CN214848484U - 载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，包括圆台和压盖。圆台上设有载样网放置孔、工具水平(竖直)进出槽、定位凹槽(下部嵌有磁性圆棒)；压盖上设有盖板、定位凸台、磁性圆棒(竖直嵌入定位凸台内部)和观察孔，定位凸台与定位凹槽插入配合并利用两磁性圆棒的引力，将圆台与压盖连接在一起。本实用新型的压盖可对载样网的圆周边进行准确遮挡，观测孔的直径小于载样网，样品台移动过程中载样网不会脱落，不需要使用导电胶带(水)，且不影响对样品的观测效果，利用工具水平(竖直)进出槽可方便快捷取放载样网，降低了操作难度，提高了科研效率。

Description

载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别是载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台。

背景技术

扫描电子显微镜扫描电镜是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的特征。由于扫描电镜自身结构特点，待观测的试样需要稳定地安置于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的入射方向。

在科研和生产过程中，技术人员普遍遇到了下述问题：在观察微粉体样品表面形貌时，尤其是微米级、亚微米级、纳米级粉体颗粒，如果将粉体直接固定在导电胶带上进行观察，粉体团聚严重，无法清晰观察样品表面形貌。科研人员从长期工作经验中摸索出一种方法，即利用经常适于用观察透射成像的载样网，将粉末样品与不发生反应的溶剂(一般为无水乙醇)配成悬浮液，然后超声振荡分散，用一次性滴管将悬浮液滴在载样网上，等其干燥后移至样品台上，用导电胶带将其与样品台固定在一起，然后进行镀金或喷碳处理后进入样品仓，再扫描观察样品表面形貌，取得了很好的效果。载样网若是铜材质，就称铜网，如果是镍、钼、金、尼龙，就相应的称镍网、钼网、金网、尼龙网等。

中国专利202020703335.0公开了一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台(申请日期为2020年4月30日)，利用工具(通常为尖头摄子)水平夹紧载样网边缘(即摄子与载样网平面平行)，或利用工具竖直夹紧载样网两边(即摄子与载样网平面垂直)，将载样网放入载样网固定槽，然后将工具从工具水平进出槽或工具竖直进出槽中撤离，载样网放置便捷顺利，降低了操作难度，提高了科研人员的工作效率。

但在使用该专利技术制备的样品台时，发现其技术方案存在如下不足：载样网体积小，常用标准为直径3.05mm，厚度18μm，载样网固定槽的直径略大于载样网的直径，载样网放置好后未与样品台使用导电胶带粘合。在样品台从制样室移至观测室时、从扫描电镜观测仓外进入观测仓内时、在观测仓内上下左右前后移动时，极易掉落遗失。如果掉落在观测仓外，需重新制样，如果掉落在观测仓内，对扫描电镜的使用造成较大的影响；如果单纯增加导电胶带或用导电胶水将载样网粘附在载样网固定槽或样品台表面，一方面造成科研成本的浪费，另一方面该样品测试完毕后载样网及样品只能报废，不能再用于其他测试(如TEM等)，科研效率低。

如何解决上述问题，是本领域技术人员工作的当务之急。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，解决如下技术问题：①如何在不使用导电胶带或导电胶水的情况下，确保载样网不会从样品台上掉落，而且不影响对样品的观测效果；②如保做到利用工具(通常为尖头摄子)夹紧载样网时，工具进出方便，载样网放置便捷顺利。

本实用新型采用如下技术方案：

载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，包括圆台和压盖，所述的圆台呈圆柱形，包括载样网放置孔、工具水平进出槽、工具竖直进出槽、定位凹槽和磁性圆棒Ⅰ，所述的载样网放置孔呈圆孔形在圆台上部沿圆周均匀分布，载样网放置孔靠近圆台边缘的位置设有工具水平进出槽，所述工具水平进出槽是一种矩形凹槽，工具水平进出槽的中心线指向载样网放置孔的圆心，工具水平进出槽的一端在圆台边沿，另一端在载样网放置孔内，工具水平进出槽的深度大于载样网放置孔的深度，所述的工具竖直进出槽设在载样网放置孔的圆周外部，每个载样网放置孔上设有两个工具竖直进出槽且关于载样网放置孔的圆心对称分布，工具竖直进出槽中心线的连线与工具水平进出槽的中心线垂直，工具竖直进出槽的深度与载样网放置孔的深度相同，所述圆台的中心设有定位凹槽，所述定位凹槽的截面呈一端为圆弧状的类矩形，在定位凹槽的中心下部嵌有磁性圆棒Ⅰ，所述的磁性圆棒Ⅰ的上端面与定位凹槽的底面水平高度相同，磁性圆棒Ⅰ与圆台的主体通过过盈配合连接在一起。

