CN214991839U - 拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备，化学气相沉积设备包括传输装置，拼接式载板框架结构包括：平行并间隔设置的两个边框筋；多个横筋，相互间隔地连接在两边框筋之间且垂直于边框筋；至少一个竖筋，位于两个边框筋之间且平行于边框筋，任一竖筋的两端均连接在相邻两个横筋之间；多个横筋、至少一个竖筋、两个边框筋均由沿至少两个拼接件拼接形成。在该方案中，框架拼接形成的，这样一方面降低了框架的加工难度。另一方面，能够减小框架的整体变形，保证载具在滚轮上传输的稳定性，提高了自动化设备的定位精度。同时，减小框架的整体变形，还能降低因载具变形对硅片温度均匀性的影响，确保硅片加工的工艺效果。

Description

拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积领域，具体而言，涉及一种拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备。

背景技术

光伏PECVD设备滚轮传输形式中对载具的要求较高，需要能够保证在常温及高温状态下变形较小并且载具需要是导电体。传统的PECVD设备中载具尺寸相对较小，通过对强度进行控制可以很好的减小变形，随着行业的技术更新及市场需求的增加，对产能和工艺效果的需求也越来越高，载具的尺寸也越来越大，对载具的材料以及结构要求越来越严格。载具尺寸的增大导致无法再通过控制强度来减少变形，而载具变形越严重对硅片温度均匀性的影响就越大，进而导致硅片的温度不均匀极大地降低了工艺效果，载具的变形也影响了传输的稳定性，进而会影响自动化设备的定位精度，对设备的产能和稳定性有较大影响。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

因此，本实用新型的一个目的在于提供了一种拼接式载板框架结构。

本实用新型的另一个目的在于提供了一种包括上述拼接式载板框架结构的载具。

本实用新型的又一个目的在于提供了一种包括上述载具的化学气相沉积设备。

为实现上述目的，本实用新型第一方面的实施例提供了一种拼接式载板框架结构，用于化学气相沉积设备，拼接式载板框架结构包括：

平行并间隔设置的两个边框筋；

多个横筋，相互间隔地连接在两个边框筋之间且垂直于边框筋；

至少一个竖筋，位于两个边框筋之间且平行于边框筋，且任一竖筋的两端均连接在相邻两个横筋之间；

其中，多个横筋、至少一个竖筋、两个边框筋均位于同一个平面上。

根据本实用新型的实施例提供的拼接式载板框架结构，用于化学气相沉积设备，具体而言，化学气相沉积设备包括传输装置和安装在传输装置上的载具，而载具又包括承载工件的载板和安装载板的载板框架。传输装置用于将载具连同硅片等待加工件一起进行前后传输，以便能够将硅片等待加工件输送到不同的工艺腔内，以进行不同的工艺处理。而在本申请，将载具的框架设置成了拼接式结构，即载板框架不是整体式结构，而是由多个横筋、至少一个竖筋、两个边框筋拼接形成的。这样一方面降低了框架的加工难度。另一方面，能够减小框架的整体变形，保证载具在滚轮上传输的稳定性，提高了自动化设备的定位精度。同时，减小框架的整体变形，还能降低因载具变形对硅片温度均匀性的影响，确保了硅片加工的工艺效果。

另外，根据本实用新型上述实施例提供的拼接式载板框架结构还具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，边框筋、横筋和竖筋均由殷钢或铝或不锈钢制成。

