CN214809075U - 一种光刻胶树脂回收利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光刻胶生产设备技术领域，公开了一种光刻胶树脂回收利用装置，包括第一储液装置，第一储液装置的出液口连接有第一过滤装置，第一过滤装置的出液口连接有去脂装置，去脂装置的出液口连接有第二过滤装置，第二过滤装置的出液口连接有金属离子去除装置，金属离子去除装置的出液口连接有第二储液装置；去脂装置包括储液罐，储液罐两侧分别设有进液口和出液口，储液罐内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构；本实用新型解决了现有技术中光刻胶剥离液内树脂去除效率低、成本高、去除不彻底的问题。

Description

一种光刻胶树脂回收利用装置

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备技术领域，具体涉及一种光刻胶树脂回收利用装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，其是由溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分组成的对光敏感的混合液体；在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，进行光化学反应，经曝光、显影等过程，将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上，然后进行蚀刻等工艺加工，最终得到所需图像。

其中，感光树脂是惰性的聚合物，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂，给予光刻胶其机械和化学性质；在去除光刻胶的过程，主要是使用大量剥离液将剩余光刻胶充分溶解并带走，因此废剥离液中含有溶解和游离态的光刻胶成分，包括光刻胶中的酚醛树脂碎片，感光树脂等，剩余大部分都是有再利用价值的可回用组分。

为了节省资源和成本，需要对光刻胶废液进行回收利用，然而，目前的脱除抗蚀剂剥离液再生工艺中，对溶解的树脂或固体杂质脱除的前处理工艺仍存在效率低下、杂质脱除不彻底等缺陷，尤其是对溶解的树脂的回收过程非常繁琐。因此，寻求一种低成本、效率高、装置稳定性高的光刻胶树脂回收利用装置，是亟需解决的问题

实用新型内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种低成本、效率高、装置稳定性好的光刻胶树脂回收利用装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种光刻胶树脂回收利用装置，包括第一储液装置，第一储液装置的出液口通过泵连接有第一过滤装置，第一过滤装置的出液口连接有去脂装置，去脂装置的出液口连接有第二过滤装置，第二过滤装置的出液口连接有金属离子去除装置，金属离子去除装置的出液口连接有第二储液装置；去脂装置包括储液罐，储液罐两侧分别设有进液口和出液口，储液罐内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构。

进一步地，吸脂机构包括一对竖直设置在储液罐内的吸脂板，任一吸脂板内均设有加热装置，两个吸脂板底端通过一水平设置的连接杆连接；吸脂机构还包括竖直设置在储液罐上的第一升降机构，第一升降机构与连接杆连接。

进一步地，第一升降机构包括竖直设置在储液罐上的气缸，气缸为多级气缸，气缸的气缸杆深入储液罐内部与连接杆连接，气缸杆设置在连接杆中间位置。

进一步地，刮脂机构包括两对竖直设置在吸脂板两侧的刮脂板，设在同一吸脂板两侧的两个刮脂板通过安装架连接，安装架呈矩形的框体结构，安装架设置在刮脂板顶端；任一刮脂板上均转动连接有刮脂槽，刮脂槽至少设有一个，任一刮脂板上均设有驱动刮脂槽在竖直面内旋转的驱动机构。

进一步地，刮脂槽水平设置，刮脂槽为纵截面四分之一圆的柱状机构，刮脂槽靠近吸脂板的一侧的平面设有开口，刮脂槽通过水平贯穿刮脂槽的转轴与刮脂板转动连接，转轴与刮脂槽的圆心同心设置。

进一步地，任一驱动机构均包括沿竖直方向与刮脂板滑动连接的驱动板，位于同一吸脂板两侧的驱动板通过两个连接柱固结，安装架上设有驱动驱动板上下移动的第二升降机构。

进一步地，第二升降机构包括竖直设置在安装架顶端的升降电机，升降电机的动力输出端连接有丝杆，两个驱动板之间的连接柱上均设有与丝杆配合的螺纹孔。

进一步地，储液罐为中空的圆形箱体结构，储液罐的进液口靠近储液罐顶面设置，出液口靠近储液罐的底面设置，储液罐顶面设有与第一升降机构和安装架配合的安装孔。

进一步地，转轴通过螺纹与刮脂板可拆卸连接。

进一步地，安装架通过螺栓与储液罐可拆卸连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

（1）本装置通过第一过滤装置过滤掉光刻胶剥离液内的游离态不溶物，然后将过滤液输送到去脂装置内，去脂装置的吸脂机构将溶解在光刻胶剥离液内的树脂析出并吸附在吸脂机构上，最后刮脂机构将吸附在吸脂机构上的树脂刮除、收集；吸脂机构和刮脂机构的设置能够快速有效地将溶解在光刻胶剥离液内的树脂去除，配合过滤装置去除游离态的树脂，从而达到树脂去除效果好、效率高，装置运行稳定的效果。