进一步的，所述的载样网放置孔的直径为3.4mm-3.6mm，深度为0.1mm-0.2mm。

进一步的，所述的载样网放置孔两端的工具竖直进出槽顶端端面之间的距离为6.2mm。

进一步的，所述的工具水平进出槽处于载样网放置孔内的长度为1.25mm-1.4mm。

进一步的，所述的工具水平进出槽的深度为2.1mm-2.3mm。

所述的压盖包括盖板、定位凸台、磁性圆棒Ⅱ和观察孔，所述的盖板位于压盖的上部，所述的定位凸台位于压盖的下部，盖板与定位凸台一体成形，所述的盖板呈圆片状，圆片直径与圆台的直径相同，圆片上沿圆周均匀分布有观察孔，所述的定位凸台形状与圆台的定位凹槽相同，所述的磁性圆棒Ⅱ竖直嵌入定位凸台中心的内部，磁性圆棒Ⅱ的下端面与定位凸台的下端面齐平，磁性圆棒Ⅱ与定位凸台通过过盈配合连接在一起。

进一步的，所述的观察孔的直径比载样网放置孔的直径小1.2mm。

进一步的，所述的磁性圆棒Ⅰ的直径与磁性圆棒Ⅱ的直径相同。

所述的定位凸台与定位凹槽通过插入式配合，将圆台与压盖连接在一起，所述的载样网放置孔的圆心与观察孔的圆心一一对应。

所述的定位凸台与定位凹槽之间的连接是间隙配合，配合间隙不大于0.2mm。

本实用新型具有以下有益技术效果：

1、载样网在样品台上放置后不需要使用导电胶带或导电胶水，利用压盖上的磁性圆棒与圆台上的磁性圆棒的吸引力，将压盖与圆台连接在一起，此时由于定位凹槽和定位凸台的准确配合(其形状带有方向性)，压盖可对载样网的圆周边进行准确遮挡；由于观测孔的直径小于载样网的直径，可有效解决样品台移过程中载样网易脱落的问题，并且不影响对载样网上样品的观测效果。

2、利用工具(通常为尖头摄子)水平夹紧载样网边缘(即摄子与载样网平面平行)，将载样网放入载样网固定槽，然后将工具从工具水平进出槽中撤离，或者利用工具(通常为尖头摄子)竖直夹紧载样网两边(即摄子与载样网平面垂直)，将载样网放入载样网固定槽，此时工具进入工具竖直进出槽，然后将工具从工具竖直进出槽中撤离，两种方式都会使载样网放置便捷顺利，降低了操作难度。

3、经扫描电镜测试后的带有样品的载物网还可以再用于其他方面的测试表征，提高了科研人员的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台主视图；

图2为本实用新型载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台俯视图；

图3为图2中A-A面的剖视图；

图4为本实用新型中圆台的俯视图；

图5为图4中B-B面的剖视图；

图6为图4中C-C面的剖视图；

图7为图4中E向的向视图；

图8为本实用新型中压盖的主视图；

图9为本实用新型中压盖的俯视图；

图10为图9中D-D面的剖视图；

图11为本实用新型中压盖的仰视图。

附图标记说明：1、圆台；1-1、载样网放置孔；1-2、工具水平进出槽；1-3、工具竖直进出槽；1-4、定位凹槽；1-5、磁性圆棒Ⅰ；2、压盖；2-1、盖板；2-2、定位凸台；2-3、磁性圆棒Ⅱ；2-4观察孔。

