CN214898356U - 12寸金属烤架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种12寸金属烤架，包括12寸金属烤架本体，所述12寸金属烤架本体包括两个圆形安装板以及设置在两个圆形安装板之间的两个第一支撑放置板和两个第二支撑放置板，两个第二支撑放置板位于两个第一支撑放置板中间后侧，两个第一支撑放置板相互靠近的一侧均开设有多个第一放置槽，第二支撑放置板的前侧开设有多个第二放置槽，多个第一放置槽和多个第二放置槽一一对应设置。本实用新型设计合理，便于通过简单推拉的方式快速实现圆形安装板、第一支撑放置板和第二支撑放置板的组装作业，提高组装效率，且便于根据使用需要单独对第一支撑放置板和第二支撑放置板进行更换，不需要更换整个12寸金属烤架本体，满足使用需求。

Description

12寸金属烤架

技术领域

本实用新型涉及12寸金属烤架技术领域，尤其涉及一种12寸金属烤架。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆在加工制作过程中需要进行烘烤作业，因此需要用到12寸金属烤架，现有的12寸金属烤架大多由多个支撑放置板和两个安装板组成，通过两个安装板对两个支撑放置板进行固定，支撑放置板上开设有多个放置槽，将晶圆放置在对应的放置槽内，支撑放置板和放置槽配合对晶圆进行存放；为了避免晶圆在放置过程中出现滑落掉落的现象，其存放烤架上的放置槽大多与晶圆相匹配，对于不同厚度的晶圆需要将其放置在不同的支撑放置板上；

现有的存放烤架，其支撑放置板与安装板之间大多采用螺栓固定的方式实现固定，组装效率低，且不便于根据晶圆的厚度单独对支撑放置板进行快速更换，不能满足使用需求，因此我们提出了12寸金属烤架用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的12寸金属烤架。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

12寸金属烤架，包括12寸金属烤架本体，所述12寸金属烤架本体包括两个圆形安装板以及设置在两个圆形安装板之间的两个第一支撑放置板和两个第二支撑放置板，两个第二支撑放置板位于两个第一支撑放置板中间后侧，两个第一支撑放置板相互靠近的一侧均开设有多个第一放置槽，第二支撑放置板的前侧开设有多个第二放置槽，多个第一放置槽和多个第二放置槽一一对应设置，所述第一支撑放置板的顶部和底部以及第二支撑放置板的顶部和底部分别与两个圆形安装板相互靠近的一侧活动接触，圆形安装板上设有快速组装机构；

所述快速组装机构包括两个第一卡块，第一卡块靠近对应的圆形安装板的一侧与圆形安装板固定连接，第二支撑放置板活动套设在对应的两个第一卡块上，两个圆形安装板相互靠近的一侧均固定连接有两个第二卡块，位于同一个圆形安装板上的两个第一卡块均位于对应的两个第二卡块中间后侧，第一支撑放置板活动套设在对应的两个第二卡块上，圆形安装板的一侧开设有矩形孔，矩形孔的顶部内壁和底部内壁之间固定连接有两个导向套，矩形孔内设有两个矩形杆，导向套滑动套设在对应的矩形杆上，位于同一个矩形孔内的两个矩形杆相互远离的一侧均固定连接有移动块，左右相对的两个移动块相互靠近的一侧分别与两个第一支撑放置板相互远离的一侧活动接触，左右相对的两个第二卡块相互远离的一侧均开设有第一卡槽，左右相对的两个移动块相互靠近的一侧均固定连接有第三卡块，第三卡块远离对应的移动块的一侧延伸至第一卡槽内，第三卡块与对应的第一卡槽相卡装，位于同一个矩形孔内的两个矩形杆相互靠近的一侧均固定连接有矩形块，矩形块靠近对应的导向套的一侧与导向套之间固定连接有弹簧，弹簧活动套设在对应的矩形杆上，位于同一个矩形孔内的两个矩形块中右侧的矩形块的左侧固定连接有柔性钢绳，位于左侧的矩形块的右侧固定连接有L形杆，矩形孔的前侧内壁和后侧内壁之间转动安装有定滑轮，柔性钢绳远离对应的矩形块的一端绕过定滑轮的左侧并与L形杆的右侧内壁固定连接，L形杆活动套设在对应的柔性钢绳上。

优选的，所述第一支撑放置板的顶部和底部均开设有第二卡槽，第二卡槽的内壁与对应的第二卡块的外侧活动接触，左右相对的两个第二卡槽相互远离的一侧内壁上均开设有矩形穿孔，矩形穿孔的内壁与对应的第三卡块的外侧活动接触。

