CN214672525U - 一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括装置外壳，所述装置外壳的顶部设置有风机，所述风机的出风口连通有风管。本实用新型，电机带动牵引轴进行转动，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的，使得装置能够对单晶硅本体进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机将风通过风管输送至装置外壳的内部，再由透风板输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境，提高了装置的工作效率，使得装置能够进行高效的对单晶刻蚀。

Description

一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置

技术领域

本实用新型涉及刻蚀装置技术领域，尤其涉及一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置。

背景技术

传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

但是现有技术中，现有的传感器在制造过程中需要使用到单晶硅，然而单晶硅在刻蚀的过程中，如果装置在刻蚀过程中没有进行良好对的通风则会导致硅体产生黑边，且装置在刻蚀过程中如若发生抖动，可能导致硅体的某些部位刻蚀不足，以及黑边现象，且单晶硅在刻蚀的过程中所需液体的温度需在5-10度之间，温度过高则会损害硅体。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，包括装置外壳，所述装置外壳的顶部设置有风机，所述风机的出风口连通有风管，且风管的一端延伸至装置外壳得到内部，所述装置外壳的一侧外表面固定有透风板，所述装置外壳的内部前表壁与后表壁之间滑动有多个滚轮，多个所述滚轮的两端均固定有转杆，多个所述转杆共分为两组，一组多个所述转杆的一端均与装置外壳的内部前表壁滑动嵌设，另一组多个所述转杆的一端均与装置外壳的内部后表壁滑动嵌设，多个所述滚轮的顶部之间放置有多个单晶硅本体，所述装置外壳的底部设置有刻蚀液体，所述装置外壳的内部底面固定有金属板，所述装置外壳的后表面固定有防护外壳，所述防护外壳的内部设置有电机，所述电机的输出轴固定有牵引轴，所述牵引轴的外表面与一个所述滚轮的外表面之间滑动套设有牵引绳，多个所述滚轮的两端之间均滑动套设有衔接绳。

作为一种优选的实施方式，所述装置外壳的一侧外面设置有进料口，所述装置外壳的另一侧外表面设置有出料口。

作为一种优选的实施方式，所述装置外壳的底部固定有冷凝箱，所述冷凝箱的内部底面开设有多个方形槽。

作为一种优选的实施方式，多个所述方形槽的内部均设置有散热扇，所述冷凝箱的两侧外表面均开设有滑槽。

作为一种优选的实施方式，两个所述滑槽的内部均滑动嵌设有防尘板，所述冷凝箱的顶部设置有多个冷凝管。

作为一种优选的实施方式，多个所述冷凝管的顶部均与金属板的底部固定连接，所述冷凝箱的底部四角均固定有支撑腿。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型中，电机带动牵引轴进行转动，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的，在传动的过程中装置外壳内部注入的刻蚀液体能够对单晶硅本体进行刻蚀，且在滚轮的带动下，使得装置能够对单晶硅本体进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机将风通过风管输送至装置外壳的内部，再由透风板输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境，提高了装置的工作效率，使得装置能够进行高效的对单晶刻蚀。

2、本实用新型中，金属具有导热效果，所以通过金属板将刻蚀液体的热量进行吸收，再通过冷凝管进行降温，使得刻蚀液体能够一直保持温度较低的状态，其次冷凝管在吸收了热量之后散发至冷凝箱的内部，再通过散热扇将热风吹出装置外部，保持了装置的温度，使得单晶硅的刻蚀能够拥有良好的温度环境使得装置能够进行高效的对单晶硅刻蚀。

附图说明

图1为本实用新型提出一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置的正视剖面图；

图2为本实用新型提出一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置的侧视剖面图；

图3为本实用新型提出一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置的滚轴部分俯视图。

图例说明：

1、装置外壳；2、风机；3、风管；4、透风板；5、滚轮；6、单晶硅本体；7、刻蚀液体；8、金属板；9、冷凝管；10、冷凝箱；11、方形槽；12、散热扇；13、滑槽；14、防尘板；15、支撑腿；16、转杆；17、防护外壳；18、电机；19、牵引轴；20、牵引绳；21、衔接绳；22、进料口；23、出料口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，包括装置外壳1，装置外壳1的顶部设置有风机2，风机2的出风口连通有风管3，且风管3的一端延伸至装置外壳1得到内部，装置外壳1的一侧外表面固定有透风板4，装置外壳1的内部前表壁与后表壁之间滑动有多个滚轮5，多个滚轮5的两端均固定有转杆16，多个转杆16共分为两组，一组多个转杆16的一端均与装置外壳1的内部前表壁滑动嵌设，另一组多个转杆16的一端均与装置外壳1的内部后表壁滑动嵌设，多个滚轮5的顶部之间放置有多个单晶硅本体6，装置外壳1的底部设置有刻蚀液体7，装置外壳1的内部底面固定有金属板8，装置外壳1的后表面固定有防护外壳17，防护外壳17的内部设置有电机18，电机18的输出轴固定有牵引轴19，牵引轴19的外表面与一个滚轮5的外表面之间滑动套设有牵引绳20，多个滚轮5的两端之间均滑动套设有衔接绳21，便于对单晶硅本体6进行稳定运输。