在该技术方案中，框架的边框筋、横筋和竖筋均由殷钢或铝或不锈钢制成。这样便形成了一个殷钢框架。而殷钢材质为一种铁镍合金，其作为框架可以很好地对载板进行支撑，因此可以很好地对大尺寸的载板进行支撑，防止了载板因自身重力而产生的变形，进而不会因载板变形而对硅片的温度均匀性产生影响，也就不会影响工艺效果，更避免了因载板变形对自动化设备的定位精度产生影响，保障了生产设备的产能和稳定性。其中，殷钢材质还具有良好导电性，很好地满足了设备的生产需求，并且殷钢材质还具有耐高温的特点，且膨胀系数极低，因此150℃-300℃的工作温度并不会导致殷钢材质的框架由于温度的升高而膨胀变形，避免了因膨胀变形导致设备无法进行进准定位，在避免了膨胀变形增大摩擦力的基础上，殷钢材质还具有很强的耐磨性，又加上合金材质的表面光滑，可以极大的减少工作中粉尘的产生减少对工艺环境的污染，同时由于减少了粉尘的产生，各零件间隙中的粉尘也会大大减少，从而减少了零件间的摩擦，会大大降低各部位的磨损，也就避免了由于设备零件的磨损而影响自动化设备的定位精度，还可以大幅度的延长设备的使用寿命。而这样就降低了框架的加工难度。

在上述技术方案中，边框筋、横筋或竖筋中的至少一个为拼接筋，拼接筋包括沿同一方向依次连接的至少两个拼接件，任意相邻的两个拼接件通过连接组件连接，即边框筋、横筋和竖筋中至少有一个筋是分段的，而不是整体的，而优选地，边框筋、横筋和竖筋中都分段的。

在该些技术方案中，框架的边框筋、横筋和竖筋都是由多个拼接件拼接而成的，即边框筋、横筋和竖筋沿长度方向不是一个整体，而是分段的。该种设置，可降低边框筋、横筋和竖筋的加工难度和生产成本，毕竟一体的边框筋、横筋和竖筋相较于拼接式的边框筋、横筋和竖筋更不好加工。同时，拼接式载板框架结构的各拼接处都会有一定的拼接缝或预留膨胀间隙，尤其是可以应对在高温环境下的尺寸变形，避免拼接式载板框架结构因尺寸变形带来的平整度问题。

进一步地，连接组件包括：两个销钉和一个固定螺栓，两个销钉、固定螺栓的两端分别安装至相邻的两个边框拼接件内。具体而言，相互连接的两个拼接件通过两个销钉进行长度方向上的定位，且相互连接的两个拼接件的连接端部上均设置有容纳销钉的定位槽；相互连接的两个拼接件的待连接端上分别设置有与固定螺栓适配的螺栓安装孔，相互连接的两个拼接件中的一个上设置有与对应螺栓安装孔连通的操作槽，固定螺栓能够由操作槽处进行安装。

在该些技术方案中，在相互连接的两个拼接件的连接处都设置有开口相对的定位槽，并在定位槽内还设置有销钉，安装时，可通过销钉实现两个拼接件在长度方向上的定位，以方便框架的安装。进一步地，销钉为殷钢钉。同时，相互连接的两个拼接件的连接段上设置有螺栓安装孔，并且拼接件上还设置有与螺栓安装孔相连通的操作槽，可以在操作槽处将固定螺栓置于螺栓安装孔中对拼接件进行固定，增加了拼接件相互连接的稳定性，使整个框架的结构更加稳固，进而增强了整个设备的稳定性。

其中，边框筋、横筋和竖筋都是先通过两个销钉进行定位，然后通过固定螺栓进行固定。而由于边框筋、横筋和竖筋的位置不同，因此，各自的受力也有差异，而根据边框筋、横筋和竖筋的各自位置可以合理设置两个销钉相对固定螺栓的位置。

在一具体方案中：边框筋包括沿同一方向依次连接的至少两个边框拼接件，任意相邻的两个边框拼接件通过边框连接件连接，边框连接件包括：从上至下依次设置的第一边框销钉、边框固定螺栓、第二边框销钉，第一边框销钉、边框固定螺栓、第二边框销钉分别与相邻的两个边框拼接件相连。两个边框拼接件的连接方式为中间为边框固定螺栓，两个边框销钉位于边框固定螺栓上方、下方，起到边框拼接件之间连接定位，边框销钉采用过渡配合、整体拼接方式，起到防松效果。

