CN214544095U - 一种单极性脉冲磁控溅射电源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单极性脉冲磁控溅射电源，包括安装箱和磁控电源，安装箱内部配合设有磁控电源，安装箱与磁控电源之间配合设有可稳定滑动的滑动装置，磁控电源顶面配合设有可控制固定的固定装置，安装箱内部位于磁控电源下方配合设有可移动散热的散热装置，本实用新型通过滑动磁控电源进行固定安装，极大的减少了工作人员的时间，提高了磁控电源的安装效率，同时驱动装置驱动散热装置运行，对磁控电源进行全面散热，驱动装置同时驱动清理装置运行，对磁控电源上方影响散热的灰尘杂质进行清理，极大的提高了磁控电源的散热能力，避免了磁控电源因过热造成损坏，规避不必要的经济浪费，同时提高了电源的安全性能。

Description

一种单极性脉冲磁控溅射电源

技术领域

本实用新型涉及磁控电源技术领域，具体为一种单极性脉冲磁控溅射电源。

背景技术

脉冲磁控溅射电源是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积。脉冲溅射可以有效地抑制电弧产生进而消除由此产生的薄膜缺陷，同时可以提高溅射沉积速率，降低沉积温度等一系列显著的优点，是溅射绝缘材料沉积的优选工艺过程。

在对磁控电池进行安装的过程中，由于磁控电池较大，难以安装，花费工作人员大量的时间，降低了磁控电源安装的效率，且容易由于安装失误导致磁控电池损坏，从而造成不必要的经济损失，为此，我们提出一种单极性脉冲磁控溅射电源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可快速安装、散热能力强的单极性脉冲磁控溅射电源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单极性脉冲磁控溅射电源，包括安装箱和磁控电源，所述安装箱内部配合设有磁控电源，所述安装箱与磁控电源之间配合设有可稳定滑动的滑动装置，所述磁控电源顶面配合设有可控制固定的固定装置，所述安装箱内部位于磁控电源下方配合设有可移动散热的散热装置，所述安装箱位于散热装置一侧配合设有可联动转动的驱动装置，所述安装箱内部位于磁控电源上方配合设有可防止灰尘堆集的清理装置；

所述滑动装置包括安装板、滑轮和滑动槽，所述磁控电源侧面对称固定有安装板，所述安装板上下表面均匀转动安装有滑轮，所述安装箱内部位于安装板对应位置开设有滑动槽，且滑轮与滑动槽滑动连接。

在滑动槽内壁顶部靠近外侧槽口的位置伸缩设置有第一卡块，在所述安装板上与所述第一卡块对应伸缩设置有第二卡块，所述第一卡块和所述第二卡块配合以阻止所述安装板滑出，所述安装板向上抬起挤压所述第一卡块和所述第二卡块以实现滑出。

所述固定装置包括固定板、固定杆、扭力弹簧和固定槽，所述磁控电源顶面固定安装有固定板，所述固定板内部转动安装有固定杆，且固定杆与固定板之间通过扭力弹簧弹性连接，所述安装箱内部对应固定杆位置开设有固定槽，且固定杆与固定槽之间配合卡接。

优选的，所述固定杆端部表面呈圆弧状。

优选的，所述散热装置包括滑动杆、螺纹杆、滑动块和风机，所述安装箱内部位于磁控电源下方转动安装有螺纹杆，所述安装箱内部位于螺纹杆一侧固定安装有滑动杆，所述螺纹杆表面螺纹啮合连接有滑动块，且滑动块与滑动杆滑动穿接，所述滑动块顶面固定安装有风机。

优选的，所述驱动装置包括电机、主动锥齿轮、从动锥齿轮、连接轴和第一齿轮，所述安装箱内部位于螺纹杆端部固定连接有电机，所述螺纹杆表面配合固定有主动锥齿轮，所述安装箱内部配合转动安装有连接轴，所述连接轴一端固定连接有从动锥齿轮，且从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述连接轴远离从动锥齿轮一端安装有第一齿轮。

优选的，所述清理装置包括安装槽、第二齿轮、齿板、清理板、滑动架、方形槽和开口槽，所述安装箱内部配合开设有第二齿轮，所述安装槽内部转动安装有第二齿轮，且所述第二齿轮与第一齿轮啮合连接，所述安装箱内部位于磁控电源上方设有齿板，且齿板与所述第二齿轮啮合连接，所述齿板底面固定安装有清理板。