装置外壳1的一侧外面设置有进料口22，装置外壳1的另一侧外表面设置有出料口23，使得装置能够便于进料与出料。

装置外壳1的底部固定有冷凝箱10，冷凝箱10的内部底面开设有多个方形槽11，使得其能够对装置进行降温。

多个方形槽11的内部均设置有散热扇12，冷凝箱10的两侧外表面均开设有滑槽13，使得防尘板14能够便于拆卸。

两个滑槽13的内部均滑动嵌设有防尘板14，冷凝箱10的顶部设置有多个冷凝管9，使得其能够保持刻蚀液体7的温度能够相对较低。

多个冷凝管9的顶部均与金属板8的底部固定连接，冷凝箱10的底部四角均固定有支撑腿15，使得装置能够与底面进行隔离达到隔脏作用。

本实施例的工作原理：在使用该高效型传感器单晶硅刻蚀装置时，首先根据图1、图2和图3所示，在进行使用的时候首先将未侵蚀的单晶硅本体6从进料口22进行投放，其次电机18带动牵引轴19进行转动，在牵引轴19的转动下牵引绳20能够拉动一个滚轮5进行转动，当第一个滚轮5开始转动时，衔接绳21会拉动其他的滚轮5进行转动，因此来达到对单晶硅本体6在装置外壳1的内部进行稳定传动的目的，在传动的过程中装置外壳1内部注入的刻蚀液体7能够对单晶硅本体6进行刻蚀，且在滚轮5的带动下，使得装置能够对单晶硅本体6进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机2将风通过风管3输送至装置外壳1的内部，再由透风板4输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境；

同时根据图1和图2所示，在使用单晶硅刻蚀装置的时候，在散热扇12的运行下使得冷凝箱10的内部能够达到降温的目的，由于金属具有导热效果，所以通过金属板8将刻蚀液体7的热量进行吸收，再通过冷凝管9进行降温，使得刻蚀液体7能够一直保持温度较低的状态，其次冷凝管9在吸收了热量之后散发至冷凝箱10的内部，再通过散热扇12将热风吹出装置外部，防尘板14在装置散热时可阻挡外部粉尘进入冷凝箱10的内部，且防尘板14在长期使用后可从滑槽13取出进行清洗更换，保持了装置的清洁性。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (6)

1.一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)的顶部设置有风机(2)，所述风机(2)的出风口连通有风管(3)，且风管(3)的一端延伸至装置外壳(1)的内部，所述装置外壳(1)的一侧外表面固定有透风板(4)，所述装置外壳(1)的内部前表壁与后表壁之间滑动有多个滚轮(5)，多个所述滚轮(5)的两端均固定有转杆(16)，多个所述转杆(16)共分为两组，一组多个所述转杆(16)的一端均与装置外壳(1)的内部前表壁滑动嵌设，另一组多个所述转杆(16)的一端均与装置外壳(1)的内部后表壁滑动嵌设，多个所述滚轮(5)的顶部之间放置有多个单晶硅本体(6)，所述装置外壳(1)的底部设置有刻蚀液体(7)，所述装置外壳(1)的内部底面固定有金属板(8)，所述装置外壳(1)的后表面固定有防护外壳(17)，所述防护外壳(17)的内部设置有电机(18)，所述电机(18)的输出轴固定有牵引轴(19)，所述牵引轴(19)的外表面与一个所述滚轮(5)的外表面之间滑动套设有牵引绳(20)，多个所述滚轮(5)的两端之间均滑动套设有衔接绳(21)。

2.根据权利要求1所述的一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，其特征在于：所述装置外壳(1)的一侧外面设置有进料口(22)，所述装置外壳(1)的另一侧外表面设置有出料口(23)。

3.根据权利要求1所述的一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，其特征在于：所述装置外壳(1)的底部固定有冷凝箱(10)，所述冷凝箱(10)的内部底面开设有多个方形槽(11)。

4.根据权利要求3所述的一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，其特征在于：多个所述方形槽(11)的内部均设置有散热扇(12)，所述冷凝箱(10)的两侧外表面均开设有滑槽(13)。

5.根据权利要求4所述的一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，其特征在于：两个所述滑槽(13)的内部均滑动嵌设有防尘板(14)，所述冷凝箱(10)的顶部设置有多个冷凝管(9)。

6.根据权利要求5所述的一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，其特征在于：多个所述冷凝管(9)的顶部均与金属板(8)的底部固定连接，所述冷凝箱(10)的底部四角均固定有支撑腿(15)。

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