和所述第四柱状透镜阵列的焦距；

所述第二柱状透镜阵列和所述第三柱状透镜阵列之间的距离为所述第二柱状透镜阵列和所述第三柱状透镜阵列的焦距。

5.根据权利要求1所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述光纤光源位于所述第一透镜入射侧的焦距处，所述复眼匀光镜片组位于所述第一透镜出射侧的焦距处。

6.根据权利要求1所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，还包括：外壳，所述外壳包括：第一外壳、第二外壳和第三外壳，所述第二外壳可转动地设置于所述第一外壳，所述第三外壳可转动地设置于所述第二外壳；

所述光纤光源和所述第一透镜设置于所述第一外壳，所述复眼匀光镜片组设置于所述第二外壳，所述第二透镜设置于所述第三外壳。

7.根据权利要求6所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述外壳还包括：第一固定件和第二固定件，所述第二外壳设置第一穿孔，所述第一固定件穿过所述第一穿孔与所述第一外壳固定连接，所述第三外壳设置第二穿孔，所述第二固定件穿过所述第二穿孔与所述第二外壳固定连接。

8.根据权利要求1所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，所述光纤光源包括：光纤耦合器和光纤，所述光纤耦合器设置于所述光纤，所述光纤为多合一光纤且具有所述出光端。

9.根据权利要求1所述的光刻设备的照明系统，其特征在于，还包括：反射器件，所述反射器件设置于所述第二透镜的出射方向，所述光接收器件设置于所述反射器件的反射方向。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括：权利要求1-9中任一项所述的光刻设备的照明系统。

Images