CN214845638U - 一种具有amp板卡的测试机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种具有AMP板卡的测试机，属于晶圆生产设备技术领域，包括测试机本体，在所述测试机本体内部安装有AMP板卡，在所述AMP板卡和测试机本体内壁之间设有一连接机构，所述连接机构包括开设在AMP板卡上的连接孔、固定连接测试机本体内壁上的连接柱和设置在连接柱上用于将AMP板卡锁紧在连接柱上的锁紧件，所述AMP板卡通过连接孔滑动连接在连接柱上，本实用新型具有方便了操作者对AMP板卡的安装和拆卸，减小对AMP板卡的损伤的优点。

Description

一种具有AMP板卡的测试机

技术领域

本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，特别是一种具有AMP板卡的测试机。

背景技术

晶圆是半导体芯片制造的载体，呈圆形，有4寸、6寸、8寸、12寸等尺寸，每片晶圆上有一定数量的芯片，每颗芯片可以在后续加工中做成封装芯片使用。晶圆测试顾名思义就是在芯片还在晶圆上时的早期测试，主要为了监督晶圆制造厂的良率，有了晶圆测试就可以筛选出早期失效的芯片，避免后期进入封装阶段后不必要的成本损失。

现有技术中，晶圆测试用AMP板卡通常通过电容充放电方式来烧断熔丝，主要原理是在探针卡端连接一个电容，且此电容与所有需要烧断的熔丝分别通过继电器相连，如果某个熔丝需要烧断，则AMP板卡通过程序选择与该熔丝对应的继电器导通，这样事先充电的电容就放电了，在放电过程中通过电流烧断该熔丝，达到熔断的目的。

现有的AMP板卡是直接通过螺丝直接固定在测试机本体内壁上，这种方式，在AMP板卡安装时，螺丝容易对AMP板卡造成损伤。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种具有AMP板卡的测试机，具有方便了操作者对AMP板卡的安装和拆卸，减小对AMP板卡的损伤的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种具有AMP板卡的测试机，包括测试机本体，在所述测试机本体内部安装有AMP板卡，在所述AMP板卡和测试机本体内壁之间设有一连接机构，所述连接机构包括开设在AMP板卡上的连接孔、固定连接测试机本体内壁上的连接柱和设置在连接柱上用于将AMP板卡锁紧在连接柱上的锁紧件，所述AMP板卡通过连接孔滑动连接在连接柱上。

进一步的，所述锁紧件包括固定连接在连接柱外壁上的锁紧环、安装在连接柱一端端面上的锁紧板和设置在锁紧板与连接柱之间用于将锁紧板锁紧在连接柱上的锁紧组件，所述AMP板卡抵紧在锁紧环上，所述锁紧板的一端抵紧在AMP板卡上。

进一步的，在所述锁紧环靠近AMP板卡的一侧侧壁上固定连接有第一橡胶垫。

进一步的，在所述锁紧板靠近AMP板卡的一端端面上固定连接有第二橡胶垫。

进一步的，所述锁紧组件包括开设在连接柱一端端面上的锁紧孔、固定连接在锁紧板一侧侧壁上的锁紧杆和设置在锁紧杆外壁与锁紧孔内壁之间的卡接件，所述锁紧杆一端滑动连接在锁紧孔中，所述卡接件用于将锁紧杆卡接在锁紧孔内壁上。

进一步的，所述卡接件包括开设在锁紧孔内壁上的第一槽、开设在第一槽一端内壁上的第二槽、开设在第一槽内壁上的第三槽、固定连接在锁紧杆一端外壁上的第一卡块、同轴转动连接在锁紧杆一端上的锁杆、固定连接在锁杆外壁上的第二卡块，所述第一槽沿着锁紧孔长度方向设置，所述第二槽和第三槽沿着锁紧孔内壁周向开设，所述第一卡块卡接在第三槽中，所述第二卡块卡接在第二卡槽中。

进一步的，所述第三槽的长度大于第二槽的长度。

进一步的，在所述第三槽内壁上固定连接有一橡胶凸块。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过第一卡块卡接在第三槽中，第二卡块卡接在第二槽中，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者将锁紧板锁紧在连接柱上，方便了操作者将AMP板卡锁紧在连接柱上。

2、本实用新型通过在锁紧板上固定第二橡胶垫，在锁紧环上固定第一橡胶垫，通过这样的设置，结构简单，操作方便，减小了对AMP板卡的磨损。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中连接机构的结构示意图

图中，1、测试机本体；2、AMP板卡；3、连接机构；4、连接孔；5、连接柱；6、锁紧件；7、锁紧环；8、锁紧板；9、锁紧组件；10、第一橡胶垫；11、第二橡胶垫；12、锁紧孔；13、锁紧杆；14、卡接件；15、第一槽；16、第二槽；17、第三槽；18、第一卡块；19、锁杆；20、第二卡块；21、橡胶凸块。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，一种具有AMP板卡的测试机，包括测试机本体1，在测试机本体1内部安装有AMP板卡2，在AMP板卡2和测试机本体1内壁之间设有一连接机构3。

如图1、图2所示，连接机构3包括连接柱5、连接孔4和锁紧件6，连接柱5固定连接在测试机本体1内壁上，连接孔4开设在AMP板卡2上，AMP板卡2通过连接孔4滑动连接在连接柱5上，锁紧件6设置在连接柱5上，锁紧件6用于将AMP板卡2锁紧在连接柱5上。

