CN214542134U - 一种盖板状态检测装置和成膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光伏硅芯片制造设备技术领域，涉及光伏硅芯片承载状况检测设备技术领域，具体涉及一种盖板状态检测装置和成膜设备，包括检测装置和判断装置；所述检测装置用于检测所述盖板是否存在高出所述硅片的部分，并将检测结果发送至所述判断装置，所述判断装置用于根据所述检测结果判断所述盖板是否发生翘曲。本实用新型通过检测所有盖板是否存在翘曲，如发生翘曲则进行人工处理，进而避免了载板进入PVD腔室后被腔室门阻挡，造成批量硅片碎裂报废或载板卡死无法传动的问题。

Description

一种盖板状态检测装置和成膜设备

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制造设备技术领域，涉及太阳能电池承载状况检测设备技术领域，具体涉及一种盖板状态检测装置和成膜设备。

背景技术

在太阳能晶硅芯片制造中需要用到多种设备，其中的物理气相沉积(PhysicalVapour Deposition简称PVD)是成膜的重要设备，其上料时采用托盘承载硅片，采用盖板压覆硅片达到硅片边缘掩摸的目的。

在PVD工艺前上料盖板压覆硅片时，存在一定比例盖板不能完全敷设到位的情况，盖板继而出现翘曲，在进入PVD腔室后，会存在被腔室门阻挡的情况，造成批量硅片碎裂报废或载板卡死无法传动。由于硅片的成本十分高昂，且在发生卡死时还须给PVD设备进行破真空处理，之后再次抽真空，总耗时需要12小时左右，极大的增大了经济损失且增加了运营时间，降低了生产效率。

实用新型内容

因为盖板在发生翘曲时其高度必然超出硅片的高度，因而本实用新型提出一种盖板状态检测装置和成膜设备，通过检测所有盖板是否存在翘曲，如发生翘曲则进行人工处理，进而避免了载板进入PVD腔室后被腔室门阻挡，造成批量硅片碎裂报废或载板卡死无法传动的问题。

为了达到上述技术目的，本实用新型所采用的具体技术方案为：

一种盖板状态检测装置，用于检测设于硅片上方的盖板是否出现形状异常，所述硅片设于载板的上方，包括检测装置和判断装置；

所述检测装置，设置在至少部分与所述盖板相对的区域，用于检测所述盖板是否存在高出所述硅片的部分，并将检测结果发送至所述判断装置；

所述判断装置，用于根据所述检测结果，判断所述盖板是否发生翘曲。

进一步的，所述检测装置为对射光检测装置，包括设置在所述载板的相对两端的发射器和接收器；所述发射器用于产生穿过所述盖板的上方并到达所述接收端的光线；所述判断装置用于根据所述接收端的光线接收状况，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

进一步的，所述发射器包括多组平行光发射器，所述接收器包括多组与所述平行光发射器对应设置的接收探头。

进一步的，各所述平行光发射器的照射光线平行于所述载板，照射高度为所述载板的正上方0.7～1.3mm处。

进一步的，所述检测装置为检测范围涵盖载板上所有所述盖板全范围的漫反射型光电开关；所述判断装置用于根据所述漫反射型光电开关的开闭状态，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

进一步的，所述测装置为检测范围涵盖所有盖板的镜面反射型光电开关；所述判断装置用于根据所述镜面反射型光电开关的开闭状态，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

进一步的，所述检测装置还包括报警装置，与所述判断装置通信连接，用于在所述判断装置判断存在盖板已发生翘曲时发出警报信号。

进一步的，所述报警装置为声音警报器和/或光学警报器。

进一步的，所述检测装置还包括生产线急停装置，与所判断装置通信连接，用于在所述判断装置判断存在盖板已发生翘曲的情况时，向所述载板所处的生产线发送急停信号。

进一步的，本实用新型还提出一种成膜设备，用于异质结太阳能电池的物理气相沉积，包括上述所述的盖板状态检测装置。

采用上述技术方案，本实用新型还具有以下优点：

1、本实用新型从根本上杜绝了在PVD工艺前由于盖板的翘曲所导致的硅片损失，极大地避免了由于硅片破裂所带来的经济损失，同时节省了给PVD设备进行破真空处理的运营时间，增加了生产效率。

2、本实用新型采用对射光对盖板的翘曲情况进行检测，其体积小，可以安装在载板上，使用方便且成本低廉。

3、本实用新型的光线的照射高度设置在硅片的正上方1mm处，能够保证载板进入PVD工艺设备的入口时不会发生卡塞，对对射光检测装置的精度要求不苛刻，进一步降低了本实用新型的成本。

4、本实用新型还可以通过漫反射型光电开关或镜面反射型光电开关对盖板的翘曲情况进行检测，适用性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型具体实施方式中安装有盖板状态检测装置(含载板等)的侧视图；

图2为本实用新型具体实施方式中安装有盖板状态检测装置(含载板等)的轴测图；

图3为本实用新型具体实施方式中安装有盖板状态检测装置(含载板等)的俯视图；

其中：1、载板；2、硅片；3、盖板；4、发射器；5、接收器。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本实用新型，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。

在本实用新型的一个实施例中，提出一种PVD盖板3上料检测装置，用于检测芯片PVD工艺前载板1上硅片2的盖板3是否发生翘曲，包括检测装置和判断装置；检测装置用于检测盖板3是否存在高出硅片2的部分，并将检测结果发送至判断装置，判断装置用于根据检测结果判断盖板3是否发生翘曲。

