CN215002588U - 一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 - Google Patents
一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215002588U CN215002588U CN202120138507.9U CN202120138507U CN215002588U CN 215002588 U CN215002588 U CN 215002588U CN 202120138507 U CN202120138507 U CN 202120138507U CN 215002588 U CN215002588 U CN 215002588U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixedly connected
- tank
- water
- sleeve
- silicon wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 10
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 31
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims abstract description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 15
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括槽箱，所述槽箱顶部边缘固定连接有边板，所述边板底部固定连接有电机，所述槽箱内设有第一干燥机构和第二干燥机构，所述第二干燥机构与第一干燥机构结构相同且对称分布，所述第一干燥机构包括透水膜套，所述透水膜套内部填充有吸水树脂，所述透水膜套两端分别固定连接有圆板和套管。该单晶硅片清洗用快速干燥装置，在将单晶硅片打捞后先放入第一干燥机构和第二干燥机构之间，启动电机可以同时带动两个透水膜套转动并且紧贴硅片侧壁，利用吸水树脂的吸水特性可以快速将硅片表面液体吸附，相比风干或甩干效率更高，更加省时。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种单晶硅片清洗用快速干燥装置。
背景技术
单晶硅片指硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，在单晶硅片生产过程中需要对硅片进行物理和化学清洗，将硅片依次放置在不同的溶剂中。
目前的单晶硅片打捞后单晶硅片表面仍残留有盖水槽内的溶剂，此时直接放置在另一溶剂槽内容易造成溶剂间混合，造成溶剂成本改变，进而影响清洗效果，缺乏一种合适的干燥设备，而使用风干或甩干的效率较低，影响硅片加工效率。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，具备干燥效率高等优点，解决了目前的单晶硅片打捞后单晶硅片表面仍残留有盖水槽内的溶剂，此时直接放置在另一溶剂槽内容易造成溶剂间混合，造成溶剂成本改变，进而影响清洗效果，缺乏一种合适的干燥设备，而使用风干或甩干的效率较低，影响硅片加工效率的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括槽箱，所述槽箱顶部边缘固定连接有边板，所述边板底部固定连接有电机，所述槽箱内设有第一干燥机构和第二干燥机构，所述第二干燥机构与第一干燥机构结构相同且对称分布，所述第一干燥机构包括透水膜套，所述透水膜套内部填充有吸水树脂，所述透水膜套两端分别固定连接有圆板和套管。
所述圆板远离透水膜套一侧固定连接有短轴，所述短轴贯穿槽箱内壁并且与槽箱内壁活动连接，所述短轴远离圆板一端固定连接有齿轮，所述短轴远离圆板一端与电机输出轴固定连接，所述套管一端贯穿槽箱内壁并延伸至槽箱外部，所述套管通过轴承与槽箱内壁活动连接，所述套管位于槽箱外部一端套置有封盖，所述透水膜套内部还设置有连接器和清理器。
优选的，所述连接器包括横管，所述横管上开设有条形孔，所述横管一端与圆板固定连接，所述横管另一端顶部固定连接有竖杆，所述竖杆顶端与套管内壁固定连接。
优选的，所述清理器包括圆环和插杆，所述圆环套置在横管上，所述插杆位于横管内部，所述插杆一端与封盖固定连接，所述插杆另一端固定连接有连接块，所述连接块贯穿条形孔并且与圆环内壁固定连接。
优选的，所述槽箱侧壁靠近底部处设置有排水管，所述排水管上固定设置有阀门。
优选的，所述槽箱底部固定连接有滚轮，所述边板边缘固定连接有把手。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，具备以下有益效果：