如图1、图2所示，锁紧件6包括锁紧环7、锁紧板8和锁紧组件9，锁紧环7固定连接在连接柱5外壁上，锁紧板8安装在连接柱5一端端面上，锁紧组件9设置在锁紧板8和连接柱5之间，锁紧组件9用于将锁紧板8锁紧在连接柱5一端端面上，锁紧板8在锁紧组件9的作用下抵紧在AMP板卡2上，AMP板卡2在锁紧板8的作用下抵紧在锁紧环7上。

如图1、图2所示，为了减小对AMP板卡2的磨损，在锁紧环7靠近AMP板卡2的一侧侧壁上固定连接有第一橡胶垫10，在锁紧板8靠近AMP板卡2的一侧侧壁上固定连接有第二橡胶垫11。

如图1、图2所示，锁紧组件9包括锁紧孔12、锁紧杆13和卡接件14，锁紧孔12开设在连接柱5一端端面上，锁紧孔12沿着连接柱5长度方向开设，锁紧杆13固定连接在锁紧板8上，锁紧杆13与锁紧板8呈同轴设置，卡接件14设置在锁紧杆13外壁和锁紧孔12内壁之间，卡接件14用于将锁紧杆13卡接在锁紧孔12内壁上。

如图1、图2所示，卡接件14包括第一槽15、第二槽16、第三槽17、第一卡块18、锁杆19和第二锁块，第一槽15开设在锁紧孔12内壁上，第一槽15沿着锁紧孔12轴向开设且第一槽15一端与外界连通，第二槽16开设在第一槽15一端内壁上，第二槽16沿着锁紧孔12内壁周向开设，第三槽17开设在第一槽15一侧内壁上，第三槽17沿着锁紧孔12内壁周向开设，第三槽17的长度大于第二槽16的长度，第一卡块18固定连接在锁紧杆13一端外壁上，锁杆19同轴转动连接在锁紧杆13一端端面上，第二卡块20固定连接在锁杆19外壁上，第一卡块18卡接在第三槽17中，第二卡块20卡接在第二槽16中。

如图1、图2所示，为了提高第一卡块18在第三槽17中的稳定性，在第三槽17内壁上固定连接有一橡胶凸块21。

本实用新型实施例的工作原理：将AMP板卡2滑动连接在连接柱5上，将锁紧杆13滑动进连接孔4中，转动锁紧板8，第一卡块18卡接在第三槽17中，第二卡块20卡接在第二槽16中，锁紧板8抵紧在AMP板卡2上，AMP板卡2抵紧在锁紧环7上。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、测试机本体；2、AMP板卡；3、连接机构；4、连接孔；5、连接柱；6、锁紧件；7、锁紧环；8、锁紧板；9、锁紧组件；10、第一橡胶垫；11、第二橡胶垫；12、锁紧孔；13、锁紧杆；14、卡接件；15、第一槽；16、第二槽；17、第三槽；18、第一卡块；19、锁杆；20、第二卡块；21、橡胶凸块等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (8)

1.一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，包括测试机本体(1)，在所述测试机本体(1)内部安装有AMP板卡(2)，在所述AMP板卡(2)和测试机本体(1)内壁之间设有一连接机构(3)，所述连接机构(3)包括开设在AMP板卡(2)上的连接孔(4)、固定连接测试机本体(1)内壁上的连接柱(5)和设置在连接柱(5)上用于将AMP板卡(2)锁紧在连接柱(5)上的锁紧件(6)，所述AMP板卡(2)通过连接孔(4)滑动连接在连接柱(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，所述锁紧件(6)包括固定连接在连接柱(5)外壁上的锁紧环(7)、安装在连接柱(5)一端端面上的锁紧板(8)和设置在锁紧板(8)与连接柱(5)之间用于将锁紧板(8)锁紧在连接柱(5)上的锁紧组件(9)，所述AMP板卡(2)抵紧在锁紧环(7)上，所述锁紧板(8)的一端抵紧在AMP板卡(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，在所述锁紧环(7)靠近AMP板卡(2)的一侧侧壁上固定连接有第一橡胶垫(10)。

4.根据权利要求2所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，在所述锁紧板(8)靠近AMP板卡(2)的一侧侧壁上固定连接有第二橡胶垫(11)。

5.根据权利要求2所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，所述锁紧组件(9)包括开设在连接柱(5)一端端面上的锁紧孔(12)、固定连接在锁紧板(8)一侧侧壁上的锁紧杆(13)和设置在锁紧杆(13)外壁与锁紧孔(12)内壁之间的卡接件(14)，所述锁紧杆(13)一端滑动连接在锁紧孔(12)中，所述卡接件(14)用于将锁紧杆(13)卡接在锁紧孔(12)内壁上。

6.根据权利要求5所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，所述卡接件(14)包括开设在锁紧孔(12)内壁上的第一槽(15)、开设在第一槽(15)一端内壁上的第二槽(16)、开设在第一槽(15)内壁上的第三槽(17)、固定连接在锁紧杆(13)一端外壁上的第一卡块(18)、同轴转动连接在锁紧杆(13)一端上的锁杆(19)、固定连接在锁杆(19)外壁上的第二卡块(20)，所述第一槽(15)沿着锁紧孔(12)长度方向设置，所述第二槽(16)和第三槽(17)沿着锁紧孔(12)内壁周向开设，所述第一卡块(18)卡接在第三槽(17)中，所述第二卡块(20)卡接在第二卡槽中。

7.根据权利要求6所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，所述第三槽(17)的长度大于第二槽(16)的长度。

8.根据权利要求7所述的一种具有AMP板卡的测试机，其特征在于，在所述第三槽(17)内壁上固定连接有一橡胶凸块(21)。

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