在上述具体方案中，横筋包括沿同一方向依次连接的至少两个横筋拼接件，任意相邻的两个横筋拼接件通过横筋连接件连接，横筋连接件包括：从上至下依次设置的第一横筋销钉、第二横筋销钉、横筋固定螺栓，第一横筋销钉、第二横筋销钉、横筋固定螺栓分别与相邻的两个横筋拼接件相连。两个横筋拼接件的连接方式为两个横筋销钉位于上方，一个横筋固定螺栓位于最下方，目的为防止横筋在高温下变形或承载工件时下方产生缝隙；两个横筋销钉起到两个横筋拼接件之间连接定位，采用过渡配合、整体拼接的方式起到防松效果。

在上述具体方案中，竖筋包括沿同一方向通过竖筋连接件依次相连的至少两个竖筋拼接件，竖筋连接件包括：从上至下依次设置的第一竖筋销钉、竖筋固定螺栓、第二竖筋销钉；第一竖筋销钉、竖筋固定螺栓、第二竖筋销钉分别与相邻的两个竖筋拼接件相连。两个竖筋拼接件的连接方式为中间为竖筋固定螺栓，两个竖筋销钉位于竖筋固定螺栓上方、下方，起到竖筋拼接件之间连接定位，竖筋销钉采用过渡配合、整体拼接方式，起到防松效果。

在上述任一技术方案中，拼接式载板框架结构还包括位于边框筋底部的多个导条，每一导条包括通过导条连接件依次相连的至少两个导条拼接件。

在该技术方案中，拼接式框架的底部设置有与传输装置直接接触的导条，通过该导条的设置，可实现传输装置与拼接式框架之间的组装。而导条由多个导条拼接件拼接形成，可进一步减少载具的整体变形。进一步地，拼接式导条由多个殷钢条拼接形成。通过殷钢条拼接形成导条，使得导条加工更加方便，其更不易被磨损。

进一步地，相邻的两个导条拼接件在连接处预留有膨胀间隙。

在该些技术方案中，两个相邻的导条拼接件在连接处预留有膨胀间隙，即本申请提前为导条拼接件的膨胀充分预留了空间，在生产过程中就算导条拼接件由于温度升高而发生膨胀，所预留的膨胀间隙已足够导条拼接件的膨胀延展，不会因没有延展空间而膨胀变形，进而增加设备的磨损，因此，为导条拼接件在连接处预留膨胀空间可以防止因导条的膨胀变形而导致的设备磨损，从而延长了设备的使用寿命。

进一步地，导条包括至少一个导条销钉，各个导条销钉分别与相邻的两个导条拼接件相连。

在该些技术方案中，在相互连接的两个导条拼接件的连接处都设置有开口相对的定位槽，并在定位槽内还设置有销钉，安装时，可通过销钉实现两个导条拼接件在长度方向上的定位，以方便导条的安装。该种设置通过销钉对相邻的导条拼接件进行了轴向定位，起到了防松动的效果，同时，该种设置也可通过销钉的限定来合理来控制两个导条拼接件连接后的预留间隙，使预留的膨胀间隙更加精确。

进一步地，相邻两个导条拼接件通过E形连接部与反E形连接部对接。

在该些技术方案中，两个导条拼接件的连接段中的一个呈E形设置，也即两个导条拼接件中的一个上设置有E形连接部，两个导条拼接件的连接段中的另一个呈反E形设置，也即两个导条拼接件中的另一个上设置有E形连接部，这样通过E形连接部与反E形连接部的对接，便可实现两个导条拼接件之间的连接。而这种凹凸的连接方式可以使导条拼接件之间连接的更加紧密，可以极大地减小导条拼接件间的空隙，进而可以有效的减少滚轮在传输的过程中与缝隙的接触，减少了滚轮的磨损，从而可以延长设备的使用寿命，进而降低了维护成本。

在一具体方案中，任意两个导条拼接件之间可先通过导条销钉进行定位，然后通过E形结构和反E形结构进行对接。

在上述任一技术方案中，横筋的数量为三个，竖筋的数量为两个，三个横筋、两个竖筋和两个边框筋形成“田”字形。该种设置使得框架的整体结构比较简单。其中，横筋、竖筋、边框筋、导条四者之间通过螺丝相连，构成殷钢拼接载板框架。