具体实施方式

下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1至图11所示，载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，包括圆台1和压盖2，圆台1呈圆柱形，包括载样网放置孔1-1、工具水平进出槽1-2、工具竖直进出槽1-3、定位凹槽1-4和磁性圆棒Ⅰ1-5，载样网放置孔1-1呈圆孔形在圆台1上部沿圆周均匀分布，载样网放置孔1-1靠近圆台1边缘的位置设有工具水平进出槽1-2，工具水平进出槽1-2是一种矩形凹槽，工具水平进出槽1-2的中心线指向载样网放置孔1-1的圆心，工具水平进出槽1-2的一端在圆台1边沿，另一端在载样网放置孔1-1内，工具水平进出槽1-2处于载样网放置孔1-1内的长度为1.25mm-1.4mm，工具水平进出槽1-2的深度大于载样网放置孔1-1的深度，工具水平进出槽1-2的深度为2.1mm-2.3mm，工具竖直进出槽1-3设在载样网放置孔1-1的圆周外部，每个载样网放置孔1-1上设有两个工具竖直进出槽1-3且关于载样网放置孔1-1的圆心对称分布，工具竖直进出槽1-3中心线的连线与工具水平进出槽1-2的中心线垂直，工具竖直进出槽1-3的深度与载样网放置孔1-1的深度相同，圆台1的中心设有定位凹槽1-4，定位凹槽1-4的截面呈一端为圆弧状的类矩形，在定位凹槽1-4的中心下部嵌有磁性圆棒Ⅰ1-5，磁性圆棒Ⅰ1-5的上端面与定位凹槽1-4的底面水平高度相同，磁性圆棒Ⅰ1-5与圆台1的主体通过过盈配合连接在一起。

载样网放置孔1-1的直径为3.4mm-3.6mm，深度为0.1mm-0.2mm。常用标准载样网的直径为3.05mm，厚度0.18μm，放入载样网放置孔1-1时既有一定间隙，又不会有过大位移。

载样网放置孔1-1两端的工具竖直进出槽1-3顶端端面之间的距离为6.2mm，这样便于夹紧载样网工具的进出，方便快捷。

压盖2包括盖板2-1、定位凸台2-2、磁性圆棒Ⅱ2-3和观察孔2-4，所述的盖板2-1位于压盖2的上部，定位凸台2-2位于压盖2的下部，盖板2-1与定位凸台2-2一体成形，盖板2-1呈圆片状，圆片直径与圆台1的直径相同，圆片上沿圆周均匀分布有观察孔2-4，定位凸台2-2形状与圆台1的定位凹槽1-5相同，磁性圆棒Ⅱ2-3竖直嵌入定位凸台2-2中心的内部，磁性圆棒Ⅱ2-3的下端面与定位凸台2-2的下端面齐平，磁性圆棒Ⅱ2-3与定位凸台2-2通过过盈配合连接在一起。

磁性圆棒Ⅰ1-5的直径与磁性圆棒Ⅱ2-3的直径相同，略小于定位凸台2-2的宽度。

定位凸台2-2与定位凹槽1-4通过插入式配合，将圆台1与压盖2连接在一起，载样网放置孔1-1的圆心与观察孔2-4的圆心一一对应，定位凸台2-2与定位凹槽1-4之间的连接是间隙配合，配合间隙不大于0.2mm。

由于定位凹槽1-4和定位凸台2-2的准确配合其形状带有方向性，且观察孔2-4的直径比载样网放置孔1-1的直径小1.2mm，结合载样网放置孔1-1的直径为3.4mm-3.6mm、常用标准载样网的直径为3.05mm、定位凸台2-2与定位凹槽1-4之间的配合间隙不大于0.2mm，可以保证压盖2对载样网的圆周边进行准确遮挡，由于观测孔2-4的直径小于载样网的直径，可有效解决样品台移过程中载样网易脱落的问题，并且不影响对载样网上样品的观测效果，经扫描电镜测试后的带有样品的载物网还可用于其他方面的测试表征，提高了科研人员的工作效率。