在本实施例中，如图1所示，检测装置为对射光检测装置，包括设置在载板1两端的发射器4和接收器5；发射器4用于产生穿过各盖板3的上方并到达接收端的光线；判断装置用于根据接收端的光线接收状况判断是否存在盖板3已发生翘曲。这里应该理解的是，本实施例中判断装置根据检测装置的状态即可进行判断，不涉及对方法的改进。

在本实施例中，发射器4均为红外脉冲发射器4，可将各发射器4平行固定在载板1的同一个端部，接收器5固定在载板1的另一个端部，照射角度不定，只需保证所有的发射器4所发出的光线能够检测到所有盖板3即可。发射器4也可以不完全布置在载板1的同一个端部，可以和接收器5进行交叉布置。

在本实施例中，发射器4包括多组平行光发射器4，接收器5包括多组与平行光发射器4对应设置的接收探头。接收探头为光电二极管或光电三极管；常态下，每个光电二极管或光电三极管均由一组红外脉冲发射器4照射，由其自身的光电效应会产生脉冲电流，连接判断装置，当盖板3发生翘曲，将会遮挡住至少一个平行光发射器4的光线，导致脉冲电流发生改变或中断，当判断装置发现脉冲电流产生改变或中断时，即可马上得出盖板3发生翘曲的结论。

在一个实施例中，各平行光发射器4的照射光线平行于载板1，照射高度为载板1的正上方0.7～1.3mm处，最优照射高度为载板1的正上方1mm处。该照射高度为判断载板1翘曲度的一个基准，在实际应用中可根据工艺情况或对载板1翘曲的容忍度进行设置，这里不做限定。本实施例给出了一个完全适用于PVD工艺设备的进口允许高度余量，保证了盖板3对于硅片2的固定效果、能够避免由于盖板3翘曲而发生卡塞，还能够降低精度关于检测装置的设计精度以及安装精度要求。

在一个实施例中，检测装置为检测范围涵盖所有盖板3的漫反射型光电开关；判断装置用于根据漫反射型光电开关的开闭状态判断是否存在盖板3已发生翘曲。漫反射型光电开关是利用被检测物对光束的遮挡或反射，从而检测物体的有无。例如，若盖板3发生翘曲，则盖板3将漫反射型光电开关发射器发射的足够量的光线反射到接收器，于是光电开关就产生开关信号。反之，则光电开关无开关信号产生。

在一个实施例中，测装置为检测范围涵盖盖板3的镜面反射型光电开关；判断装置用于根据镜面反射型光电开关的开闭状态判断是否存在盖板3已发生翘曲。

在一个实施例中，检测装置还包括报警装置，与判断装置通信连接，用于在判断装置判断存在盖板3已发生翘曲时发出警报信号。在本实施例中，当盖板3发生翘曲，光电二极管或光电三极管的脉冲电流发生变化，判断装置得出“有盖板3发生翘曲”的信息后传递至报警装置，促进人为干预。

在本实施例中，报警装置为声音警报器和/或光学警报器。可单独设置声音警报器或光学警报器，也可以两者同时设置。

在一个实施例中，检测装置还包括生产线急停装置，与所判断装置通信连接，用于在判断装置判断存在盖板3已发生翘曲时向载板1所处的生产线发送急停信号。在本实施例中，当盖板3发生翘曲，光电二极管或光电三极管的脉冲电流发生变化，判断装置得出“有盖板3发生翘曲”的信息后传递至生产线急停装置，替代人为干预的延误。

在一个实施例中，本实用新型还提出一种成膜设备，用于异质结太阳能电池的物理气相沉积，包括上述的盖板状态检测装置。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种盖板状态检测装置，用于检测设于硅片上方的盖板是否出现形状异常，所述硅片设于载板的上方，其特征在于：包括检测装置和判断装置；

所述检测装置，设置在至少部分与所述盖板相对的区域，用于检测所述盖板是否存在高出所述硅片的部分，并将检测结果发送至所述判断装置；

所述判断装置，用于根据所述检测结果，判断所述盖板是否发生翘曲。

2.根据权利要求1所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述检测装置为对射光检测装置，包括设置在所述载板的相对两端的发射器和接收器；所述发射器用于产生穿过所述盖板的上方并到达所述接收器的光线；所述判断装置用于根据所述接收器的光线接收状况，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

3.根据权利要求2所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述发射器包括多组平行光发射器，所述接收器包括多组与所述平行光发射器对应设置的接收探头。

4.根据权利要求3所述的盖板状态检测装置，其特征在于：各所述平行光发射器的照射光线平行于所述载板，照射高度为所述载板的正上方0.7～1.3mm处。

5.根据权利要求1所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述检测装置为检测范围涵盖所述盖板全范围的漫反射型光电开关；所述判断装置用于根据所述漫反射型光电开关的开闭状态，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

6.根据权利要求1所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述测装置为检测范围涵盖所有盖板的镜面反射型光电开关；所述判断装置用于根据所述镜面反射型光电开关的开闭状态，判断是否存在所述盖板已发生翘曲的情况。

7.根据权利要求1-6任一项所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括报警装置，与所述判断装置通信连接，用于在所述判断装置判断存在盖板已发生翘曲时发出警报信号。

8.根据权利要求7所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述报警装置为声音警报器和/或光学警报器。

9.根据权利要求1-6任一项所述的盖板状态检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括生产线急停装置，与所判断装置通信连接，用于在所述判断装置判断存在盖板已发生翘曲的情况时，向所述载板所处的生产线发送急停信号。

10.一种成膜设备，用于异质结太阳能电池的物理气相沉积，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的盖板状态检测装置。

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