CN214830775U - 一种多坩埚晶体生长炉 - Google Patents

Abstract

一种多坩埚晶体生长炉，本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，箱体的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均固定有加热管，主动齿轮与相邻的从动转杆相互啮合，相邻的从动转杆相互啮合，位于箱体内的主动转杆和从动转杆上均套设固定有固定罩，固定罩上固定有导热固定管，导热固定管上的开口内设置有电动阀门，齿轮箱上固定有气泵，气泵的输出端上贯穿连接有导气管，导气管与齿轮箱贯穿设置，位于齿轮箱内的主动转杆和从动转杆上均开设有导气口，导热固定管内活动设置有坩埚，坩埚的下端穿过箱体后，固定有隔热块，设计合理，能够单独对一个坩埚进行操作，坩埚受热更均匀，方便安装和抽出坩埚。

Description

一种多坩埚晶体生长炉

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，具体涉及一种多坩埚晶体生长炉。

背景技术

为了提高晶体生长效率，人工晶体生长领域多采用多工位坩埚下降晶体生长炉生长晶体，这些多工位晶体生长炉均具有统一下降平台，在晶体生长时各工位坩埚的下降和上升是同步进行的，然而在晶体生长过程中，经常会出现某一或某几个工位晶体生长发生漏埚等问题，为了避免影响其它工位晶体的正常生长以及大量漏埚损坏晶体生长炉，应当对发生问题的工位采取单独停炉的措施，然而，目前的多工位晶体生长炉均无法完成晶体生长工位联动控制和独立控制的转换，因此，这种多工位晶体生长炉的某一工位出现漏埚的情况时，要么需等所有工位生长结束后才能处理问题工位，易造成损伤晶体生长炉的情况，要么需将全部工位同时停炉，造成正常工位的晶体生长提前结束的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供了一种多坩埚晶体生长炉，设计合理，能够单独对一个坩埚进行操作，坩埚受热更均匀，方便安装和抽出坩埚。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：它包含箱体和支脚，箱体底部固定有支脚；它还包含加热管、齿轮箱、旋转电机、主动转杆、从动转杆、主动齿轮、从动齿轮、固定罩、导热固定管、电动阀门、气泵、导气管、坩埚和隔热块，箱体的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均固定有加热管，箱体上固定有齿轮箱，齿轮箱上利用固定架固定有旋转电机，旋转电机的输出轴利用联轴器与主动转杆的一端固定，主动转杆的另一端穿过齿轮箱和箱体后，伸设在箱体内，从动转杆的一端利用轴承插设在齿轮箱顶部，从动转杆的另一端穿过齿轮箱和箱体后，伸设在箱体内，主动转杆上套设固定有主动齿轮，从动转杆上套设固定有从动齿轮，主动齿轮与相邻的从动齿轮相互啮合，相邻的从动齿轮相互啮合，位于箱体内的主动转杆和从动转杆上均套设固定有固定罩，固定罩上固定有导热固定管，导热固定管上的开口内设置有电动阀门，齿轮箱上固定有气泵，气泵的输出端上贯穿连接有导气管，导气管与齿轮箱贯穿设置，位于齿轮箱内的主动转杆和从动转杆上均开设有导气口，导热固定管内活动设置有坩埚，坩埚的下端穿过箱体后，固定有隔热块，加热管、旋转电机、电动阀门和气泵均外接电源。

优选地，隔热块上固定有把手。

优选地，支脚底部固定有橡胶防滑脚垫。

优选地，导热固定管上开设有活动卡槽，坩埚上开设有活动槽，活动槽内左右对应活动设置有卡块，卡块活动设置在活动卡槽内，左右对应的卡块之间设置有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种多坩埚晶体生长炉，设计合理，能够单独对一个坩埚进行操作，坩埚受热更均匀，方便安装和抽出坩埚。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中A部放大图。

图3是本实用新型中活动卡槽、活动槽、卡块和弹簧的连接结构示意图。

附图标记说明：

箱体1、支脚2、加热管3、齿轮箱4、旋转电机5、主动转杆6、从动转杆7、主动齿轮8、从动齿轮9、固定罩10、导热固定管11、电动阀门12、气泵13、导气管14、导气口15、坩埚16、隔热块17、把手18、橡胶防滑脚垫19、活动卡槽20、活动槽21、卡块22、弹簧23。

