CN214429738U - 一种反应源加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及加热技术领域，尤其是指一种反应源加热装置，包括反应源瓶，还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述反应源控制阀门用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。本实用新型提供的一种反应源加热装置，使加热器内发热均匀同时保证反应源瓶、阀门等温场按需求均匀分布。
Description
技术领域
本实用新型涉及加热技术领域，尤其是指一种反应源加热装置。
背景技术
现有技术中常用的加热管路是在反应装置的外部直接包裹加热层，该加热层是直接将加热丝设置在柔性编织类绝缘材料里面设置而成，再在加热层上开孔安装阀门，在开孔处，由于加热层与阀门的接触不够紧密，以及柔性编织物导热性不佳，所以在开孔位置等异形结构处的温度容易降低，导致整个加热管路加热不均匀的问题，并且，加热丝容易损坏，而该加热层不便于维修，通常只能选择整个更换。另外，也有采用管道的设计，但是在阀门处，由于阀门与加热管道贴合不严密，有缝隙，则容易导致加热的管道内温度不均匀，特别是在阀门或连接接头等异形结构处的温度，会低于反应源处的温度，所以说，反应源在加热上升的过程中，会出现温度下降的情况，从而影响反应源物质蒸汽压稳定性，进一步影响薄膜沉积工艺。
发明内容
本实用新型针对现有技术的问题提供一种反应源加热装置，加热器加热，隔热层可以阻隔温度的散失，再设置金属热反射板，进一步提升加热的均匀性同时阻止热量散失，反应源控制阀门及用于与加热器连接的加热管道接头等异形处均与金属的加热器内壁完美贴合，从而保证加热器内反应源瓶及阀门管道的的温场按需求均匀分布。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种反应源加热装置，包括反应源瓶，还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述控制开关用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。
优选的，所述金属热反射板为铝板。
优选的，所述隔热层为空气。
优选的，所述反应源加热装置还包括隔热套，所述隔热套套设于所述金属热反射板的外周，所述隔热套开设有第二过孔，所述第二过孔的孔径与所述第一过孔的孔径相同。
优选的，所述隔热套为硅胶材料制成。
优选的，所述加热器为金属材料制成。
优选的，所述加热器包括第一半管、第二半管以及加热棒，所述第一半管以及第二半管可拆卸连接，所述第一半管与第二半管组装后形成所述容置腔，所述第一半管以及第二半管内均装设有所述加热棒。
优选的，所述第一半管与所述第二半管的结构相同。
优选的，所述反应源加热装置还包括有测温件，所述测温件用于检测加热器以及反应源瓶的温度。
本实用新型的有益效果：
本实用新型提供的一种反应源加热装置，将反应源瓶安装在容置腔内，启动加热器，加热器开始为反应源瓶加热，隔热层可以阻隔温度的散失，再设置金属热反射板，温度由加热器传导到隔热层，由隔热层进行第一层的阻隔，当温度传导到金属热反射板时，会被金属热反射板反射回到隔热层以及加热器，进一步将温度阻隔，从而降低温度的散热情况，并且利用金属良好的导热特性，保证反应源瓶在加热过程中温场由反应源瓶底部至顶部反应源控制阀门处逐步上升。另外，本实用新型的反应源控制阀门以及用于与加热器连接的加热管道的接头等异形处均能与金属的加热器内壁完美贴合，从而保证加热器内反应源瓶及阀门管道的的温场按需求均匀分布，从而防止热量在反应源控制阀门处散失，进而保证加热器内的发热均匀同时保证反应源处温度的均匀性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图一。
图2为本实用新型的结构示意图二。
图3为图2中A-A处的截面图。
图4为图2中C-C处的截面图。
图5为本实用新型的结构示意图三。
图6为本实用新型的金属热反射板的结构示意图。
图7为本实用新型的隔热套的结构示意图。
图8为本实用新型的分解结构示意图。
在图1至图8中的附图标记包括：
1-反应源瓶，2-加热器，3-金属热反射板，4-反应源控制阀门，5-隔热层，6-第一过孔，7-隔热套，8-第二过孔，9-第一半管，10-第二半管，11-加热棒，12-测温点。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。以下结合附图对本实用新型进行详细的描述。
本实施例提供的一种反应源加热装置，如图1至图4，包括反应源瓶1，还包括加热器2、金属热反射板3以及反应源控制阀门4，所述金属热反射板3套设于所述加热器2的外周并与加热器2同轴设置，所述金属热反射板3的内壁与加热器2的外壁之间设置有隔热层5，所述加热器2内开设有用于放置所述反应源瓶1的容置腔，所述反应源控制阀门4用于控制反应源瓶1内物质的输出与否；所述金属热反射板3开设有第一过孔6，所述反应源控制阀门4的外壁与所述第一过孔6的孔壁贴合。
具体地，例如在原子层沉积技术中，需要对反应源进行加热，而在加热过程中，便需要保持温度的均匀性以及降低加热装置的温度流失。将反应源瓶1安装在容置腔内，启动加热器2，加热器2开始为反应源瓶1加热，隔热层5可以阻隔温度的散失，再设置金属热反射板3，温度由加热器2传导到隔热层5，由隔热层5进行第一层的阻隔，当温度传导到金属热反射板3时，会被金属热反射板3反射回到隔热层5以及加热器2，进一步将温度阻隔，从而降低温度的散热情况，并且利用金属良好的导热特性，保证反应源瓶1在加热过程中温场由反应源瓶1底部至顶部反应源控制阀门4处逐步上升。本实施例的加热器与外部加热管道的接头连接时，管道接头同样能与本实施例的加热器内壁贴合，如图4，本实施例的反应源控制阀门以及用于与加热器连接的加热管道的接头等异形处均能与金属的加热器内壁完美贴合，从而保证加热器内反应源瓶及阀门管道的的温场按需求均匀分布，从而防止热量在反应源控制阀门处散失，进而保证加热器内的发热均匀同时保证反应源处温度的均匀性。
