CN214612843U - 一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，包括固定杆以及位于固定杆上沿纵向依次设置的一组固定环，所述固定环的内衬均为石墨材质，各固定环远离固定杆的一侧均开有能够让籽晶通过的缺口；最底部的一个固定环内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头；上方的固定环依次用于固定石墨夹头和重锤。该工装采用一组固定环实现石墨夹头与重锤的放置需求，提高生产效率，通过固定环的缺口方便放取过程中籽晶的通过，采用石墨内衬环包裹不锈钢环套的方式，避免在放取过程中接触造成的污染。该放置工装整体结构简单，操作方便，可实现单个炉台单独配置避免混用、磕碰、污染等异常的发生同时可提高生产效率。

Description

一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装

技术领域

本发明属于单晶硅制备领域，具体涉及一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装。

背景技术

随着一炉多根拉晶工艺的广泛推广，二次加料频次不断增加。一方面为防止加料时夹具磕碰籽晶及石墨夹头造成损伤后发生安全事故，加料时需将两者一并取下集中放置。这就易导致石墨夹头及籽晶混用、磕碰、污染等异常的发生。另一方面由于一炉多根工艺拉晶根数多需定期拆卸重锤检查籽晶绳，由于重锤重量较重且温度高，集中放置区域距离较远操作不便。

发明内容

发明目的：本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种单个炉台单独配置的放置工装实现石墨夹头及重锤的放置需求，避免混用、磕碰、污染等异常的发生，同时提高生产效率。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案如下：

一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，包括固定杆以及位于固定杆上沿纵向依次设置的一组固定环，所述固定环的内衬均为石墨材质，各固定环远离固定杆的一侧均开有能够让籽晶通过的缺口；最底部的一个固定环内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头；上方的固定环依次用于固定石墨夹头和重锤。

进一步地，各固定环分别包括不锈钢环套和石墨内衬环，所述不锈钢环套的内壁设有用于承接石墨内衬环的L型台阶，从而石墨内衬环可拆卸地放置于不锈钢环套内壁的L型台阶上。

更进一步地，各固定环的不锈钢环套和石墨内衬环对应开有用于籽晶通过的缺口；所述石墨内衬环的缺口处，石墨内衬环的断面向外水平延伸有覆盖不锈钢环套缺口断面的凸台。

优选地，所述石墨内衬环的顶部高出不锈钢环套。

优选地，所述石墨内衬环的内壁顶部设有用于过渡的斜切面。

优选地，所述固定环包括上固定环、中固定环以及下固定环；下固定环的内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头；中固定环与下固定环的距离与石墨夹头高度适配，二者一起用于固定石墨夹头；上固定环与中固定环的距离与重锤高度适配，用于固定重锤。

进一步地，所述固定杆的顶部设有安装孔，用于将整个工装安装于固定设备上。

有益效果：

本发明单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装采用一组固定环实现石墨夹头与重锤的放置需求，提高生产效率，通过固定环的缺口方便放取过程中籽晶的通过，采用石墨内衬环包裹不锈钢环套的方式，避免在放取过程中接触造成的污染。该放置工装整体结构简单，操作方便，可实现单个炉台单独配置避免混用、磕碰、污染等异常的发生同时可提高生产效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明做更进一步的具体说明，本发明的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1是该单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装的整体结构示意图。

图2是该单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装的部件拆解图。

图3是上固定环、中固定环的石墨内衬环的结构示意图。

图4是下固定环的石墨内衬环的结构示意图。

图5是该单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装的使用状态图。

其中，各附图标记分别代表：1固定杆；11安装孔；2上固定环；3中固定环；4下固定环；5不锈钢环套；51；6石墨内衬环；61凸台；62斜切面；7固定设备；10籽晶；20石墨夹头；30重锤。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本发明。

如图1所示，该单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，包括固定杆1以及位于固定杆1上沿纵向依次设置的一组固定环，所述固定环的内衬均为石墨材质，各固定环远离固定杆1的一侧均开有能够让籽晶10通过的缺口(开口宽度20-25mm)，可保证籽晶10(直径15-20mm)通过，提高安装操作的便捷性；最底部的一个固定环内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头20；上方的固定环依次用于固定石墨夹头20和重锤30。