优选的，所述齿板顶面固定安装有滑动架，所述安装箱内部配合开设有方形槽，且滑动架与方形槽滑动连接。

优选的，所述安装箱侧面对应齿板位置对称开设有开口槽。

优选的，所述安装箱顶面配合开设有通风孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过滑动装置和固定装置的配合，通过滑动磁控电源进行固定安装，极大的减少了工作人员的时间，提高了磁控电源的安装效率，同时驱动装置驱动散热装置运行，对磁控电源进行全面散热，驱动装置同时驱动清理装置运行，对磁控电源上方影响散热的灰尘杂质进行清理，极大的提高了磁控电源的散热能力，避免了磁控电源因过热造成损坏，规避不必要的经济浪费，同时提高了电源的安全性能。

附图说明

图1为本实用新型整体结构三维示意图之一；

图2为本实用新型整体结构三维示意图之二；

图3为本实用新型整体结构三维示意图之三；

图4为本实用新型整体结构三维示意图之四；

图5为本实用新型滑动装置结构示意图；

图6为本实用新型固定装置结构示意图；

图7为本实用新型散热装置结构示意图；

图8为本实用新型驱动装置结构示意图；

图9为本实用新型清理装置结构示意图；

图10为本实用新型的安装板与滑动槽的连接结构示意图。

图中：1、安装箱；2、磁控电源；3、滑动装置；31、安装板；311、第二卡块；32、滑轮；33、滑动槽；331、第一卡块；4、固定装置；41、固定板；42、固定杆；43、扭力弹簧；44、固定槽；5、散热装置；51、滑动杆；52、螺纹杆；53、滑动块；54、风机；6、驱动装置；61、电机；62、主动锥齿轮；63、从动锥齿轮；64、连接轴；65、第一齿轮；7、清理装置；71、第二齿轮；72、安装槽；73、齿板；74、清理板；75、滑动架；76、方形槽；77、开口槽；8、通风孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3和图4，图示中的一种单极性脉冲磁控溅射电源，包括安装箱1和磁控电源2，所述安装箱1内部配合设有磁控电源2，所述安装箱1与磁控电源2之间配合设有可稳定滑动的滑动装置3，所述磁控电源2顶面配合设有可控制固定的固定装置4，所述安装箱1内部位于磁控电源2下方配合设有可移动散热的散热装置5，所述安装箱1位于散热装置5一侧配合设有可联动转动的驱动装置6，所述安装箱1内部位于磁控电源2上方配合设有可防止灰尘堆集的清理装置7。

在使用此装置时，通过滑动装置3方便磁控电源2在安装箱1内滑动，通过固定装置4控制安装箱1与磁控电源2的固定，从而便于工作人员对磁控电源2进行安装固定，通过驱动装置6带动散热装置5运行对磁控电源2进行全面散热处理，同时驱动装置6驱动清理装置7运行，对磁控电源2上阻挡散热的灰尘杂质进行清理，从而提高了磁控电源2的散热能力，避免磁控电源2运行时间过长产生大量热量导致损坏，规避了不必要的经济浪费。

请参阅图5，所述滑动装置3包括安装板31、滑轮32和滑动槽33，所述磁控电源2侧面对称固定有安装板31，所述安装板31上下表面均匀转动安装有滑轮32，所述安装箱1内部位于安装板31对应位置开设有滑动槽33，且滑轮32与滑动槽33滑动连接。

通过安装板31上的滑轮32在滑动槽33内滑动，提高了磁控电源2在安装箱1内滑动的稳定性，便于磁控电源2进行安装。

请参照图10，在滑动槽33内壁顶部靠近外侧槽口的位置伸缩设置有第一卡块331，在所述安装板31上与所述第一卡块对应伸缩设置有第二卡块311，所述第一卡块331和所述第二卡块311配合以阻止所述安装板31滑出，所述安装板31向上抬起挤压所述第一卡块331和所述第二卡块311以实现滑出，这样使得磁控电源2不会过于容易滑出，导致意外损坏，同时需要从底部提起磁控电源2以使得挤压第一卡块331和所述第二卡块311，这样使得拆卸动作更稳当，会更稳定的对磁控电源2进行拆卸。