在上述任一技术方案中，边框筋垂直于工件的输送方向且横筋平行于工件的输送方向，即从工件的输送方向来看，边框筋是前后横向设置的，而横筋是竖向设置的。

本实用新型第二方面的实施例提供了一种载具，包括：第一方面任一项实施例提供的拼接式载板框架结构；载板，呈网格状，置于拼接式载板框架结构上，用于承载工件。

根据本实用新型的实施例提供的载具，包括第一方面任一项实施例提供的拼接式载板框架结构以及承载工件的载板。而载板呈网格状，这样便可实现对多个硅片的承载。同时，由于本实用新型的实施例提供的载具，具有第一方面任一实施例提供的拼接式载板框架结构，因此，本实用新型的实施例提供的载具具有第一方面任一实施例提供的拼接式载板框架结构的全部有益效果，在此不一一列举。

在上述技术方案中，拼接式载板框架结构与载板能够拆卸的连接。

在该些技术方案中，拼接式载板框架结构和载板可以随意的进行拆卸和连接，这种设置可以在需要对拼接式载板框架结构或载板进行更换时方便的对需要更换的部位进行拆卸更换，不需要整体的进行更换，便于设备的维修保养，在做到了更换方便的同时，还节约了设备维修更换成本。

在上述任一技术方案中，载板为碳纤维载板、石墨载板或殷钢载板。优选的，载板为殷钢载板。

在该些技术方案中，载板的材质可根据实际需要设置成殷钢、铝或不锈钢中的一种。因为，这些材料的膨胀系数较低，耐高温，能够满足工艺温度150℃-300℃的需求。而载板优先为殷钢载板，这样可以确保拼接式载板框架结构的材质的统一。

本实用新型第三方面的实施例提供了一种化学气相沉积设备，包括：传输装置；和第二方面任一项实施例提供的载具，载具安装在传输装置上，传输装置用于通过载具输送工件。

根据本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备，包括传输装置和第二方面任一项实施例提供的载具。载具安装在传输装置上，通过传输装置可将载具和工件一起进行传输。同时，由于本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备，具有第二方面任一实施例提供的载具，因此，本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备具有第二方面任一实施例提供的载具的全部有益效果，在此不一一列举。

进一步地，拼接式载板框架结构还包括位于边框筋底部的多个导条；传输装置包括与多个导条适配的导轨，多个导条限位安装于导轨内。

在该技术方案中，通过导条和导轨的配合可以实现传输装置对整个载具的定位安装，这样便可提高载具在传输装置上的安装稳定性，避免载具在传输装置上发生偏斜或晃动。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例提供的载板的结构示意图；

图3是本实用新型的实施例提供的拼接式载板框架结构的结构示意图；

图4是本实用新型的实施例提供的拼接式载板框架结构的边框筋的结构示意图；

图5为图4中A处的局部放大结构示意图；

图6为横筋的连接处的局部放大结构示意图；

图7是本实用新型的实施例提供的导条的结构示意图；

图8为图7中B处的局部放大结构示意图。

其中，图1至图8中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1载板，12载板块，2框架，22边框筋，222边框拼接件，224第一边框销钉，226第二边框销钉，228边框固定螺栓，229边框操作槽，24横筋，242横筋拼接件，244第一横筋销钉，246第二横筋销钉，248横筋固定螺栓，249横筋操作槽，26竖筋，28导条，282导条拼接件，284导条销钉，3滚轮，4膨胀间隙。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图8描述根据本实用新型一些实施例的拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备。

本实用新型第一方面的实施例提供了一种拼接式载板框架结构2，用于如图1所示的化学气相沉积设备，如图3所示，拼接式载板框架结构2包括平行并间隔设置的两个边框筋22、多个横筋24、至少一个竖筋26。多个横筋24相互间隔地连接在两个边框筋22之间且垂直于边框筋22；至少一个竖筋26位于两个边框筋22之间且平行于边框筋22，且任一竖筋26的两端均连接在相邻两个横筋24之间；其中，多个横筋24、至少一个竖筋26、两个边框筋22均位于同一个平面上。

