CN214817689U - 一种cmp抛光设备用抛光垫 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及抛光垫技术领域，且公开了一种CMP抛光设备用抛光垫，包括安装板，安装板的顶端固定连接有橡胶套环，橡胶套环的顶端套接有抛光垫本体，橡胶套环与抛光垫本体之间设置有四个固定机构；四个固定机构均包括插槽、固定杆和固定螺丝，四个插槽环形等距开设在橡胶套环顶部的外侧，四个固定杆环形等距设置在抛光垫本体的外侧，四个固定螺丝分别螺纹套设在四个固定杆的一端。该CMP抛光设备用抛光垫，通过固定机构的设计，利用固定机构将抛光垫本体安装至安装板上，之后再通过连接块实现抛光垫本体与CMP抛光设备之间连接安装，此方式提高了抛光垫本体拆装更换时的便捷性，保证了CMP抛光设备的抛光工作。

Description

一种CMP抛光设备用抛光垫

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种CMP抛光设备用抛光垫。

背景技术

现有的CMP抛光设备在安装抛光垫使用时，其抛光垫通常通过粘合或通过外部设备进行安装固定，此方式虽然安装简单，但在拆卸更换抛光垫时，也相应增加了用户更换抛光垫的时间，一定程度上影响了CMP抛光设备的抛光工作。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种CMP抛光设备用抛光垫，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种CMP抛光设备用抛光垫，包括安装板，所述安装板的顶端固定连接有橡胶套环，所述橡胶套环的顶端套接有抛光垫本体，所述橡胶套环与抛光垫本体之间设置有四个固定机构；

四个所述固定机构均包括插槽、固定杆和固定螺丝，四个所述插槽环形等距开设在橡胶套环顶部的外侧，四个所述固定杆环形等距设置在抛光垫本体的外侧，四个所述固定螺丝分别螺纹套设在四个固定杆的一端。

优选的，四个所述固定杆分别插接在四个插槽的内部，四个所述固定螺丝的一侧均与橡胶套环的外侧贴合。

优选的，所述抛光垫本体环形等距开设有四个限位槽，四个所述限位槽的内部均滑动套设有限位块，四个所述限位块的一侧分别与四个固定杆的另一端固定连接。

优选的，所述限位块的另一侧固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的一端与限位槽内腔的一侧固定连接。

优选的，所述橡胶套环内腔的底端环形等距固定连接有四个定位杆，所述抛光垫本体的底端环形等距开设有四个定位槽，四个所述定位杆分别插接在四个定位槽的内部。

优选的，所述抛光垫本体的顶端等距开设有多个导液槽，所述安装板的底端固定连接有连接块，所述连接块的底端开设有安装孔。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种CMP抛光设备用抛光垫，具备以下有益效果：

1、该CMP抛光设备用抛光垫，通过固定机构的设计，在CMP抛光设备需要安装抛光垫本体进行抛光工作时，操作人员可利用固定机构将抛光垫本体安装至安装板上，之后再通过连接块实现抛光垫本体与CMP抛光设备之间连接安装，此方式提高了抛光垫本体拆装更换时的便捷性，保证了CMP抛光设备的抛光工作；

2、该CMP抛光设备用抛光垫，通过橡胶套环与定位杆的设计，在将抛光垫本体安装至CMP抛光设备上，通过橡胶套环与抛光垫之间的套接以及定位杆与抛光垫本体之间的插接，有效避免了抛光垫本体在使用时其周边出现形变的情况。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型组合状态结构示意图；

图3为本实用新型图2中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型橡胶套环俯视图。

图中：1、安装板；2、橡胶套环；3、抛光垫本体；4、定位杆；5、连接块；6、定位槽；7、导液槽；8、插槽；9、限位槽；10、复位弹簧；11、限位块；12、固定杆；13、固定螺丝。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案，一种CMP抛光设备用抛光垫，包括安装板1，安装板1为圆形结构，安装板1的顶端固定连接有橡胶套环2，橡胶套环2的顶端套接有抛光垫本体3，通过橡胶套环2与抛光垫本体3之间的套接，以避免抛光垫本体3在使用时其周边出现形变的情况，橡胶套环2与抛光垫本体3之间设置有四个固定机构，橡胶套环2内腔的底端环形等距固定连接有四个定位杆4，抛光垫本体3的底端环形等距开设有四个定位槽6，四个定位杆4分别插接在四个定位槽6的内部，通过定位杆4与定位槽6之间的插接，以限制抛光垫本体3在橡胶套环2的安装位置。

