CN214650438U - 基于光罩盒用具备定位能力的暂存架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，包括暂存架本体，所述暂存架本体的顶部开设有通孔，所述暂存架本体的顶部设置有定位板，所述暂存架本体的顶部开设有与定位板配合使用的长槽，所述定位板的底部贯穿至暂存架本体的底部固定连接有短杆，所述定位板的内壁滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有与通孔配合使用的限位块，所述滑块的顶部固定连接有连接杆。本实用新型通过设置暂存架本体、通孔、定位板、长槽、短杆、滑块、限位块、连接杆、弹簧、拉环和防滑块，解决了现有的暂存架不具备定位的功能，在使用暂存架对光罩盒储存的时候，容易因为碰撞使光照盒晃动，从而导致光照盒内的光罩损坏的问题。

Description

基于光罩盒用具备定位能力的暂存架

技术领域

本实用新型涉及光罩盒技术领域，具体为基于光罩盒用具备定位能力的暂存架。

背景技术

在半导体器件的加工制造过程中，光罩盒是光刻工艺中用于装载光罩的盒子，在光照盒储存的时候，需要用到暂存架，现有的暂存架不具备定位的功能，在使用暂存架对光罩盒储存的时候，容易因为碰撞使光照盒晃动，从而导致光照盒内的光罩损坏。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，具备具有定位功能的优点，解决了现有的暂存架不具备定位的功能，在使用暂存架对光罩盒储存的时候，容易因为碰撞使光照盒晃动，从而导致光照盒内的光罩损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，包括暂存架本体、通孔、定位板、长槽、短杆、滑块、限位块、连接杆、弹簧和拉环；

所述暂存架本体的顶部开设有通孔，所述暂存架本体的顶部设置有定位板，所述暂存架本体的顶部开设有与定位板配合使用的长槽，所述定位板的底部贯穿至暂存架本体的底部固定连接有短杆；

所述定位板的内壁滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有与通孔配合使用的限位块，所述滑块的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的表面套设有弹簧，所述弹簧分别与滑块和定位板的内壁固定连接，所述连接杆的顶部贯穿至定位板的顶部固定连接有拉环。

作为本实用新型优选的，所述拉环的表面设置有防滑纹，所述拉环的材质为铝合金。

作为本实用新型优选的，所述暂存架本体底部设置有防滑块，所述防滑块的材质为橡胶。

作为本实用新型优选的，所述暂存架本体的材质为不锈钢，所述暂存架本体的表面设置有防腐涂层。

作为本实用新型优选的，所述定位板的材质为合金钢，所述定位板的表面设置有防锈涂层。

作为本实用新型优选的，所述短杆的表面设置有防滑橡胶，所述短杆的形状为矩形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过将光罩盒放置于暂存架本体上，向上拉动拉环，拉环带动连接杆向上移动，连接杆带动滑块向上移动，滑块向上挤压弹簧使其收缩，滑块带动限位块向上移动，使限位块脱离通孔，移动短杆，短杆带动定位板移动，使定位板与光罩盒接触，之后松开拉环，弹簧回弹产生弹力带动滑块向下移动，滑块带动限位块向下移动，使限位块卡入通孔内，以此来对光罩盒进行定位，达到了具有定位功能的效果。

2、本实用新型通过防滑纹设置，能够增加使用者双手与拉环之间的摩擦力，防止拉环在使用时脱手。

3、本实用新型通过防滑块的设置，能够增加暂存架本体与地面之间的摩擦力，防止暂存架本体在使用时移动。

4、本实用新型通过设置不锈钢材质的暂存架本体和防腐涂层，能够防止暂存架本体生锈，大大增加了暂存架本体的使用寿命。

5、本实用新型通过设置合金钢材质的定位板和防锈涂层，能够增加定位板的强度，防止定位板在使用时损坏。

6、本实用新型通过防滑橡胶的设置，能够增加使用者双手短杆之间的摩擦力，防止短杆在使用时脱手。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构主视图；

图3为本实用新型结构左视图；

图4为本实用新型图3中A处结构放大图；

图5为本实用新型结构俯视图。

图中：1、暂存架本体；2、通孔；3、定位板；4、长槽；5、短杆；6、滑块；7、限位块；8、连接杆；9、弹簧；10、拉环；11、防滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图5所示，本实用新型提供的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，包括暂存架本体1、通孔2、定位板3、长槽4、短杆5、滑块6、限位块7、连接杆8、弹簧9和拉环10；