（2）吸脂机构通过在吸脂板内设加热装置的方式析出光刻胶剥离液内的树脂，吸脂板为竖直设置的板状结构，能够有效增大吸脂板与光刻胶剥离液的接触面积，有效提高了树脂析出的效率。

（3）刮脂机构包括设置在吸脂板两侧的刮脂板，刮脂板上设有刮脂槽和驱动刮脂槽旋转的驱动机构，自然状态下，刮脂槽在自身重力的作用下刮脂槽的开口呈倾斜设置，此时吸脂板可以穿过两刮脂槽之间的缝隙上升，需要刮脂时，驱动机构驱动刮脂槽旋转至刮脂槽的开口水平，此时两刮脂槽之间的缝隙与吸脂板的厚度相同，吸脂板向下运动，刮脂槽将吸脂板上吸附的树脂刮除并储存在刮脂槽内，从而实现快速有效地将树脂刮除和储存的效果。

（4）刮脂槽通过转轴与刮脂板转动连接，转轴从一侧插入刮脂板并通过螺纹与刮脂板连接，当需要清理刮脂槽内的树脂时，只需拔下转轴，取出刮脂槽并进行清理即可，这一过程进行时可将状态良好的刮脂槽换上，装置无需停机。

附图说明

图1为本实用新型的整体示意图；

图2为去脂装置的三维结构示意图；

图3为去脂装置的内部结构示意图；

图4为刮脂结构的三维结构示意图；

图5为转轴与刮脂槽配合的三维结构示意图。

图中：第一储液装置1，泵2，第一过滤装置3，去脂装置4，第二过滤装置5，金属离子去除装置6，第二储液装置7，储液罐8，驱动板9，升降电机10，丝杆11，气缸12，刮脂板13，刮脂槽14，转轴15，吸脂板16，气缸杆17，连接杆18。

具体实施方式

为了使本领域技术人员能够更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步的解释说明。

实施例1

参见图1，一种光刻胶树脂回收利用装置，包括第一储液装置1，第一储液装置1的出液口通过泵2连接有第一过滤装置3，第一过滤装置3的出液口连接有去脂装置4，去脂装置4的出液口连接有第二过滤装置5，第二过滤装置5的出液口连接有金属离子去除装置6，金属离子去除装置6的出液口连接有第二储液装置7；参见图2和图3，去脂装置4包括储液罐8，储液罐8为中空的圆形箱体结构，储液罐8两侧分别设有进液口和出液口，储液罐8的进液口靠近储液罐8顶面设置，出液口靠近储液罐8的底面设置，储液罐8内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构。

参见图2和图3，吸脂机构包括一对竖直设置在储液罐8内的吸脂板16，吸脂板16为竖直设置的矩形板，任一吸脂板16内均设有加热装置，两个吸脂板16底端通过一水平设置的连接杆18连接；吸脂机构还包括竖直设置在储液罐8上的第一升降机构，第一升降机构与连接杆18连接；第一升降机构包括竖直设置在储液罐8上的气缸12，气缸12为多级气缸12，气缸12的气缸杆17深入储液罐8内部与连接杆18连接，气缸杆17设置在连接杆18中间位置，储液罐8上设有与气缸杆17配合的安装孔。

参见图4，刮脂机构包括两对竖直设置在吸脂板16两侧的刮脂板13，设在同一吸脂板16两侧的两个刮脂板13通过安装架连接，安装架呈矩形的框体结构，安装架水平设置在刮脂板13顶端，安装架通过螺栓与储液罐8可拆卸连接，储液罐8顶面设有与安装架配合的安装孔；任一刮脂板13上均转动连接有刮脂槽14，刮脂槽14均布有三个；参见图5，刮脂槽14水平设置，刮脂槽14为纵截面四分之一圆的柱状机构，刮脂槽14靠近吸脂板16的一侧的平面设有开口，刮脂槽14的开口朝向吸脂板16设置，刮脂槽14通过水平贯穿刮脂槽14的转轴15与刮脂板13转动连接，转轴15与刮脂槽14的圆心同心设置，转轴15从刮脂板13一侧插入刮脂板13并通过螺纹与刮脂板13可拆卸连接；初始位置时，刮脂槽14在自身重力的作用下，刮脂槽14的开口与水平面呈45度角，刮脂操作时，驱动板9驱动刮脂槽14旋转，此时刮脂槽14的开口水平。