根据本实用新型的实施例提供的拼接式载板框架结构2，用于化学气相沉积设备，具体而言，化学气相沉积设备包括滚轮3等组成的传输装置和安装在传输装置上的载具，而载具又包括承载工件的载板1和安装载板1的拼接式载板框架结构2。传输装置用于将载具连同硅片等待加工件一起进行前后传输，以便能够将硅片等待加工件输送到不同的工艺腔内，以进行不同的工艺处理。而在本申请，将载具的拼接式载板框架结构2设置成了拼接式结构，即拼接式载板框架结构2不是整体式结构，而是由多个横筋24、至少一个竖筋26、两个边框筋22拼接形成的。这样一方面降低了拼接式载板框架结构2的加工难度。另一方面，能够减小拼接式载板框架结构2的整体变形，保证载具在滚轮3上传输的稳定性，提高了自动化设备的定位精度。同时，减小拼接式载板框架结构2的整体变形，还能降低因载具变形对硅片温度均匀性的影响，确保了硅片加工的工艺效果。

在上述实施例中，边框筋22、横筋24和竖筋26均由殷钢制成。

在该实施例中，拼接式载板框架结构2的边框筋22、横筋24和竖筋26均由殷钢制成。这样便形成了一个殷钢拼接式载板框架结构2。而殷钢材质为一种铁镍合金，其作为拼接式载板框架结构2可以很好地对载板1进行支撑，因此可以很好地对大尺寸的载板1进行支撑，防止了载板1因自身重力而产生的变形，进而不会因载板1变形而对硅片的温度均匀性产生影响，也就不会影响工艺效果，更避免了因载板1变形对自动化设备的定位精度产生影响，保障了生产设备的产能和稳定性。其中，殷钢材质还具有良好导电性，很好地满足了设备的生产需求，并且殷钢材质还具有耐高温的特点，且膨胀系数极低，因此150℃-300℃的工作温度并不会导致殷钢材质的拼接式载板框架结构2由于温度的升高而膨胀变形，避免了因膨胀变形导致设备无法进行进准定位，在避免了膨胀变形增大摩擦力的基础上，殷钢材质还具有很强的耐磨性，又加上合金材质的表面光滑，可以极大的减少工作中粉尘的产生减少对工艺环境的污染，同时由于减少了粉尘的产生，各零件间隙中的粉尘也会大大减少，从而减少了零件间的摩擦，会大大降低各部位的磨损，也就避免了由于设备零件的磨损而影响自动化设备的定位精度，还可以大幅度的延长设备的使用寿命。而这样就降低了拼接式载板框架结构2的加工难度。

在上述实施例中，如图4至图6所示，边框筋22、横筋24和竖筋26均包括沿同一方向依次连接的至少两个拼接件，任意相邻的两个拼接件通过连接组件连接，连接组件包括：两个销钉和一个固定螺栓，两个销钉、固定螺栓的两端分别安装至相邻的两个边框拼接件222内。具体而言，相互连接的两个拼接件通过两个销钉进行长度方向上的定位，且相互连接的两个拼接件的连接端部上均设置有容纳销钉的定位槽；相互连接的两个拼接件的待连接端上分别设置有与固定螺栓适配的螺栓安装孔，相互连接的两个拼接件中的一个上设置有与对应螺栓安装孔连通的操作槽，固定螺栓能够由操作槽处进行安装。