请参阅图6，所述固定装置4包括固定板41、固定杆42、扭力弹簧43和固定槽44，所述磁控电源2顶面固定安装有固定板41，所述固定板41内部转动安装有固定杆42，且固定杆42与固定板41之间通过扭力弹簧43弹性连接，所述安装箱1内部对应固定杆42位置开设有固定槽44，且固定杆42与固定槽44之间配合卡接。

通过转动固定杆42压缩扭力弹簧43产生弹性，当固定杆42进入固定槽44内时，通过扭力弹簧43的弹性带动固定杆42转动，从而使安装箱1与磁控电源2进行固定，方便工作人员进行安装处理。

请参阅图6，所述固定杆42端部表面呈圆弧状，便于固定杆42挤压固定槽44内时发生转动，便于安装箱1与磁控电源2之间固定。

请参阅图7，所述散热装置5包括滑动杆51、螺纹杆52、滑动块53和风机54，所述安装箱1内部位于磁控电源2下方转动安装有螺纹杆52，所述安装箱1内部位于螺纹杆52一侧固定安装有滑动杆51，所述螺纹杆52表面螺纹啮合连接有滑动块53，且滑动块53与滑动杆51滑动穿接，所述滑动块53顶面固定安装有风机54。

通过螺纹杆52的转动带动滑动块53在滑动杆51上滑动，从而带动风机54移动，对磁控电源2进行全面的散热处理。

请参阅图8，所述驱动装置6包括电机61、主动锥齿轮62、从动锥齿轮63、连接轴64和第一齿轮65，所述安装箱1内部位于螺纹杆52端部固定连接有电机61，所述螺纹杆52表面配合固定有主动锥齿轮62，所述安装箱1内部配合转动安装有连接轴64，所述连接轴64一端固定连接有从动锥齿轮63，且从动锥齿轮63与主动锥齿轮62啮合连接，所述连接轴64远离从动锥齿轮63一端安装有第一齿轮65。

通过电机61的转动带动螺纹杆52转动，同时带动主动锥齿轮62转动，从动锥齿轮63通过啮合转动带动连接轴64转动，从而带动第一齿轮65转动，从而同时驱动两个装置运行，减少了元器件的使用，增加了环保性，同时实现装置散热和清理联动自动化处理。

请参阅图9，所述清理装置7包括安装槽72、第二齿轮71、齿板73、清理板74、滑动架75、方形槽76和开口槽77，所述安装箱1内部配合开设有第二齿轮71，所述安装槽72内部转动安装有第二齿轮71，且所述第二齿轮71与第一齿轮65啮合连接，所述安装箱1内部位于磁控电源2上方设有齿板73，且齿板73与所述第二齿轮71啮合连接，所述齿板73底面固定安装有清理板74。

通过第一齿轮65的转动带动第二齿轮71转动，从而带动齿板73左右移动，进一步带动清理板74移动对磁控电源2上方的灰尘杂质进行清理，提高装置的散热性。

请参阅图9，所述齿板73顶面固定安装有滑动架75，所述安装箱1内部配合开设有方形槽76，且滑动架75与方形槽76滑动连接，通过滑动架75在方形槽76上滑动，提高了清理板74清理的稳定性。

请参阅图9，所述安装箱1侧面对应齿板73位置对称开设有开口槽77，方便齿板73进移动，配合清理板74对磁控电源2进行全面清理。

请参阅图1，所述安装箱1顶面配合开设有通风孔8，通过通风孔8对产生的热量进行排出，避免磁控电源2过热造成损坏。

工作原理：在使用此装置时，通过安装板31上的滑轮32在滑动槽33内滑动，提高了磁控电源2在安装箱1内滑动的稳定性，通过转动固定杆42压缩扭力弹簧43产生弹性，当固定杆42进入固定槽44内时，通过扭力弹簧43的弹性带动固定杆42转动，从而使安装箱1与磁控电源2进行固定，从而便于工作人员对磁控电源2进行安装固定。

通过电机61的转动带动螺纹杆52转动，通过螺纹杆52的转动带动滑动块53在滑动杆51上滑动，从而带动风机54移动，对磁控电源2进行全面的散热处理，同时带动主动锥齿轮62转动，从动锥齿轮63通过啮合转动带动连接轴64转动，从而带动第一齿轮65转动，通过第一齿轮65的转动带动第二齿轮71转动，从而带动齿板73左右移动，使得清理板74移动以对磁控电源2上阻挡散热的灰尘杂质进行清理，从而提高了磁控电源2的散热能力，避免磁控电源2运行时间过长产生大量热量导致损坏，规避了不必要的经济浪费。

