CN214736058U - 一种直流磁控溅射电源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种直流磁控溅射电源，包括安装箱、磁控电源和温度感应器，所述安装箱内部配合设有温度感应器，所述安装箱内部位于温度感应器上方配合设有磁控电源，本实用新型通过控制装置、驱动装置、固定装置和散热装置的配合，极易简便工作人员的安装，节省大量的时间，同时联动装置通路，对装置进行全面通风散热处理，且通过温度感应器感应温度过高时，会带动第二电机反运行，将装置封闭，防止火势蔓延，同时驱动固定板解除磁控电源的固定，温度感应器带动磁控电源上移，使装置电路断路，防止装置继续运行造成严重后果，同时便于工作人员对温度感应器进行取出处理，将装置损坏程度降到最低化，安全性能高。

Description

一种直流磁控溅射电源

技术领域

本实用新型涉及磁控电源技术领域，具体为一种直流磁控溅射电源。

背景技术

直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现，电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。

直流磁控溅射带电源在使用过程中，在进行安装时花费工作人员极大的时间，安装效率慢，且磁控电源在使用过程中会产生热量，当热量过高时会损坏装置，严重时甚至会发生火灾，对人生安全造成威胁，为此，我们提出一种直流磁控溅射电源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于安装、安全性能高的直流磁控溅射电源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直流磁控溅射电源，包括安装箱、磁控电源和温度感应器，所述安装箱内部配合设有温度感应器，所述安装箱内部位于温度感应器上方配合设有磁控电源，所述安装箱内部位于磁控电源一侧配合设有可升降降温的散热装置，所述安装箱内部位于磁控电源下方配合设有可控制电路的控制装置，所述安装箱顶面远离散热装置一侧配合设有可驱动通风的驱动装置，所述安装箱顶面位于驱动装置下方配合连接有可稳定滑动的滑动装置，所述安装箱内部靠近滑动装置一侧配合连接有旋转固定的固定装置。

优选的，所述散热装置包括安装槽、第一电机、螺纹杆、滑动杆、滑动块、风机和通风孔，所述安装箱内部位于磁控电源一侧开设有安装槽，所述安装槽底面固定安装有第一电机，所述第一电机输出轴固定连接有螺纹杆，所述安装箱内部位于螺纹杆一侧固定安装有滑动杆，所述螺纹杆表面螺纹啮合连接有滑动块，且滑动块与滑动杆滑动穿接，所述滑动块侧面固定安装有风机，所述安装槽表面位于风机一侧配合均匀开设有通风孔。

优选的，所述控制装置包括底座、伸缩弹簧和微动开关，所述安装箱内部位于磁控电源下方设有底座，且底座与安装箱之间通过伸缩弹簧弹性连接。

优选的，所述安装箱内部位于底座中心配合设有微动开关。

优选的，所述驱动装置包括第二电机、驱动齿轮、齿板、转动齿轮、转动轴和转动板，所述安装箱内部一侧固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴固定连接有驱动齿轮，所述安装箱顶面上方配合设有齿板，且齿板与驱动齿轮啮合连接，所述安装箱一侧内部均匀转动安装有转动轴，所述转动轴端部固定安装有转动齿轮，且转动齿轮均与齿板啮合连接，所述转动轴表面固定安装有转动板。

优选的，所述转动板横截面呈平行四边形状。

优选的，所述滑动装置包括安装板、滑轮和方形槽，所述齿板底面均匀固定有安装板，所述安装板内部转动安装有滑轮，所述安装箱顶面位于滑轮下方配合开设有方形槽，且滑轮与方形槽滑动连接。

优选的，所述固定装置包括第一锥齿轮组、第一连接轴、第二轴齿轮组、第二连接轴、固定板和开口槽，所述安装箱顶面转动安装有第一连接轴，且第一连接轴与所述第二电机之间通过第一锥齿轮组传动连接，所述安装箱侧面内部转动安装有第二连接轴，且第二连接轴与第一连接轴之间通过第二轴齿轮组传动连接，所述第二连接轴表面固定安装有固定板，所述安装箱内部对应固定板位置开设有开口槽。