优选的，所述第二支撑放置板的顶部和底部均开设有第三卡槽，第三卡槽的内壁与对应的第一卡块的外侧活动接触。

优选的，所述矩形块外侧与对应的矩形孔的内壁滑动连接。

优选的，所述L形杆的右侧内壁上开设有第一穿孔，柔性钢绳位于对应的第一穿孔内并与第一穿孔的内壁不接触。

优选的，位于右侧的两个移动块的右侧均固定连接有U形把手。

优选的，所述矩形孔的前侧内壁和后侧内壁之间固定连接有转轴，定滑轮的前侧开设有圆形孔，圆形孔内固定套设有轴承，轴承的内圈内侧与对应的转轴的外侧固定连接。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过圆形安装板、第一支撑放置板、第二支撑放置板、矩形孔、第一卡块、导向套、矩形杆、移动块、矩形块、弹簧、第三卡块、第二卡块、第一卡槽、柔性钢绳、L形杆、定滑轮与U形把手相配合，对第一支撑放置板和第二支撑放置板进行更换时，向右拉动U形把手带动对应的右侧的移动块移动，右侧的移动块通过对应的右侧的矩形杆带动右侧的矩形块在矩形孔内滑动并柔性钢绳进行拉动，使得柔性钢绳通过拉动对应的L形杆带动左侧的矩形块向左移动，矩形块移动对对应的弹簧进行压缩，左侧的矩形块通过对应的左侧的矩形杆带动移动块向左移动，移动块带动对应的第三卡块从第一卡槽内移出，紧接着向远离第一支撑放置板和第二支撑放置板的方向拉动圆形安装板带动对应的第一卡块和第二卡块分别从第三卡槽和第二卡槽内移出；

此时即可将需要更换的第一支撑放置板和第二支撑放置板至于两个圆形安装板之间，紧接着向相互靠近的方向移动两个圆形安装板带动对应的第一卡块和第二卡块分别移动至第三卡槽和第二卡槽内，紧接着放松对U形把手向右的拉力，此时处于压缩状态的弹簧的弹力依次通过对应的矩形块、矩形杆和移动块带动第三卡块移动至第一卡槽内，使得圆形安装板被固定，进而使得两个第一支撑放置板和两个第二支撑放置板均被固定在圆形安装板之间，更换组装完成。

本实用新型设计合理，便于通过简单推拉的方式快速实现圆形安装板、第一支撑放置板和第二支撑放置板的组装作业，提高组装效率，且便于根据使用需要单独对第一支撑放置板和第二支撑放置板进行更换，不需要更换整个12寸金属烤架本体，满足使用需求。

附图说明

图1为本实用新型提出的12寸金属烤架的结构示意图；

图2为图1中A部分的放大剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的12寸金属烤架的圆形安装板的俯视结构示意图。

图中：1圆形安装板、2第一支撑放置板、3第二支撑放置板、4矩形孔、5第一卡块、6导向套、7矩形杆、8移动块、9矩形块、10弹簧、11第三卡块、12第二卡块、13第一卡槽、14柔性钢绳、15L形杆、16定滑轮、17U形把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，12寸金属烤架，包括12寸金属烤架本体，12寸金属烤架本体包括两个圆形安装板1以及设置在两个圆形安装板1之间的两个第一支撑放置板2和两个第二支撑放置板3，两个第二支撑放置板3位于两个第一支撑放置板2中间后侧，两个第一支撑放置板2相互靠近的一侧均开设有多个第一放置槽201，第二支撑放置板3的前侧开设有多个第二放置槽301，多个第一放置槽201和多个第二放置槽301一一对应设置，第一支撑放置板2的顶部和底部以及第二支撑放置板3的顶部和底部分别与两个圆形安装板1相互靠近的一侧活动接触，圆形安装板1上设有快速组装机构；