暂存架本体1的顶部开设有通孔2，暂存架本体1的顶部设置有定位板3，暂存架本体1的顶部开设有与定位板3配合使用的长槽4，定位板3的底部贯穿至暂存架本体1的底部固定连接有短杆5；

定位板3的内壁滑动连接有滑块6，滑块6的底部固定连接有与通孔2配合使用的限位块7，滑块6的顶部固定连接有连接杆8，连接杆8的表面套设有弹簧9，弹簧9分别与滑块6和定位板3的内壁固定连接，连接杆8的顶部贯穿至定位板3的顶部固定连接有拉环10。

参考图4，拉环10的表面设置有防滑纹，拉环10的材质为铝合金。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过防滑纹设置，能够增加使用者双手与拉环10之间的摩擦力，防止拉环10在使用时脱手。

参考图1，暂存架本体1底部设置有防滑块11，防滑块11的材质为橡胶。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过防滑块11的设置，能够增加暂存架本体1与地面之间的摩擦力，防止暂存架本体1在使用时移动。

参考图1，暂存架本体1的材质为不锈钢，暂存架本体1的表面设置有防腐涂层。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置不锈钢材质的暂存架本体1和防腐涂层，能够防止暂存架本体1生锈，大大增加了暂存架本体1的使用寿命。

参考图1，定位板3的材质为合金钢，定位板3的表面设置有防锈涂层。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置合金钢材质的定位板3和防锈涂层，能够增加定位板3的强度，防止定位板3在使用时损坏。

参考图4，短杆5的表面设置有防滑橡胶，短杆5的形状为矩形。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过防滑橡胶的设置，能够增加使用者双手短杆5之间的摩擦力，防止短杆5在使用时脱手。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，使用者将光罩盒放置于暂存架本体1上，向上拉动拉环10，拉环10带动连接杆8向上移动，连接杆8带动滑块6向上移动，滑块6向上挤压弹簧9使其收缩，滑块6带动限位块7向上移动，使限位块7脱离通孔2，移动短杆5，短杆5带动定位板3移动，使定位板3与光罩盒接触，之后松开拉环10，弹簧9回弹产生弹力带动滑块6向下移动，滑块6带动限位块7向下移动，使限位块7卡入通孔2内，以此来对光罩盒进行定位。

综上所述：该基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，通过设置暂存架本体1、通孔2、定位板3、长槽4、短杆5、滑块6、限位块7、连接杆8、弹簧9、拉环10和防滑块11，解决了现有的暂存架不具备定位的功能，在使用暂存架对光罩盒储存的时候，容易因为碰撞使光照盒晃动，从而导致光照盒内的光罩损坏的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：包括暂存架本体(1)、通孔(2)、定位板(3)、长槽(4)、短杆(5)、滑块(6)、限位块(7)、连接杆(8)、弹簧(9)和拉环(10)；

所述暂存架本体(1)的顶部开设有通孔(2)，所述暂存架本体(1)的顶部设置有定位板(3)，所述暂存架本体(1)的顶部开设有与定位板(3)配合使用的长槽(4)，所述定位板(3)的底部贯穿至暂存架本体(1)的底部固定连接有短杆(5)；

所述定位板(3)的内壁滑动连接有滑块(6)，所述滑块(6)的底部固定连接有与通孔(2)配合使用的限位块(7)，所述滑块(6)的顶部固定连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的表面套设有弹簧(9)，所述弹簧(9)分别与滑块(6)和定位板(3)的内壁固定连接，所述连接杆(8)的顶部贯穿至定位板(3)的顶部固定连接有拉环(10)。

2.根据权利要求1所述的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：所述拉环(10)的表面设置有防滑纹，所述拉环(10)的材质为铝合金。

3.根据权利要求1所述的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：所述暂存架本体(1)底部设置有防滑块(11)，所述防滑块(11)的材质为橡胶。

4.根据权利要求1所述的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：所述暂存架本体(1)的材质为不锈钢，所述暂存架本体(1)的表面设置有防腐涂层。

5.根据权利要求1所述的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：所述定位板(3)的材质为合金钢，所述定位板(3)的表面设置有防锈涂层。

6.根据权利要求1所述的基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，其特征在于：所述短杆(5)的表面设置有防滑橡胶，所述短杆(5)的形状为矩形。

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