优选的，所述固定板表面呈半圆环状。

优选的，所述磁控电源表面配合开设有固定槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过控制装置、驱动装置、固定装置和散热装置的配合，极易简便工作人员的安装，节省大量的时间，同时联动装置通路，对装置进行全面通风散热处理，且通过温度感应器感应温度过高时，会带动第二电机反运行，将装置封闭，防止火势蔓延，同时驱动固定板解除磁控电源的固定，温度感应器带动磁控电源上移，使装置电路断路，防止装置继续运行造成严重后果，同时便于工作人员对温度感应器进行取出处理，将装置损坏程度降到最低化，安全性能高。

附图说明

图1为本实用新型整体结构三维示意图之一；

图2为本实用新型整体结构三维示意图之二；

图3为本实用新型剖视结构三维示意图；

图4为本实用新型散热装置结构示意图；

图5为本实用新型控制装置结构示意图；

图6为本实用新型驱动装置结构示意图；

图7为本实用新型转动板结构示意图；

图8为本实用新型滑动装置结构示意图；

图9为本实用新型固定装置结构示意图。

图中：1、安装箱；2、磁控电源；3、温度感应器；4、固定槽；5、散热装置；51、安装槽；52、第一电机；53、螺纹杆；54、滑动杆；55、滑动块；56、风机；57、通风孔；6、控制装置；61、底座；62、伸缩弹簧；63、微动开关；7、驱动装置；71、第二电机；72、驱动齿轮；73、齿板；74、转动齿轮；75、转动轴；76、转动板；8、滑动装置；81、安装板；82、滑轮；83、方形槽；9、固定装置；91、第一锥齿轮组；92、第一连接轴；93、第二轴齿轮组；94、第二连接轴；95、固定板；96、开口槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2和图3，图示中的一种直流磁控溅射电源，包括安装箱1、磁控电源2和温度感应器3，所述安装箱1内部配合设有温度感应器3，所述安装箱1内部位于温度感应器3上方配合设有磁控电源2，所述安装箱1内部位于磁控电源2一侧配合设有可升降降温的散热装置5，所述安装箱1内部位于磁控电源2下方配合设有可控制电路的控制装置6，所述安装箱1顶面远离散热装置5一侧配合设有可驱动通风的驱动装置7，所述安装箱1顶面位于驱动装置7下方配合连接有可稳定滑动的滑动装置8，所述安装箱1内部靠近滑动装置8一侧配合连接有旋转固定的固定装置9。

在使用此装置时，将磁控电源2放入安装箱1内，向下压动磁控电源2，通过压缩控制装置6使装置电路通路，从而带动驱动装置7运行，开启通风状态，同时驱动装置7带动固定装置9运行对配合固定槽4对磁控电源2进行固定，同时散热装置5运行对磁控电源2进行全面通风，当温度感应器3感应温度过高时，会带动第二电机71反运行，将装置封闭，防止着火后火势蔓延，同时驱动固定装置9解除磁控电源2的固定，压缩控制装置6带动磁控电源2上移，使装置电路断路，防止装置继续运行造成严重后果，同时便于工作人员对温度感应器3进行取出处理，将装置损坏程度降到最低化。

请参阅图4，所述散热装置5包括安装槽51、第一电机52、螺纹杆53、滑动杆54、滑动块55、风机56和通风孔57，所述安装箱1内部位于磁控电源2一侧开设有安装槽51，所述安装槽51底面固定安装有第一电机52，所述第一电机52输出轴固定连接有螺纹杆53，所述安装箱1内部位于螺纹杆53一侧固定安装有滑动杆54，所述螺纹杆53表面螺纹啮合连接有滑动块55，且滑动块55与滑动杆54滑动穿接，所述滑动块55侧面固定安装有风机56，所述安装槽51表面位于风机56一侧配合均匀开设有通风孔57。