具体实施方式：

下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，以描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图3所示，本具体实施方式采用如下技术方案：它包含箱体1和支脚2，箱体1底部铆接固定有支脚2，支脚2底部铆接固定有橡胶防滑脚垫19；它还包含加热管3、齿轮箱4、旋转电机5、主动转杆6、从动转杆7、主动齿轮8、从动齿轮9、固定罩10、导热固定管11、电动阀门12、气泵13、导气管14、坩埚16和隔热块17，箱体1的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均铆接固定有加热管3，箱体1上铆接固定有齿轮箱4，齿轮箱4上利用固定架固定有旋转电机5，旋转电机5的输出轴利用联轴器与主动转杆6的一端固定，主动转杆6的另一端穿过齿轮箱4和箱体1后，伸设在箱体1内，从动转杆7的一端利用轴承插设在齿轮箱4顶部，从动转杆7的另一端穿过齿轮箱4和箱体1后，伸设在箱体1内，主动转杆6上套设固定有主动齿轮8，从动转杆7上套设固定有从动齿轮9，主动齿轮8与相邻的从动齿轮9相互啮合，相邻的从动齿轮9相互啮合，位于箱体1内的主动转杆6和从动转杆7上均套设固定有固定罩10，固定罩10上铆接固定有导热固定管11，导热固定管11上的开口内设置有电动阀门12，齿轮箱4上铆接固定有气泵13，气泵13的输出端上贯穿连接有导气管14，导气管14与齿轮箱4贯穿设置，位于齿轮箱4内的主动转杆6和从动转杆7上均开设有导气口15，导热固定管11内活动设置有坩埚16，导热固定管11上开设有活动卡槽20，坩埚16上开设有活动槽21，活动槽21内左右对应活动设置有卡块22，卡块22活动设置在活动卡槽20内，左右对应的卡块22之间设置有弹簧23，坩埚16的下端穿过箱体1后，铆接固定有隔热块17，隔热块17上铆接固定有把手18，加热管3、旋转电机5、电动阀门12和气泵13均外接电源。

本具体实施方式的工作原理：将安装坩埚16时，按压卡块22，弹簧23收缩，将卡块22收入坩埚16内，将坩埚16穿过箱体1底部的开口插入导热固定管11内，启动该导热固定管11内的电动阀门12，启动气泵13抽气，从而带动坩埚16顺着导热固定管11上移，当坩埚16移动至导热固定管11最上端时，握住把手18，旋转把手18，从而带动坩埚16旋转，弹簧23回弹，卡块22卡入活动卡槽20，进一步固定坩埚16，随后关闭电动阀门12，启动加热管3对坩埚16进行加热，启动旋转电机5带动主动转杆6旋转，主动转杆6带动主动齿轮8旋转，主动齿轮8啮合从动齿轮9旋转，从而带动导热固定管11旋转，对坩埚16进行全方位的加热，需要拆下坩埚16时，关闭气泵13，启动该坩埚16对应的电动阀门12，旋转坩埚16，带动卡块22收入坩埚16，随后坩埚16顺着导热固定管11下降，方便取出。

采用上述结构后，本具体实施方式的有益效果如下：

1、加热管3、齿轮箱4、旋转电机5、主动转杆6、从动转杆7、主动齿轮8、从动齿轮9、固定罩10和导热固定管11的配合，方便旋转坩埚16，实现全方位均匀受热；

2、电动阀门12、气泵13、导气管14和导气口15的配合，方便安装拆卸坩埚16；

3、把手18方便取放坩埚16；

4、橡胶防滑脚垫19增加摩擦力；

5、卡槽20、活动槽21、卡块22和弹簧23的配合，进一步固定坩埚16。对于本领域的技术人员来说，其可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改、部分技术特征的等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种多坩埚晶体生长炉，它包含箱体(1)和支脚(2)，箱体(1)底部固定有支脚(2)；其特征在于：它还包含加热管(3)、齿轮箱(4)、旋转电机(5)、主动转杆(6)、从动转杆(7)、主动齿轮(8)、从动齿轮(9)、固定罩(10)、导热固定管(11)、电动阀门(12)、气泵(13)、导气管(14)、坩埚(16)和隔热块(17)，箱体(1)的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均固定有加热管(3)，箱体(1)上固定有齿轮箱(4)，齿轮箱(4)上利用固定架固定有旋转电机(5)，旋转电机(5)的输出轴利用联轴器与主动转杆(6)的一端固定，主动转杆(6)的另一端穿过齿轮箱(4)和箱体(1)后，伸设在箱体(1)内，从动转杆(7)的一端利用轴承插设在齿轮箱(4)顶部，从动转杆(7)的另一端穿过齿轮箱(4)和箱体(1)后，伸设在箱体(1)内，主动转杆(6)上套设固定有主动齿轮(8)，从动转杆(7)上套设固定有从动齿轮(9)，主动齿轮(8)与相邻的从动齿轮(9)相互啮合，相邻的从动齿轮(9)相互啮合，位于箱体(1)内的主动转杆(6)和从动转杆(7)上均套设固定有固定罩(10)，固定罩(10)上固定有导热固定管(11)，导热固定管(11)上的开口内设置有电动阀门(12)，齿轮箱(4)上固定有气泵(13)，气泵(13)的输出端上贯穿连接有导气管(14)，导气管(14)与齿轮箱(4)贯穿设置，位于齿轮箱(4)内的主动转杆(6)和从动转杆(7)上均开设有导气口(15)，导热固定管(11)内活动设置有坩埚(16)，坩埚(16)的下端穿过箱体(1)后，固定有隔热块(17)，加热管(3)、旋转电机(5)、电动阀门(12)和气泵(13)均外接电源。

2.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：隔热块(17)上固定有把手(18)。

3.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：支脚(2)底部固定有橡胶防滑脚垫(19)。

4.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：导热固定管(11)上开设有活动卡槽(20)，坩埚(16)上开设有活动槽(21)，活动槽(21)内左右对应活动设置有卡块(22)，卡块(22)活动设置在活动卡槽(20)内，左右对应的卡块(22)之间设置有弹簧(23)。

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