圆台1和压盖2(除磁性圆棒外)均采用黄铜材料如H95制造，具有一定的硬度，加工性、导电性、导热性好，不会对扫描电镜造成损伤，也不会影响样品的测试效果。

测试完成后，先将压盖2取下，然后可以将摄子进入工具水平进出槽1-2或工具竖直进出槽1-3中，夹紧载样网，移离载样网放置孔1-1，快捷方便，工作效率高。

本实用新型构思新颖，结构巧妙，操作方便，既节约了导电胶带和导电胶水，又排列有序地将载样网放置的牢固可靠，不会脱落，装取快捷方便，测试效果好，工作效率高。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，而其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，都包含在本实用新型保护范围之内。

Claims (8)

1.载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，包括圆台(1)和压盖(2)，其特征在于：

所述的圆台(1)呈圆柱形，包括载样网放置孔(1-1)、工具水平进出槽(1-2)、工具竖直进出槽(1-3)、定位凹槽(1-4)和磁性圆棒Ⅰ(1-5)，所述的载样网放置孔(1-1)呈圆孔形在圆台(1)上部沿圆周均匀分布，载样网放置孔(1-1)靠近圆台(1)边缘的位置设有工具水平进出槽(1-2)，所述工具水平进出槽(1-2)是一种矩形凹槽，工具水平进出槽(1-2)的中心线指向载样网放置孔(1-1)的圆心，工具水平进出槽(1-2)的一端在圆台(1)边沿，另一端在载样网放置孔(1-1)内，工具水平进出槽(1-2)的深度大于载样网放置孔(1-1)的深度，所述的工具竖直进出槽(1-3)设在载样网放置孔(1-1)的圆周外部，每个载样网放置孔(1-1)上设有两个工具竖直进出槽(1-3)且关于载样网放置孔(1-1)的圆心对称分布，工具竖直进出槽(1-3)中心线的连线与工具水平进出槽(1-2)的中心线垂直，工具竖直进出槽(1-3)的深度与载样网放置孔(1-1)的深度相同，所述圆台(1)的中心设有定位凹槽(1-4)，所述定位凹槽(1-4)的截面呈一端为圆弧状的类矩形，在定位凹槽(1-4)的中心下部嵌有磁性圆棒Ⅰ(1-5)，所述的磁性圆棒Ⅰ(1-5)的上端面与定位凹槽(1-4)的底面水平高度相同，磁性圆棒Ⅰ(1-5)与圆台(1)的主体通过过盈配合连接在一起；

所述的压盖(2)包括盖板(2-1)、定位凸台(2-2)、磁性圆棒Ⅱ(2-3)和观察孔(2-4)，所述的盖板(2-1)位于压盖(2)的上部，所述的定位凸台(2-2)位于压盖(2)的下部，盖板(2-1)与定位凸台(2-2)一体成形，所述的盖板(2-1)呈圆片状，圆片直径与圆台(1)的直径相同，圆片上沿圆周均匀分布有观察孔(2-4)，所述的定位凸台(2-2)形状与圆台(1)的定位凹槽(1-4)相同，所述的磁性圆棒Ⅱ(2-3)竖直嵌入定位凸台(2-2)中心的内部，磁性圆棒Ⅱ(2-3)的下端面与定位凸台(2-2)的下端面齐平，磁性圆棒Ⅱ(2-3)与定位凸台(2-2)通过过盈配合连接在一起；

所述的定位凸台(2-2)与定位凹槽(1-4)通过插入式配合，将圆台(1)与压盖(2)连接在一起，所述的载样网放置孔(1-1)的圆心与观察孔(2-4)的圆心一一对应。

2.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的载样网放置孔(1-1)的直径为3.4mm-3.6mm，深度为0.1mm-0.2mm。

3.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的观察孔(2-4)的直径比载样网放置孔(1-1)的直径小1.2mm。

4.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的定位凸台(2-2)与定位凹槽(1-4)之间的连接是间隙配合，配合间隙不大于0.2mm。

5.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的磁性圆棒Ⅰ(1-5)的直径与磁性圆棒Ⅱ(2-3)的直径相同。

6.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的工具水平进出槽(1-2)处于载样网放置孔(1-1)内的长度为1.25mm-1.4mm。

7.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的工具水平进出槽(1-2)的深度为2.1mm-2.3mm。

8.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，其特征在于：所述的载样网放置孔(1-1)两端的工具竖直进出槽(1-3)顶端端面之间的距离为6.2mm。

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