通过第一电机52的运行带动螺纹杆53转动，滑动块55通过螺纹啮合转动在滑动杆54上滑动，从而带动风机56升降对磁控电源2进行全面降温处理。

请参阅图5，所述控制装置6包括底座61、伸缩弹簧62和微动开关63，所述安装箱1内部位于磁控电源2下方设有底座61，且底座61与安装箱1之间通过伸缩弹簧62弹性连接。

通过底座61带动伸缩弹簧62压缩，缓冲磁控电源2的压力的同时，在后续装置解除磁控电源2的固定时带动磁控电源2上移，将装置电路断路。

请参阅图5，所述安装箱1内部位于底座61中心配合设有微动开关63，控制装置电路断路与通路。

请参阅图6，所述驱动装置7包括第二电机71、驱动齿轮72、齿板73、转动齿轮74、转动轴75和转动板76，所述安装箱1内部一侧固定安装有第二电机71，所述第二电机71输出轴固定连接有驱动齿轮72，所述安装箱1顶面上方配合设有齿板73，且齿板73与驱动齿轮72啮合连接，所述安装箱1一侧内部均匀转动安装有转动轴75，所述转动轴75端部固定安装有转动齿轮74，且转动齿轮74均与齿板73啮合连接，所述转动轴75表面固定安装有转动板76。

通过第二电机71的运行带动驱动齿轮72转动，从而带动齿板73移动，齿板73带动转动齿轮74转动，从而带动转动轴75转动，转动轴75带动转动板76转动，控制装置的通风和封闭。

请参阅图7，所述转动板76横截面呈平行四边形状，便于转动板76之间的转动。

请参阅图8，所述滑动装置8包括安装板81、滑轮82和方形槽83，所述齿板73底面均匀固定有安装板81，所述安装板81内部转动安装有滑轮82，所述安装箱1顶面位于滑轮82下方配合开设有方形槽83，且滑轮82与方形槽83滑动连接。

通过安装板81上的滑轮82在方形槽83上滑动，提高了齿板73移动的稳定性。

请参阅图9，所述固定装置9包括第一锥齿轮组91、第一连接轴92、第二轴齿轮组93、第二连接轴94、固定板95和开口槽96，所述安装箱1顶面转动安装有第一连接轴92，且第一连接轴92与第二电机71之间通过第一锥齿轮组91传动连接，所述安装箱1侧面内部转动安装有第二连接轴94，且第二连接轴94与第一连接轴92之间通过第二轴齿轮组93传动连接，所述第二连接轴94表面固定安装有固定板95，所述安装箱1内部对应固定板95位置开设有开口槽96。

通过第二电机71的转动带动第一锥齿轮组91转动，从而带动第一连接轴92转动，第二轴齿轮组93通过传动连接带动第二连接轴94转动，进而带动转动轴75在开口槽96内转动，对磁控电源2进行固定。

请参阅图9，所述固定板95表面呈半圆环状，实现对磁控电源2的固定。

请参阅图1，所述磁控电源2表面配合开设有固定槽4，配合固定板95对磁控电源2进行固定。

工作原理：在使用此装置时，将磁控电源2放入安装箱1内，向下压动磁控电源2，通过压缩微动开关63使装置通路，通过第二电机71的运行带动驱动齿轮72转动，从而带动齿板73移动，齿板73带动转动齿轮74转动，从而带动转动轴75转动，转动轴75带动转动板76转动，开启通风状态，同时通过第二电机71的转动带动第一锥齿轮组91转动，从而带动第一连接轴92转动，第二轴齿轮组93通过传动连接带动第二连接轴94转动，进而带动固定板95在开口槽96内转动，固定板95的半圆环部分卡接至固定槽4内，从而对磁控电源2进行固定。

同时通过第一电机52的运行带动螺纹杆53转动，滑动块55通过螺纹啮合转动在滑动杆54上滑动，从而带动风机56升降对磁控电源2进行全面降温处理，当温度感应器3感应温度过高时，会带动第二电机71反运行，将装置封闭，防止着火后火势蔓延，同时驱动固定板95解除磁控电源2的固定，压缩控制装置6带动磁控电源2上移，使装置电路断路，防止装置继续运行造成严重后果，同时便于工作人员对温度感应器3进行取出处理，将装置损坏程度降到最低化。