其中，金属热反射板3为铝板，在温度到达铝板处时，铝板起到热反射效果，亦可以防止热量散失。
进一步的，隔热层5为空气，也就是说，金属热反射板3与加热器2之间设置有缝隙，通过空气进行隔热，从而防止热量的扩散。
本实施例提供的一种反应源加热装置，如图1至图8，所述反应源加热装置还包括隔热套7，所述隔热套7套设于所述金属热反射板3的外周，所述隔热套7开设有第二过孔8，所述第二过孔8的孔径与所述第一过孔6的孔径相同。具体地，隔热套7优选采用硅胶材质制成的硅胶垫，具有很好的隔热效果，可以防止烫伤工作人员，同时还可以进一步帮助本实施例的加热装置保温。再者，本实施例的最外层为硅胶垫，所以反应源控制阀门4与硅胶垫的第二过孔8贴合，可以有效增加密封性，从而避免热量的散失。
本实施例提供的一种反应源加热装置，如图1和图8，所述加热器2包括第一半管9、第二半管10以及加热棒11，所述第一半管9以及第二半管10可拆卸连接，所述第一半管9与第二半管10组装后形成所述容置腔，所述第一半管9以及第二半管10内均装设有所述加热棒11。
具体地，本实施例的加热器2为金属材料制成，其中，第一半管9和第二半管10的结构相同，也就是说，第一半管9和第二半管10是对称设置的，可以通过螺丝或者其他相似功能零件将第一半管9和第二半管10组装一起，从而便于本实施例的反应源瓶1的安装，相较于采用铝箔泡沫纸类的加热保温结构，本实施例更便于组装，也便于后期的维修更换，实用性高。
本实施例提供的一种反应源加热装置，如图1，所述反应源加热装置还包括有测温件(附图中未示出)，所述测温件用于检测加热器2以及反应源瓶1的温度。
具体地，本实施例设置有测温点12，位于反应源瓶1处，通过测温件检测测温点12的温度，可以了解当下本实施例的加热装置的温度情况，便于控制加热器2加热或停止加热。
以上所述，仅是本实用新型较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型以较佳实施例公开如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当利用上述揭示的技术内容作出些许变更或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型技术是指对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (9)
1.一种反应源加热装置，包括反应源瓶，其特征在于：还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述反应源控制阀门用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。
2.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述金属热反射板为铝板。
3.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述隔热层为空气。
4.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述反应源加热装置还包括隔热套，所述隔热套套设于所述金属热反射板的外周，所述隔热套开设有第二过孔，所述第二过孔的孔径与所述第一过孔的孔径相同。
5.根据权利要求4所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述隔热套为硅胶材料制成。
6.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述加热器为金属材料制成。
7.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述加热器包括第一半管、第二半管以及加热棒，所述第一半管以及第二半管可拆卸连接，所述第一半管与第二半管组装后形成所述容置腔，所述第一半管以及第二半管内均装设有所述加热棒。
8.根据权利要求7所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述第一半管与所述第二半管的结构相同。
9.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述反应源加热装置还包括有测温件，所述测温件用于检测加热器以及反应源瓶的温度。
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| CN202120546815.5U CN214429738U (zh) | 2021-03-16 | 2021-03-16 | 一种反应源加热装置 |
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Publications (1)
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| CN202120546815.5U Active CN214429738U (zh) | 2021-03-16 | 2021-03-16 | 一种反应源加热装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114127333A (zh) * | 2019-06-28 | 2022-03-01 | Beneq有限公司 | 前驱体源布置和原子层沉积设备 |
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2021
- 2021-03-16 CN CN202120546815.5U patent/CN214429738U/zh active Active
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