快速组装机构包括两个第一卡块5，第一卡块5靠近对应的圆形安装板1的一侧与圆形安装板1固定连接，第二支撑放置板3活动套设在对应的两个第一卡块5上，两个圆形安装板1相互靠近的一侧均固定连接有两个第二卡块12，位于同一个圆形安装板1上的两个第一卡块5均位于对应的两个第二卡块12中间后侧，第一支撑放置板2活动套设在对应的两个第二卡块12上，圆形安装板1的一侧开设有矩形孔4，矩形孔4的顶部内壁和底部内壁之间固定连接有两个导向套6，矩形孔4内设有两个矩形杆7，导向套6滑动套设在对应的矩形杆7上，位于同一个矩形孔4内的两个矩形杆7相互远离的一侧均固定连接有移动块8，左右相对的两个移动块8相互靠近的一侧分别与两个第一支撑放置板2相互远离的一侧活动接触，左右相对的两个第二卡块12相互远离的一侧均开设有第一卡槽13，左右相对的两个移动块8相互靠近的一侧均固定连接有第三卡块11，第三卡块11远离对应的移动块8的一侧延伸至第一卡槽13内，第三卡块11与对应的第一卡槽13相卡装，位于同一个矩形孔4内的两个矩形杆7相互靠近的一侧均固定连接有矩形块9，矩形块9靠近对应的导向套6的一侧与导向套6之间固定连接有弹簧10，弹簧10活动套设在对应的矩形杆7上，位于同一个矩形孔4内的两个矩形块9中右侧的矩形块9的左侧固定连接有柔性钢绳14，位于左侧的矩形块9的右侧固定连接有L形杆15，矩形孔4的前侧内壁和后侧内壁之间转动安装有定滑轮16，柔性钢绳14远离对应的矩形块9的一端绕过定滑轮16的左侧并与L形杆15的右侧内壁固定连接，L形杆15活动套设在对应的柔性钢绳14上，本实用新型设计合理，便于通过简单推拉的方式快速实现圆形安装板1、第一支撑放置板2和第二支撑放置板3的组装作业，提高组装效率，且便于根据使用需要单独对第一支撑放置板2和第二支撑放置板3进行更换，不需要更换整个12寸金属烤架本体，满足使用需求。

本实用新型中，第一支撑放置板2的顶部和底部均开设有第二卡槽，第二卡槽的内壁与对应的第二卡块12的外侧活动接触，左右相对的两个第二卡槽相互远离的一侧内壁上均开设有矩形穿孔，矩形穿孔的内壁与对应的第三卡块11的外侧活动接触，第二支撑放置板3的顶部和底部均开设有第三卡槽，第三卡槽的内壁与对应的第一卡块5的外侧活动接触，矩形块9外侧与对应的矩形孔4的内壁滑动连接，L形杆15的右侧内壁上开设有第一穿孔，柔性钢绳14位于对应的第一穿孔内并与第一穿孔的内壁不接触，位于右侧的两个移动块8的右侧均固定连接有U形把手17，矩形孔4的前侧内壁和后侧内壁之间固定连接有转轴，定滑轮16的前侧开设有圆形孔，圆形孔内固定套设有轴承，轴承的内圈内侧与对应的转轴的外侧固定连接，本实用新型设计合理，便于通过简单推拉的方式快速实现圆形安装板1、第一支撑放置板2和第二支撑放置板3的组装作业，提高组装效率，且便于根据使用需要单独对第一支撑放置板2和第二支撑放置板3进行更换，不需要更换整个12寸金属烤架本体，满足使用需求。

工作原理：使用时，根据晶圆的厚度对第一支撑放置板2和第二支撑放置板3进行更换时，向右拉动U形把手17，U形把手17带动对应的右侧的移动块8移动，右侧的移动块8带动对应的右侧的矩形杆7在导向套6内滑动，右侧的矩形杆7带动对应的右侧的矩形块9在矩形孔4内滑动，右侧的矩形块9移动的同时对对应的柔性钢绳14进行拉动，使得柔性钢绳14在对应的定滑轮16的左侧滑动，柔细钢绳14拉动对应的L形杆15向左移动，L形杆15带动对应的左侧的矩形块9向左移动，矩形块9移动对对应的弹簧10进行压缩，左侧的矩形块9带动对应的左侧的矩形杆7在导向套6内滑动，左侧的矩形杆7带动对应的左侧的移动块8向左移动，移动块8带动对应的第三卡块11从第一卡槽13内移出，解除对圆形安装板1的固定，紧接着向远离第一支撑放置板2和第二支撑放置板3的方向移动圆形安装板1，圆形安装板1带动对应的第一卡块5和第二卡块12分别从第三卡槽和第二卡槽内移出，解除对第一支撑放置板2和第二支撑放置板3的固定；

此时即可将需要更换的第一支撑放置板2和第二支撑放置板3至于两个圆形安装板1之间，紧接着向相互靠近的方向移动两个圆形安装板1，圆形安装板1带动对应的第一卡块5和第二卡块12分别移动至第三卡槽和第二卡槽内，紧接着放松对U形把手17向右的拉力，此时处于压缩状态的弹簧10复位，弹簧10的弹力带动对应的矩形块9向远离导向套6的方向移动，矩形块9带动对应的矩形杆7移动，矩形杆7带动对应的移动块8向靠近第一支撑放置板2的方向移动，移动块8带动对应的第三卡块11移动至第一卡槽13内，第三卡块11与对应的第一卡槽13相卡装，使得圆形安装板1被固定，进而使得两个第一支撑放置板2和两个第二支撑放置板3均被固定在圆形安装板1之间，使得便于通过简单推拉的方式快速实现圆形安装板1、第一支撑放置板2和第二支撑放置板3的安装作业，提高组装效率，且便于根据使用需要单独对第一支撑放置板2和第二支撑放置板3进行更换，不需要更换整个12寸金属烤架本体。