任一刮脂板13上均设有驱动刮脂槽14在竖直面内旋转的驱动机构；任一驱动机构均包括沿竖直方向与刮脂板13滑动连接的驱动板9，位于同一吸脂板16两侧的驱动板9通过两个连接柱固结，安装架上设有驱动驱动板9上下移动的第二升降机构；第二升降机构包括竖直设置在安装架顶端的升降电机10，升降电机10的动力输出端连接有丝杆11，两个驱动板9之间的连接柱上均设有与丝杆11配合的螺纹孔。

利用本实用新型去脂的过程为：

气缸12驱动吸脂板16进入光刻胶剥离液内，光刻胶剥离液内的树脂析出吸附在吸脂板16两侧面上；气缸12回缩驱动吸脂板16上升，吸脂板16穿过两侧刮脂板13上刮脂槽14形成的空隙上升至指定位置；升降电机10驱动驱动板9逐渐下降并推动刮脂槽14旋转，直至刮脂槽14的开口水平，此时吸脂板16两侧的刮脂槽14形成的间隙与吸脂板16的厚度相同；气缸12驱动吸脂板16下降，刮脂槽14刮除吸脂板16上的树脂并储存在刮脂槽14内，完成去脂。

实施例2

一种光刻胶树脂回收利用装置，与实施例1的区别仅在于，任一刮脂板13上均转动连接有两个刮脂槽14。

实施例3

一种光刻胶树脂回收利用装置，与实施例1的区别仅在于，任一刮脂板13上均转动连接有一个刮脂槽14。

Claims (10)

1.一种光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，包括第一储液装置，第一储液装置的出液口连接有第一过滤装置，第一过滤装置的出液口连接有去脂装置，去脂装置的出液口连接有第二过滤装置，第二过滤装置的出液口连接有金属离子去除装置，金属离子去除装置的出液口连接有第二储液装置；所述去脂装置包括储液罐，储液罐两侧分别设有进液口和出液口，储液罐内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构。

2.根据权利要求1所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述吸脂机构包括一对竖直设置在储液罐内的吸脂板，任一吸脂板内均设有加热装置，两个吸脂板底端通过连接杆连接；所述吸脂机构还包括竖直设置在储液罐上的第一升降机构，第一升降机构与连接杆连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述第一升降机构包括竖直设置在储液罐上的气缸，气缸的气缸杆深入储液罐内部与连接杆连接。

4.根据权利要求3所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述刮脂机构包括两对竖直设置在吸脂板两侧的刮脂板，设在同一吸脂板两侧的两刮脂板通过安装架连接；任一所述刮脂板上均转动连接有刮脂槽，任一刮脂板上均设有驱动刮脂槽旋转的驱动机构。

5.根据权利要求4所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述刮脂槽水平设置，刮脂槽为纵截面四分之一圆的柱状机构，刮脂槽靠近吸脂板的一侧设有开口，刮脂槽通过水平贯穿刮脂槽的转轴与刮脂板转动连接。

6.根据权利要求5所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，任一所述驱动机构均包括沿竖直方向与刮脂板滑动连接的驱动板，位于同一吸脂板两侧的驱动板通过连接柱固结，安装架上设有驱动驱动板上下移动的第二升降机构。

7.根据权利要求6所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述第二升降机构包括竖直设置在安装架顶端的升降电机，升降电机的动力输出端连接有丝杆，两个驱动板之间的连接柱上设有与丝杆配合的螺纹孔。

8.根据权利要求7所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述储液罐为中空的圆形箱体结构，储液罐的进液口靠近储液罐顶面设置，出液口靠近储液罐的底面设置，储液罐顶面设有与第一升降机构和安装架配合的安装孔。

9.根据权利要求8所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述转轴通过螺纹与刮脂板可拆卸连接。

10.根据权利要求9所述的光刻胶树脂回收利用装置，其特征在于，所述安装架通过螺栓与储液罐可拆卸连接。

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