本实用新型中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种单极性脉冲磁控溅射电源，包括安装箱(1)和磁控电源(2)，所述安装箱(1)内部配合设有磁控电源(2)，其特征在于：所述安装箱(1)与磁控电源(2)之间配合设有可稳定滑动的滑动装置(3)，所述磁控电源(2)顶面配合设有可控制固定的固定装置(4)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)下方配合设有可移动散热的散热装置(5)，所述安装箱(1)位于散热装置(5)一侧配合设有可联动转动的驱动装置(6)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)上方配合设有可防止灰尘堆集的清理装置(7)；

所述滑动装置(3)包括安装板(31)、滑轮(32)和滑动槽(33)，所述磁控电源(2)侧面对称固定有安装板(31)，所述安装板(31)上下表面均匀转动安装有滑轮(32)，所述安装箱(1)内部位于安装板(31)对应位置开设有滑动槽(33)，且滑轮(32)与滑动槽(33)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：在滑动槽(33)内壁顶部靠近外侧槽口的位置伸缩设置有第一卡块(331)，在所述安装板(31)上与所述第一卡块对应伸缩设置有第二卡块(311)，所述第一卡块(331)和所述第二卡块(311)配合以阻止所述安装板(31)滑出，所述安装板(31)向上抬起挤压所述第一卡块(331)和所述第二卡块(311)以实现滑出。

3.根据权利要求1所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述固定装置(4)包括固定板(41)、固定杆(42)、扭力弹簧(43)和固定槽(44)，所述磁控电源(2)顶面固定安装有固定板(41)，所述固定板(41)内部转动安装有固定杆(42)，且固定杆(42)与固定板(41)之间通过扭力弹簧(43)弹性连接，所述安装箱(1)内部对应固定杆(42)位置开设有固定槽(44)，且固定杆(42)与固定槽(44)之间配合卡接。

4.根据权利要求3所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述固定杆(42)端部表面呈圆弧状。

5.根据权利要求1所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述散热装置(5)包括滑动杆(51)、螺纹杆(52)、滑动块(53)和风机(54)，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)下方转动安装有螺纹杆(52)，所述安装箱(1)内部位于螺纹杆(52)一侧固定安装有滑动杆(51)，所述螺纹杆(52)表面螺纹啮合连接有滑动块(53)，且滑动块(53)与滑动杆(51)滑动穿接，所述滑动块(53)顶面固定安装有风机(54)。

6.根据权利要求5所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述驱动装置(6)包括电机(61)、主动锥齿轮(62)、从动锥齿轮(63)、连接轴(64)和第一齿轮(65)，所述安装箱(1)内部位于螺纹杆(52)端部固定连接有电机(61)，所述螺纹杆(52)表面配合固定有主动锥齿轮(62)，所述安装箱(1)内部配合转动安装有连接轴(64)，所述连接轴(64)一端固定连接有从动锥齿轮(63)，且从动锥齿轮(63)与主动锥齿轮(62)啮合连接，所述连接轴(64)远离从动锥齿轮(63)一端安装有第一齿轮(65)。

7.根据权利要求6所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述清理装置(7)包括安装槽(72)、第二齿轮(71)、齿板(73)、清理板(74)、滑动架(75)、方形槽(76)和开口槽(77)，所述安装箱(1)内部配合开设有第二齿轮(71)，所述安装槽(72)内部转动安装有第二齿轮(71)，且所述第二齿轮(71)与第一齿轮(65)啮合连接，所述安装箱(1)内部位于磁控电源(2)上方设有齿板(73)，且齿板(73)与所述第二齿轮(71)啮合连接，所述齿板(73)底面固定安装有清理板(74)。

8.根据权利要求7所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述齿板(73)顶面固定安装有滑动架(75)，所述安装箱(1)内部配合开设有方形槽(76)，且滑动架(75)与方形槽(76)滑动连接。

9.根据权利要求7所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述安装箱(1)侧面对应齿板(73)位置对称开设有开口槽(77)。

10.根据权利要求1所述的一种单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述安装箱(1)顶面配合开设有通风孔(8)。

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