本实用的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.12寸金属烤架，包括12寸金属烤架本体，所述12寸金属烤架本体包括两个圆形安装板(1)以及设置在两个圆形安装板(1)之间的两个第一支撑放置板(2)和两个第二支撑放置板(3)，两个第二支撑放置板(3)位于两个第一支撑放置板(2)中间后侧，两个第一支撑放置板(2)相互靠近的一侧均开设有多个第一放置槽(201)，第二支撑放置板(3)的前侧开设有多个第二放置槽(301)，多个第一放置槽(201)和多个第二放置槽(301)一一对应设置，其特征在于，所述第一支撑放置板(2)的顶部和底部以及第二支撑放置板(3)的顶部和底部分别与两个圆形安装板(1)相互靠近的一侧活动接触，圆形安装板(1)上设有快速组装机构；

所述快速组装机构包括两个第一卡块(5)，第一卡块(5)靠近对应的圆形安装板(1)的一侧与圆形安装板(1)固定连接，第二支撑放置板(3)活动套设在对应的两个第一卡块(5)上，两个圆形安装板(1)相互靠近的一侧均固定连接有两个第二卡块(12)，位于同一个圆形安装板(1)上的两个第一卡块(5)均位于对应的两个第二卡块(12)中间后侧，第一支撑放置板(2)活动套设在对应的两个第二卡块(12)上，圆形安装板(1)的一侧开设有矩形孔(4)，矩形孔(4)的顶部内壁和底部内壁之间固定连接有两个导向套(6)，矩形孔(4)内设有两个矩形杆(7)，导向套(6)滑动套设在对应的矩形杆(7)上，位于同一个矩形孔(4)内的两个矩形杆(7)相互远离的一侧均固定连接有移动块(8)，左右相对的两个移动块(8)相互靠近的一侧分别与两个第一支撑放置板(2)相互远离的一侧活动接触，左右相对的两个第二卡块(12)相互远离的一侧均开设有第一卡槽(13)，左右相对的两个移动块(8)相互靠近的一侧均固定连接有第三卡块(11)，第三卡块(11)远离对应的移动块(8)的一侧延伸至第一卡槽(13)内，第三卡块(11)与对应的第一卡槽(13)相卡装，位于同一个矩形孔(4)内的两个矩形杆(7)相互靠近的一侧均固定连接有矩形块(9)，矩形块(9)靠近对应的导向套(6)的一侧与导向套(6)之间固定连接有弹簧(10)，弹簧(10)活动套设在对应的矩形杆(7)上，位于同一个矩形孔(4)内的两个矩形块(9)中右侧的矩形块(9)的左侧固定连接有柔性钢绳(14)，位于左侧的矩形块(9)的右侧固定连接有L形杆(15)，矩形孔(4)的前侧内壁和后侧内壁之间转动安装有定滑轮(16)，柔性钢绳(14)远离对应的矩形块(9)的一端绕过定滑轮(16)的左侧并与L形杆(15)的右侧内壁固定连接，L形杆(15)活动套设在对应的柔性钢绳(14)上。

2.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，所述第一支撑放置板(2)的顶部和底部均开设有第二卡槽，第二卡槽的内壁与对应的第二卡块(12)的外侧活动接触，左右相对的两个第二卡槽相互远离的一侧内壁上均开设有矩形穿孔，矩形穿孔的内壁与对应的第三卡块(11)的外侧活动接触。

3.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，所述第二支撑放置板(3)的顶部和底部均开设有第三卡槽，第三卡槽的内壁与对应的第一卡块(5)的外侧活动接触。

4.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，所述矩形块(9)外侧与对应的矩形孔(4)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，所述L形杆(15)的右侧内壁上开设有第一穿孔，柔性钢绳(14)位于对应的第一穿孔内并与第一穿孔的内壁不接触。

6.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，位于右侧的两个移动块(8)的右侧均固定连接有U形把手(17)。

7.根据权利要求1所述的12寸金属烤架，其特征在于，所述矩形孔(4)的前侧内壁和后侧内壁之间固定连接有转轴，定滑轮(16)的前侧开设有圆形孔，圆形孔内固定套设有轴承，轴承的内圈内侧与对应的转轴的外侧固定连接。

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