在该些实施例中，拼接式载板框架结构2的边框筋22、横筋24和竖筋26都是由多个拼接件拼接而成的，即边框筋22、横筋24和竖筋26沿长度方向不是一个整体，而是分段的。该种设置，可降低边框筋22、横筋24和竖筋26的加工难度和生产成本，毕竟一体的边框筋22、横筋24和竖筋26相较于拼接式的边框筋22、横筋24和竖筋26更不好加工。同时，本申请，在相互连接的两个拼接件的连接处都设置有开口相对的定位槽，并在定位槽内还设置有销钉，安装时，可通过销钉实现两个拼接件在长度方向上的定位，以方便拼接式载板框架结构2的安装。进一步地，销钉为殷钢钉。同时，相互连接的两个拼接件的连接段上设置有螺栓安装孔，并且拼接件上还设置有与螺栓安装孔相连通的操作槽，可以在操作槽处将固定螺栓置于螺栓安装孔中对拼接件进行固定，增加了拼接件相互连接的稳定性，使整个拼接式载板框架结构2的结构更加稳固，进而增强了整个设备的稳定性。

其中，边框筋22、横筋24和竖筋26都是先通过两个销钉进行定位，然后通过固定螺栓进行固定。而由于边框筋22、横筋24和竖筋26的位置不同，因此，各自的受力也有差异，而根据边框筋22、横筋24和竖筋26的各自位置可以合理设置两个销钉相对固定螺栓的位置。

在一具体方案中，如图4和图5所示，边框筋22包括沿同一方向依次连接的至少两个边框拼接件222，任意相邻的两个边框拼接件222通过边框连接件连接，边框连接件包括：从上至下依次设置的第一边框销钉224、边框固定螺栓228、第二边框销钉226，第一边框销钉224、边框固定螺栓228、第二边框销钉226分别与相邻的两个边框拼接件222相连。边框拼接件222上设置有边框操作槽229，边框固定螺栓228可由边框操作槽229处实现两个边框拼接件222之间的连接。

在上述具体方案中，如图6所示，横筋24包括沿同一方向依次连接的至少两个横筋拼接件242，任意相邻的两个横筋拼接件242通过横筋连接件连接，横筋连接件包括：从上至下依次设置的第一横筋销钉244、第二横筋销钉246、横筋固定螺栓248，第一横筋销钉244、第二横筋销钉246、横筋固定螺栓248分别与相邻的两个横筋拼接件242相连。横筋拼接件242上设置有横筋操作槽249，横筋固定螺栓248可由横筋操作槽249处实现两个横筋拼接件242之间的连接。

在上述具体方案中，竖筋26包括沿同一方向通过竖筋26连接件依次相连的至少两个竖筋拼接件，竖筋连接件包括：从上至下依次设置的第一竖筋销钉、竖筋固定螺栓、第二竖筋销钉，第一竖筋销钉，竖筋固定螺栓，第二竖筋销钉分别与相邻的两个竖筋拼接件相连。

在上述任一实施例中，如图7和图8所示，拼接式载板框架结构2还包括位于边框筋22底部的多个导条28，每一导条28包括通过导条连接件依次相连的至少两个导条拼接件282。

在该实施例中，拼接式载板框架结构2的底部设置有与传输装置直接接触的导条28，通过该导条28的设置，可实现传输装置与拼接式载板框架结构2之间的组装。而导条28由多个导条拼接件282拼接形成，可进一步减少载具的整体变形。进一步地，拼接式导条28由多个殷钢条拼接形成。通过殷钢条拼接形成导条28，使得导条28加工更加方便，其更不易被磨损。

进一步地，如图8所示，相邻的两个导条拼接件282在连接处预留有膨胀间隙4。

在该些实施例中，两个相邻的导条拼接件282在连接处预留有膨胀间隙4，即本申请提前为导条拼接件282的膨胀充分预留了空间，在生产过程中就算导条拼接件282由于温度升高而发生膨胀，所预留的膨胀间隙4已足够导条拼接件282的膨胀延展，不会因没有延展空间而膨胀变形，进而增加设备的磨损，因此，为导条拼接件282在连接处预留膨胀空间可以防止因导条的膨胀变形而导致的设备磨损，从而延长了设备的使用寿命。

进一步地，如图8所示，导条28还包括至少一个导条销钉284，各个导条销钉284分别与相邻的两个导条拼接件282相连。

在该些实施例中，在相互连接的两个导条拼接件282的连接处都设置有开口相对的定位槽，并在定位槽内还设置有导条销钉284，安装时，可通过导条销钉284实现两个导条拼接件282在长度方向上的定位，以方便导条28的安装。该种设置通过导条销钉284对相邻的导条拼接件282进行了轴向定位，起到了防松动的效果，同时，该种设置也可通过导条销钉284的限定来合理来控制两个导条拼接件282连接后的预留间隙，使预留的膨胀间隙4更加精确。