四个固定机构均包括插槽8、固定杆12和固定螺丝13，四个插槽8环形等距开设在橡胶套环2顶部的外侧，四个固定杆12环形等距设置在抛光垫本体3的外侧，固定杆12为圆柱形结构，四个固定螺丝13分别螺纹套设在四个固定杆12的一端，四个固定杆12分别插接在四个插槽8的内部，四个固定螺丝13的一侧均与橡胶套环2的外侧贴合，通过固定螺丝13与固定杆12之间的螺纹连接，以实现固定杆12插入至插槽8内后的固定。

抛光垫本体3环形等距开设有四个限位槽9，四个限位槽9的内部均滑动套设有限位块11，四个限位块11的一侧分别与四个固定杆12的另一端固定连接，通过限位块11与限位槽9之间的滑动连接，以限制固定杆12在抛光垫本体3内的横向移动，限位块11的另一侧固定连接有复位弹簧10，参考附图2和附图3，此时复位弹簧10处于未受力状态，复位弹簧10的一端与限位槽9内腔的一侧固定连接，利用复位弹簧10的弹性势能，以实现固定杆12在抛光垫本体3内的伸缩。

抛光垫本体3的顶端等距开设有多个导液槽7，导液槽7设置为上端口径小于下端口径的锥形槽，锥形槽可产生一定的抽吸压力，进一步增加了抛光液的流动速度，提高了抛光的效率和质量，而且锥形槽可更好地储存抛光液，进一步节省了抛光液的流量，安装板1的底端固定连接有连接块5，连接块5的底端开设有安装孔，CMP抛光设备可通过连接块5以实现与安装板1之间的连接。

本装置的工作原理：参考附图1，操作人员分别逆时针转动四个固定螺丝13并将其从四个固定杆12上取下后，操作人员分别向抛光垫本体3方向按动四个固定杆12，固定杆12受力向抛光垫本体3内部移动，固定杆12移动带动限位块11向限位槽9内部移动，限位块11移动下使得复位弹簧10受力压缩，直至四个固定杆12完全移动至抛光垫本体3内。

操作人员将抛光垫本体3底端开设的四个定位槽6分别对准橡胶套环2内腔底端连接的四个定位杆4，在将抛光垫本体3放入至橡胶套环2内，且四个定位杆4分别插入四个定位槽6时，四个固定杆12分别与四个插槽8位置对应，之后在复位弹簧10的反弹力下推动限位块11移动，限位块11移动带动固定杆12从抛光垫本体3内移出，直至四个固定杆12分别插入至四个插槽8内，之后操作人员分别将四个固定螺丝13从固定杆12的一端插入并顺时针拧紧，此时即可实现将抛光垫本体3固定在橡胶套环2的内部，在操作人员通过连接块5将安装板1安装在CMP抛光设备上后，操作人员即可开启CMP抛光设备实施抛光工作。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种CMP抛光设备用抛光垫，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶端固定连接有橡胶套环(2)，所述橡胶套环(2)的顶端套接有抛光垫本体(3)，所述橡胶套环(2)与抛光垫本体(3)之间设置有四个固定机构；

四个所述固定机构均包括插槽(8)、固定杆(12)和固定螺丝(13)，四个所述插槽(8)环形等距开设在橡胶套环(2)顶部的外侧，四个所述固定杆(12)环形等距设置在抛光垫本体(3)的外侧，四个所述固定螺丝(13)分别螺纹套设在四个固定杆(12)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光垫，其特征在于：四个所述固定杆(12)分别插接在四个插槽(8)的内部，四个所述固定螺丝(13)的一侧均与橡胶套环(2)的外侧贴合。

3.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光垫，其特征在于：所述抛光垫本体(3)环形等距开设有四个限位槽(9)，四个所述限位槽(9)的内部均滑动套设有限位块(11)，四个所述限位块(11)的一侧分别与四个固定杆(12)的另一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种CMP抛光设备用抛光垫，其特征在于：所述限位块(11)的另一侧固定连接有复位弹簧(10)，所述复位弹簧(10)的一端与限位槽(9)内腔的一侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光垫，其特征在于：所述橡胶套环(2)内腔的底端环形等距固定连接有四个定位杆(4)，所述抛光垫本体(3)的底端环形等距开设有四个定位槽(6)，四个所述定位杆(4)分别插接在四个定位槽(6)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光垫，其特征在于：所述抛光垫本体(3)的顶端等距开设有多个导液槽(7)，所述安装板(1)的底端固定连接有连接块(5)，所述连接块(5)的底端开设有安装孔。

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