CN214585058U - 在线臭氧分析装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及了在线臭氧分析装置，包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。本实用新型的在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

Description

在线臭氧分析装置

技术领域

本实用新型涉及半导体洁净室环境监测领域，特别是涉及在线臭氧分析装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，对半导体产品的要求越来越高，臭氧含量的超标都会影响到半导体产品的质量，所以测量手套箱内的臭氧含量十分重要，目前，市场上的臭氧分析产品具有测量精度不高，稳定性不好，响应慢等缺点。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：在线臭氧分析装置，包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。

进一步地，所述后面板上还设置有USB航插，USB航插与主板电连接，用于通过USB航插下载主板的检测数据。

进一步地，所述后面板还安装有三合一开关；所述机箱内还安装有开关电源；所述三合一开关用于连接外部电源220V进线，并通过开关电源转换为12V直流电，为臭氧传感器和主板供电。

进一步地，所述机箱的底部安装有底板；所述主板、开关电源固定在底板上。

进一步地，所述后面板还安装有风扇；所述风扇用于将机箱内的工作热量从机箱中导出。

进一步地，所述机箱具有前面板；所述面板上安装有显示屏，显示屏与主板电连接。

进一步地，所述面板在靠近左右两端的位置分别设置有把手。

本实用新型的有益效果：本实用新型的在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

附图说明

图1为实施例的在线臭氧分析装置的立体示意图；

图2为实施例的在线臭氧分析装置的另一角度的立体示意图；

图3为实施例的在线臭氧分析装置的内部结构的立体示意图。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不对本实用新型的保护范围构成限定。

实施例

请参照图1至图3所示，本实施例提供了一种在线臭氧分析装置，包括机箱1；所述机箱1的内部安装有主板14、臭氧传感器13、气泵11、洗涤装置12；所述机箱1具有后面板17；所述后面板17上设置有进气端口7、出气端口8、网口航插10；所述进气端口7通过管路与气泵11的进气端连通；气泵11的出气端与洗涤装置12的进气端连通；洗涤装置12的出气端与臭氧传感器13的进气端连通；臭氧传感器13的出气端与出气端口8连通；所述主板14用于采集臭氧传感器13的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插10与主板14电连接，用于实现主板14的远程连接。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述后面板17上还设置有USB航插9，USB航插9与主板14电连接，用于通过USB航插9下载主板14的检测数据。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述后面板17还安装有三合一开关5；所述机箱1内还安装有开关电源15；所述三合一开关5用于连接外部电源220V进线，并通过开关电源15转换为12V直流电，为臭氧传感器13和主板14供电。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述机箱1的底部安装有底板16；所述主板14、开关电源15固定在底板16上。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述后面板17还安装有风扇6；所述风扇6用于将机箱1内的工作热量从机箱1中导出。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述机箱1具有前面板2；所述面板2上安装有显示屏3，显示屏3与主板14电连接。

本实施例的一种在线臭氧分析装置中，所述面板2在靠近左右两端的位置分别设置有把手4。

本实施例的一种在线臭氧分析装置，电源供电220V通过三合一开关进入开关电源，由交流电转为12V直流电给臭氧传感器、主板、显示屏、气泵、洗涤装置供电；主板、气泵、洗涤装置工作的热量通过风扇来实现散热；本分析装置在使用时，将待测的样气通过后面板的进气端口通过气泵输送至洗涤装置中，去除杂质后进入臭氧传感器中，进行分析，最后样气通过后面板的出气端口排出；主板采集到臭氧传感器的信号后计算和分析，得出臭氧的浓度值，可通过前面板的显示屏进行显示；本装置可通过后面板的USB航插下载测量数据，也可通过后面板的网口航插实现远程网络连接；本装置通过在前面板上设置把手，方便携带。

本实施例的一种在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

上述实施例不应以任何方式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.在线臭氧分析装置，其特征在于：包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。

2.根据权利要求1所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述后面板上还设置有USB航插，USB航插与主板电连接，用于通过USB航插下载主板的检测数据。

3.根据权利要求1或2所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述后面板还安装有三合一开关；所述机箱内还安装有开关电源；所述三合一开关用于连接外部电源220V进线，并通过开关电源转换为12V直流电，为臭氧传感器和主板供电。

4.根据权利要求3所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述机箱的底部安装有底板；所述主板、开关电源固定在底板上。

5.根据权利要求4所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述后面板还安装有风扇；所述风扇用于将机箱内的工作热量从机箱中导出。

6.根据权利要求1所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述机箱具有前面板；所述面板上安装有显示屏，显示屏与主板电连接。

7.根据权利要求1或6所述的在线臭氧分析装置，其特征在于：所述面板在靠近左右两端的位置分别设置有把手。

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