进一步地，如图8所示，相邻两个导条拼接件282通过两者之间的E形连接部与反E形连接部对接。

在该些实施例中，两个导条拼接件282的连接段中的一个呈E形设置，也即两个导条拼接件282中的一个上设置有E形连接部，两个导条拼接件282的连接段中的另一个呈反E形设置，也即两个导条拼接件282中的另一个上设置有E形连接部，这样通过E形连接部与反E形连接部的对接，便可实现两个导条拼接件282之间的连接。而这种凹凸的连接方式可以使导条拼接件282之间连接的更加紧密，可以极大地减小导条拼接件282间的空隙，进而可以有效的减少滚轮3在传输的过程中与缝隙的接触，减少了滚轮3的磨损，从而可以延长设备的使用寿命，进而降低了维护成本。

在一具体方案中，任意两个导条拼接件282之间可先通过导条销钉284进行定位，然后通过E形结构和反E形结构进行对接。

在上述任一实施例中，如图3所示，横筋24的数量为三个，竖筋26的数量为2个，三个横筋24、两个竖筋26和两个边框筋22形成“田”字形。该种设置使得拼接式载板框架结构2的整体结构比较简单。

在上述任一实施例中，如图1和图3所示，边框筋22垂直于工件的输送方向且横筋24平行于工件的输送方向，即从工件的输送方向来看，边框筋22是前后横向设置的，而横筋24是竖向设置的。

如图1至图3所示，本实用新型第二方面的实施例提供了一种载具，包括：第一方面任一项实施例提供的拼接式载板框架结构2；载板1，呈网格状，置于拼接式载板框架结构2上，用于承载工件。

根据本实用新型的实施例提供的载具，包括第一方面任一项实施例提供的拼接式载板框架结构2以及承载工件的载板1。而载板1如图2所示，呈网格状，这样便可实现对多个硅片的承载。同时，由于本实用新型的实施例提供的载具，具有第一方面任一实施例提供的拼接式载板框架结构2，因此，本实用新型的实施例提供的载具具有第一方面任一实施例提供的拼接式载板框架结构2的全部有益效果，在此不一一列举。

在上述实施例中，拼接式载板框架结构2与载板1能够拆卸的连接。

在该些实施例中，拼接式载板框架结构2和载板1可以随意的进行拆卸和连接，这种设置可以在需要对拼接式载板框架结构2或载板1进行更换时方便的对需要更换的部位进行拆卸更换，不需要整体的进行更换，便于设备的维修保养，在做到了更换方便的同时，还节约了设备维修更换成本。

在上述任一实施例中，载板1为铝载板、不锈钢载板或殷钢载板。优选的，载板1为殷钢载板。

在该些实施例中，载板1的材质可根据实际需要设置成殷钢、铝或不锈钢中的一种。因为，这些材料的膨胀系数较低，耐高温，能够满足工艺温度150℃-300℃的需求。而载板1优先为殷钢载板，这样可以确保拼接式载板框架结构2的材质的统一。

如图1所示，本实用新型第三方面的实施例提供了一种化学气相沉积设备，包括：滚轮3构成的传输装置；和第二方面任一项实施例提供的载具，载具安装在传输装置上，传输装置用于通过载具输送工件。

根据本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备，包括滚轮3构成的传输装置和第二方面任一项实施例提供的载具。载具安装在传输装置上，通过传输装置可将载具和工件一起进行传输。同时，由于本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备，具有第二方面任一实施例提供的载具，因此，本实用新型的实施例提供的化学气相沉积设备具有第二方面任一实施例提供的载具的全部有益效果，在此不一一列举。