本实用新型中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种直流磁控溅射电源，包括安装箱(1)、磁控电源(2)和温度感应器(3)，所述安装箱(1)内部配合设有温度感应器(3)，所述安装箱(1)内部位于温度感应器(3)上方配合设有磁控电源(2)，其特征在于：所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)一侧配合设有可升降降温的散热装置(5)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)下方配合设有可控制电路的控制装置(6)，所述安装箱(1)顶面远离散热装置(5)一侧配合设有可驱动通风的驱动装置(7)，所述安装箱(1)顶面位于驱动装置(7)下方配合连接有可稳定滑动的滑动装置(8)，所述安装箱(1)内部靠近滑动装置(8)一侧配合连接有旋转固定的固定装置(9)。

2.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述散热装置(5)包括安装槽(51)、第一电机(52)、螺纹杆(53)、滑动杆(54)、滑动块(55)、风机(56)和通风孔(57)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)一侧开设有安装槽(51)，所述安装槽(51)底面固定安装有第一电机(52)，所述第一电机(52)输出轴固定连接有螺纹杆(53)，所述安装箱(1)内部位于螺纹杆(53)一侧固定安装有滑动杆(54)，所述螺纹杆(53)表面螺纹啮合连接有滑动块(55)，且滑动块(55)与滑动杆(54)滑动穿接，所述滑动块(55)侧面固定安装有风机(56)，所述安装槽(51)表面位于风机(56)一侧配合均匀开设有通风孔(57)。

3.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述控制装置(6)包括底座(61)、伸缩弹簧(62)和微动开关(63)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)下方设有底座(61)，且底座(61)与安装箱(1)之间通过伸缩弹簧(62)弹性连接。

4.根据权利要求3所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述安装箱(1)内部位于底座(61)中心配合设有微动开关(63)。

5.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述驱动装置(7)包括第二电机(71)、驱动齿轮(72)、齿板(73)、转动齿轮(74)、转动轴(75)和转动板(76)，所述安装箱(1)内部一侧固定安装有第二电机(71)，所述第二电机(71)输出轴固定连接有驱动齿轮(72)，所述安装箱(1)顶面上方配合设有齿板(73)，且齿板(73)与驱动齿轮(72)啮合连接，所述安装箱(1)一侧内部均匀转动安装有转动轴(75)，所述转动轴(75)端部固定安装有转动齿轮(74)，且转动齿轮(74)均与齿板(73)啮合连接，所述转动轴(75)表面固定安装有转动板(76)。

6.根据权利要求5所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述转动板(76)横截面呈平行四边形状。

7.根据权利要求5所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述滑动装置(8)包括安装板(81)、滑轮(82)和方形槽(83)，所述齿板(73)底面均匀固定有安装板(81)，所述安装板(81)内部转动安装有滑轮(82)，所述安装箱(1)顶面位于滑轮(82)下方配合开设有方形槽(83)，且滑轮(82)与方形槽(83)滑动连接。

8.根据权利要求5所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述固定装置(9)包括第一锥齿轮组(91)、第一连接轴(92)、第二轴齿轮组(93)、第二连接轴(94)、固定板(95)和开口槽(96)，所述安装箱(1)顶面转动安装有第一连接轴(92)，且第一连接轴(92)与所述第二电机(71)之间通过第一锥齿轮组(91)传动连接，所述安装箱(1)侧面内部转动安装有第二连接轴(94)，且第二连接轴(94)与第一连接轴(92)之间通过第二轴齿轮组(93)传动连接，所述第二连接轴(94)表面固定安装有固定板(95)，所述安装箱(1)内部对应固定板(95)位置开设有开口槽(96)。

9.根据权利要求8所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述固定板(95)表面呈半圆环状。

10.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述磁控电源(2)表面配合开设有固定槽(4)。

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