1、该单晶硅片清洗用快速干燥装置，在将单晶硅片打捞后先放入第一干燥机构和第二干燥机构之间，启动电机可以同时带动两个透水膜套转动并且紧贴硅片侧壁，利用吸水树脂的吸水特性可以快速将硅片表面液体吸附，相比风干或甩干效率更高，更加省时。
2、该单晶硅片清洗用快速干燥装置，拔除封盖后可以拉动插杆，进而带动圆环移动，有利于将内部吸水后形成的废物凝胶快速清除，方便快速更换新的吸水树脂，操作简单，方便了维护，通过设置把手和滚轮，方便了装置的移动。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型图1的A部放大图；
图3为本实用新型透水模套的结构示意图；
图4为本实用新型圆环和插杆的连接结构示意图。
其中：1、槽箱；2、边板；3、电机；4、透水膜套；5、吸水树脂；6、圆板；7、套管；8、短轴；9、齿轮；10、轴承；11、封盖；12、横管；13、条形孔；14、竖杆；15、圆环；16、插杆；17、连接块；18、排水管；19、滚轮；20、把手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括槽箱1，槽箱1 顶部边缘固定连接有边板2，边板2底部固定连接有电机3，槽箱1内设有第一干燥机构和第二干燥机构，第二干燥机构与第一干燥机构结构相同且对称分布，实际应用中第二干燥机构上的齿轮9与第一干燥机构上的齿轮9啮合，第一干燥机构的透水膜套4和第二干燥机构的透水膜套4之间设置有间隙，间隙大小与硅片厚度匹配，第一干燥机构包括透水膜套4，透水膜套4设置为无纺布材质，透水膜套4内部填充有吸水树脂5，吸水树脂5的吸水特性为现有技术，在此不做过多赘述，透水膜套4两端分别固定连接有圆板6和套管7。
圆板6远离透水膜套4一侧固定连接有短轴8，短轴8贯穿槽箱1内壁并且与槽箱1内壁活动连接，短轴远离圆板6一端固定连接有齿轮9，短轴远离圆板6一端与电机3输出轴固定连接，套管7一端贯穿槽箱1内壁并延伸至槽箱1外部，套管7通过轴承10与槽箱1内壁活动连接，套管7位于槽箱1 外部一端套置有封盖11，实际应用中封盖11可直接套置安装在套管7端部，施力即可将其拆除，透水膜套4内部还设置有连接器和清理器。
连接器包括横管12，横管12上开设有条形孔13，横管12一端与圆板6 固定连接，横管12另一端顶部固定连接有竖杆14，竖杆14顶端与套管7内壁固定连接，连接器主要通过横管12和竖杆14连接圆板6和套管7，可加强整体的结构强度，保证透水膜套4表面的平直，同时通过横管12对插杆16 进行导向。
清理器包括圆环15和插杆16，圆环15套置在横管12上，插杆16位于横管12内部，插杆16一端与封盖11固定连接，插杆16另一端固定连接有连接块17，连接块17的数量与条形孔13的数量匹配，连接块17贯穿条形孔 13并且与圆环15内壁固定连接，有利于通过移动封盖11带动圆环15移动，进而将透水膜套4内的废料凝胶清理。
槽箱1侧壁靠近底部处设置有排水管18，排水管18上固定设置有阀门，拧动阀门可以打开排水管18，用于排出槽箱1内部的污水。
槽箱1底部固定连接有滚轮19，边板2边缘固定连接有把手20。
在使用时，通过现有的清洗设备将单晶硅片打捞后放入第一干燥机构和第二干燥机构之间，此时启动电机3，电机3运转带动短轴8转动，进而带动圆板6、横管12、套管7和透水膜套4转动，在离心力作用下可使透水膜套4 内部的吸水树脂5紧贴透水膜套4表面，与此同时，短轴8转动时带动齿轮9 转动，两个齿轮9相互啮合作用下可以同时带动第二干燥机构运转，两个透水膜套4在转动的同时接触硅片表面，可以通过吸水树脂5对硅片表面进行吸水干燥，当吸水树脂5用尽时，施力将封盖11拔除，此时拉动封盖11可以带动插杆16移动，进而带动圆板6移动，圆板6可以将透水膜套4内部的废料凝胶推出，最终可从封盖11安装处重新填充新的吸水树脂5。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括槽箱(1)，其特征在于：所述槽箱(1)顶部边缘固定连接有边板(2)，所述边板(2)底部固定连接有电机(3)，所述槽箱(1)内设有第一干燥机构和第二干燥机构，所述第二干燥机构与第一干燥机构结构相同且对称分布，所述第一干燥机构包括透水膜套(4)，所述透水膜套(4)内部填充有吸水树脂(5)，所述透水膜套(4)两端分别固定连接有圆板(6)和套管(7)；
所述圆板(6)远离透水膜套(4)一侧固定连接有短轴(8)，所述短轴(8)贯穿槽箱(1)内壁并且与槽箱(1)内壁活动连接，所述短轴(8)远离圆板(6)一端固定连接有齿轮(9)，所述短轴(8)远离圆板(6)一端与电机(3)输出轴固定连接，所述套管(7)一端贯穿槽箱(1)内壁并延伸至槽箱(1)外部，所述套管(7)通过轴承(10)与槽箱(1)内壁活动连接，所述套管(7)位于槽箱(1)外部一端套置有封盖(11)，所述透水膜套(4)内部还设置有连接器和清理器。