进一步地，如图1所示，拼接式载板框架结构2还包括位于边框筋22底部的多个导条；传输装置包括与多个导条适配的导轨，多个导条限位安装于导轨内。

在该实施例中，通过导条和导轨的配合可以实现传输装置对整个载具的定位安装，这样便可提高载具在传输装置上的安装稳定性，避免载具在传输装置上发生偏斜或晃动。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种拼接式载板框架结构，用于化学气相沉积设备承载工件，其特征在于，包括：

平行并间隔设置的两个边框筋；

多个横筋，相互间隔地连接在两个所述边框筋之间且垂直于所述边框筋；

至少一个竖筋，位于两个所述边框筋之间且平行于所述边框筋，且任一所述竖筋的两端均连接在相邻两个所述横筋之间；

其中，多个所述横筋、至少一个所述竖筋、两个所述边框筋均位于同一个平面上。

2.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述边框筋、所述横筋和所述竖筋均由殷钢或铝或不锈钢制成。

3.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，所述边框筋、所述横筋或所述竖筋中的至少一个为拼接筋，所述拼接筋包括沿同一方向依次连接的至少两个拼接件，任意相邻的两个所述拼接件通过连接组件连接，所述连接组件包括：

两个销钉和一个固定螺栓，相互连接的两个所述拼接件通过两个所述销钉进行长度方向上的定位，且相互连接的两个所述拼接件的连接端部上均设置有容纳所述销钉的定位槽；

相互连接的两个所述拼接件的待连接端上分别设置有与所述固定螺栓适配的螺栓安装孔，相互连接的两个所述拼接件中的一个上设置有与对应螺栓安装孔连通的操作槽，所述固定螺栓能够由所述操作槽处进行安装。

4.根据权利要求3所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述边框筋包括沿同一方向依次连接的至少两个边框拼接件，任意相邻的两个所述边框拼接件通过边框连接件连接，所述边框连接件包括：

从上至下依次设置的第一边框销钉、边框固定螺栓、第二边框销钉，所述第一边框销钉、所述边框固定螺栓、所述第二边框销钉分别与相邻的两个边框拼接件相连；和/或

所述横筋包括沿同一方向依次连接的至少两个横筋拼接件，任意相邻的两个所述横筋拼接件通过横筋连接件连接，所述横筋连接件包括：

从上至下依次设置的第一横筋销钉、第二横筋销钉、横筋固定螺栓，所述第一横筋销钉、所述第二横筋销钉、所述横筋固定螺栓分别与相邻的两个横筋拼接件相连；和/或

所述竖筋包括沿同一方向通过竖筋连接件依次相连的至少两个竖筋拼接件，所述竖筋连接件包括：

从上至下依次设置的第一竖筋销钉、竖筋固定螺栓、第二竖筋销钉，所述第一竖筋销钉、所述竖筋固定螺栓、所述第二竖筋销钉分别与相邻的两个竖筋拼接件相连。

5.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述拼接式载板框架结构还包括位于所述边框筋底部的多个导条，每一所述导条包括通过导条连接件依次相连的至少两个导条拼接件，相邻的两个所述导条拼接件在连接处预留有膨胀间隙。

6.根据权利要求5所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述导条包括至少一个导条销钉，各个所述导条销钉分别与相邻的两个导条拼接件相连，相邻两个所述导条拼接件通过E形连接部与反E形连接部对接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述横筋的数量为三个，所述竖筋的数量为两个，三个所述横筋、两个所述竖筋和两个所述边框筋形成“田”字形；和/或

所述边框筋垂直于工件的输送方向且所述横筋平行于工件的输送方向。

8.一种载具，其特征在于，包括：

如权利要求1至7中任一项所述的拼接式载板框架结构；

载板，呈网格状，置于所述拼接式载板框架结构上，用于承载工件。

9.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：

传输装置；和

如权利要求8所述的载具，所述载具安装在所述传输装置上，所述传输装置用于通过所述载具输送工件。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述拼接式载板框架结构还包括位于边框筋底部的多个导条；

所述传输装置包括与所述多个导条适配的导轨，所述多个导条限位安装于所述导轨内。

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