CN214598730U - 一种高洁净液体的混合系统 - Google Patents

Abstract

一种高洁净液体的混合系统，涉及显影液生产技术领域。一种高洁净液体的混合系统包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从喷射混合装置喷入罐体，在罐体内经回流后流出并依次经过增压泵和静态混合器，从静态混合器流出的液体一部分返回喷射混合装置；喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。上述一种高洁净液体的混合系统能够采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。

Description

一种高洁净液体的混合系统

技术领域

本实用新型涉及显影液生产技术领域，具体而言，涉及一种高洁净液体的混合系统。

背景技术

半导体行业的芯片制造过程中使用的电子化学品，有清洗剂、显影液、剥离液等等。电子化学品对液体本身的纯净度和颗粒要求非常高，金属含量要求可以达到几十个ppt， 0.2um以上的颗粒要求达到小于200pcs/ml，甚至更低。

在以往的生产过程中，通常采用间歇式釜复配，并用搅拌器将各种电子化学品成分混合均匀。上述混合使用搅拌器，釜体和搅拌轴的连接部位有运动，造成缝隙和摩擦，这些极易造成微小污染，尤其对金属含量要求极高的电子化学品来说有些不适宜。通过在釜体内采用内衬、搅拌轴与釜体的连接部分采用特殊的密封形式等方法可以减少金属和颗粒污染。但只要有搅拌器等运动部件存在，就始终有污染的风险。为了降低运动部件带来的污染风险，需要一种没有运动部件的搅拌方式，并保持高的搅拌效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高洁净液体的混合系统，其采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种高洁净液体的混合系统，其包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从所述喷射混合装置喷入所述罐体，在所述罐体内经回流后流出并依次经过所述增压泵和所述静态混合器，从所述静态混合器流出的液体一部分返回所述喷射混合装置；

所述喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述喷射混合器的喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜25-40°。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述高压喷盘的下表面上设置有多组喷嘴，每组所述喷嘴排列为同圆心且半径不同的环形。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述每组喷嘴包括一个环形通道或多个间隔设置且排列成环形的管形通道。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述环形通道和所述管形通道的喷射方向为向着远离轴线的方向斜向下倾斜30-45°，且所述喷射方向倾斜角度大于所述喷口的倾斜角度。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述高洁净液体的混合系统还包括过滤器，所述过滤器设置在所述罐体和所述增压泵之间，或所述过滤器的入口连接至所述静态混合器的出口。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述罐体的外壁上设置有超声波发生器。

与现有技术相比，本实用新型一种高洁净液体的混合系统的有益效果是：

（1）本实用新型的高洁净液体的混合系统采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。

（2）本实用新型喷射混合装置上设置能够喷出高压气体的高压喷盘，上述高压喷盘喷出的高压气体能够吹射到从喷射混合混合器中喷出的混合液，并进一步混合。

（3）本实用新型的罐体的外壁上设置超声波发生器，进一步增大了混合效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例高洁净液体的混合系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例喷射混合装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例高压喷盘的结构示意图。

图标：100-高洁净液体的混合系统；110-罐体；120-喷射混合装置；130-增压泵；140-静态混合器；150-过滤器；111-超声波发生器；121环形管；122-喷射混合器；123-高压喷盘；124-环形通道；125-管形通道；180-流向路径；190-高压气储罐。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

请参照图1，本实施例提供一种高洁净液体的混合系统100，其包括罐体110、喷射混合装置120、增压泵130、静态混合器140和过滤器150。喷射混合装置120设置在罐体110内液面下。液体从喷射混合装置120喷入罐体110，在罐体110内经回流后流出并依次经过增压泵130、静态混合器140和过滤器150。从过滤器150流出的液体一部分返回喷射混合装置120，另一部分到达下一个单元。过滤器150的入口连接至静态混合器140的出口。应当理解，过滤器150在整个系统的工作过程中起到的仅仅是过滤的技术效果，将过滤器150设置在罐体110和增压泵130之间有能够实现过滤的技术效果，也在本实施例的保护范围中。

请继续参照图1，罐体110外壁上设置有超声波发生器111，上述发生器能够进一步对液体进行混合，一定程度上提升了混合效果。

请参照图1-图3，喷射混合装置120包括环形管121，多个环形间隔设置在环形管121上的喷射混合器122和高压喷盘123。高压喷盘123设置在喷射混合装置120的中心，与高压气储罐190连接且能够喷出高压气体。环形管121连接至一种需要混合的液体，并同时给多个喷射混合器122进料，另外一种需要混合的液体从其他管路给喷射混合器122进料（图中未示出）。喷射混合器122的喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜25-40°。使得从喷口喷射出的液体沿着流向路径180在液体中流动，实现搅拌的效果，增大了液体混合效果。高压喷盘的下表面上设置有3组与高压气罐连接的喷嘴，上述喷嘴的喷射方向为向着远离轴线的方向斜向下倾斜30-45°。上述喷射方向倾斜角度大于所述喷口的倾斜角度。每组喷嘴排列为同圆心且半径不同的环形。其中，中间一组喷嘴为包括一个环形通道124，高压气体通过上述环形通道124流出形成高压气体圆锥面。两边的两组喷嘴分别包括间隔设置且排列成环形的管形通道125。管形通道125喷出的气体为一直线。从喷口喷出的混合液与高压气体产生冲击，能够局部形成雾化，提高混合效果。

应当说明的是，在本实施例中管形通道125的横截面为圆形，在其他实施例中，管形通道125的横截面也可以是椭圆形等，也能够实现通过高压气体的冲击，提高混合效果的技术效果，都在本实施例的保护范围中。

请继续参照图1，一种高洁净液体的混合系统100的工作原理是：液体在喷射混合器122混合，从喷口喷出后被高压喷盘喷出的高压气体冲击。罐体110中的混合液排出后依次经过增压泵130、静态混合器140和过滤器150。从过滤器150流出的液体一部分返回喷射混合装置120，另一部分到达下一个单元。

综上所述，本实用新型提供一种高洁净液体的混合系统，上述高洁净液体的混合系统采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。从喷口喷出后被高压喷盘喷出的高压气体冲击提升了混合效果，喷出的混合液在罐体中形成流向路径在液体中流动，实现搅拌的效果，增大了液体混合效果。罐体的外壁上设置超声波发生器，进一步增大了混合效果。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，其包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从所述喷射混合装置喷入所述罐体，在所述罐体内经回流后流出并依次经过所述增压泵和所述静态混合器，从所述静态混合器流出的液体一部分返回所述喷射混合装置；

所述喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。

2.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述喷射混合器的喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜。

3.根据权利要求2所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜25-40°。

4.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述高压喷盘的下表面上设置有多组喷嘴，每组所述喷嘴排列为同圆心且半径不同的环形。

5.根据权利要求4所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，每组所述喷嘴包括一个环形通道或多个间隔设置且排列成环形的管形通道。

6.根据权利要求5所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述环形通道和所述管形通道的喷射方向为向着远离轴线的方向斜向下倾斜30-45°，且所述喷射方向倾斜角度大于喷射混合器的喷口的倾斜角度。

7.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述高洁净液体的混合系统还包括过滤器，所述过滤器设置在所述罐体和所述增压泵之间，或所述过滤器的入口连接至所述静态混合器的出口。

8.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述罐体的外壁上设置有超声波发生器。

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