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，其特征在于：所述连接器包括横管(12)，所述横管(12)上开设有条形孔(13)，所述横管(12)一端与圆板(6)固定连接，所述横管(12)另一端顶部固定连接有竖杆(14)，所述竖杆(14)顶端与套管(7)内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，其特征在于：所述清理器包括圆环(15)和插杆(16)，所述圆环(15)套置在横管(12)上，所述插杆(16)位于横管(12)内部，所述插杆(16)一端与封盖(11)固定连接，所述插杆(16)另一端固定连接有连接块(17)，所述连接块(17)贯穿条形孔(13)并且与圆环(15)内壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，其特征在于：所述槽箱(1)侧壁靠近底部处设置有排水管(18)，所述排水管(18)上固定设置有阀门。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，其特征在于：所述槽箱(1)底部固定连接有滚轮(19)，所述边板(2)边缘固定连接有把手(20)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120138507.9U CN215002588U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120138507.9U CN215002588U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215002588U true CN215002588U (zh) | 2021-12-03 |
Family
ID=79141063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120138507.9U Expired - Fee Related CN215002588U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215002588U (zh) |
-
2021
- 2021-01-19 CN CN202120138507.9U patent/CN215002588U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10442712B2 (en) | Membrane bioreactor for strengthening membrane fouling control and method thereof | |
| CN206509301U (zh) | 一种大口径石英管清洗机 | |
| CN204657055U (zh) | 一种玻璃仪器的清洗装置 | |
| CN107998720B (zh) | 一种水中悬浮物过滤罐 | |
| CN215002588U (zh) | 一种单晶硅片清洗用快速干燥装置 | |
| CN217043660U (zh) | 一种晶片生产用快速冲洗装置 | |
| CN108187386A (zh) | 一种在线水中悬浮物过滤罐 | |
| CN213506354U (zh) | 一种钻井污水处理装置 | |
| CN213223428U (zh) | 一种使用寿命长的新材料清洗装置 | |
| CN212549575U (zh) | 一种吸附效果好的活性炭清洁过滤装置 | |
| CN203663570U (zh) | 一种污水过滤器滤料清洗装置 | |
| CN108159757A (zh) | 一种水中悬浮物过滤器 | |
| CN213807843U (zh) | 一种发动机水箱清理防护装置 | |
| CN212832965U (zh) | 一种用于垃圾渗滤液处理的dtro装置 | |
| CN220970244U (zh) | 一种节水型cip清洗装置 | |
| CN220270905U (zh) | 一种便于内部清理的水样采集器 | |
| CN218248573U (zh) | 一种用于减压蒸馏装置的真空缓冲罐 | |
| CN214936384U (zh) | 一种污水处理用曝气池 | |
| CN218168068U (zh) | 一种注胶针头清洁机构 | |
| CN214793647U (zh) | 一种地下防水渗漏分析用嵌入式检测仪 | |
| CN215571374U (zh) | 一种供热用螺杆式水源热泵 | |
| CN220496248U (zh) | 一种可自动加料的搅拌装置 | |
| CN213803145U (zh) | 一种农村环境治理用油水净化装置 | |
| CN211688463U (zh) | 一种净化彻底的mbr一体化生活污水处理设备 | |
| CN217490442U (zh) | Mbr膜药剂清洗设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211203 |