其中，固定环至少包括上固定环2、中固定环3以及下固定环4三个，下固定环4的内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头；中固定环3与下固定环4的距离与石墨夹头高度适配，二者一起用于固定石墨夹头；上固定环2与中固定环3的距离与重锤高度适配，用于固定重锤。

如图2所示，各固定环分别包括不锈钢环套5和石墨内衬环6，所述不锈钢环套5的内壁设有用于承接石墨内衬环的L型台阶51，从而石墨内衬环6可拆卸地放置于不锈钢环套内壁的L型台阶51上。

如图3和图4所示，各固定环的不锈钢环套5和石墨内衬环6对应开有用于籽晶通过的缺口；所述石墨内衬环的缺口处，石墨内衬环的断面向外水平延伸有覆盖不锈钢环套缺口断面的凸台61，石墨内衬环6的顶部高出不锈钢环套5，一方面可以使得石墨内衬环6较好的包裹住不锈钢环套5，避免在工装在取放过程中与不锈钢环套5接触造成污染；另一方面可以通过凸台61卡合在不锈钢环套缺口断面处，防止石墨内衬环6与不锈钢环套5之间的相对滑动。同时，石墨内衬环6的内壁顶部设有用于过渡的斜切面62，从而石墨夹头20和重锤30能够在放置过程中与石墨内衬环6有一个斜面的缓冲，并保证石墨夹头20和重锤30的放置稳定性。

如图5所示，固定杆1为不锈钢材质，顶部设有安装孔11，使用时通过螺栓将整个工装安装于固定设备7上。

加料时，石墨夹头与籽晶一并取下后将籽晶由缺口处进入然后插入中固定环3内至石墨夹头锥面与下固定环4内环形锥面接触后即可。若进行检查籽晶绳作业，拆卸重锤后只需将籽晶、石墨夹头、重锤的组合体整体插入到该工装内即可。该放置工装整体结构简单，操作方便，可实现单个炉台单独配置避免混用、磕碰、污染等异常的发生同时可提高生产效率。

本发明提供了一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

Claims (7)

1.一种单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，包括固定杆(1)以及位于固定杆(1)上沿纵向依次设置的一组固定环，所述固定环的内衬均为石墨材质，各固定环远离固定杆(1)的一侧均开有能够让籽晶(10)通过的缺口；最底部的一个固定环内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头(20)；上方的固定环依次用于固定石墨夹头(20)和重锤(30)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，各固定环分别包括不锈钢环套(5)和石墨内衬环(6)，所述不锈钢环套(5)的内壁设有用于承接石墨内衬环的L型台阶(51)，从而石墨内衬环(6)可拆卸地放置于不锈钢环套内壁的L型台阶(51)上。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，各固定环的不锈钢环套(5)和石墨内衬环(6)对应开有用于籽晶通过的缺口；所述石墨内衬环的缺口处，石墨内衬环的断面向外水平延伸有覆盖不锈钢环套缺口断面的凸台(61)。

4.根据权利要求2所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，所述石墨内衬环(6)的顶部高出不锈钢环套(5)。

5.根据权利要求2所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，所述石墨内衬环(6)的内壁顶部设有用于过渡的斜切面(62)。

6.根据权利要求1所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，所述固定环包括上固定环(2)、中固定环(3)以及下固定环(4)；下固定环(4)的内衬为与石墨夹头底部适配的中空锥形，用于承接石墨夹头；中固定环(3)与下固定环(4)的距离与石墨夹头高度适配，二者一起用于固定石墨夹头；上固定环(2)与中固定环(3)的距离与重锤高度适配，用于固定重锤。

7.根据权利要求1所述的单晶炉用重锤及石墨夹头放置工装，其特征在于，所述固定杆(1)的顶部设有安装孔(11)，用于将整个工装安装于固定设备(7)上。

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