CN214409076U - 一种晶圆检测机的模块化底座 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆检测机的模块化底座，包括晶圆检测机，在晶圆检测机的下方设有底座，所述底座包括底板，以及将底板包围的前面板、第一侧板、第二侧板和后面板；所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板彼此之间依次贴紧连接，使底座形成一个只有一端开口的容纳腔；在所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方均设有卡槽，所述卡槽用于容纳底板；本实用新型的底座通过底板，以及包括两两连接前面板、第一侧板、第二侧板、后面板组成，便于拆装；并且在前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方均设有卡槽，底板通过与卡槽配合与其进行固定，结构简单，稳定性强，拆装方便。

Description

一种晶圆检测机的模块化底座

技术领域

本实用新型晶圆检测机技术领域，尤其涉及一种晶圆检测机的模块化底座。

背景技术

现有技术中，用于晶圆检测机的底座大多结构复杂，拆装不方便，导致更换零部件麻烦、搬运困难的问题。

因此，急需设计一种晶圆检测机的模块化底座以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆检测机的模块化底座，用于解决现有技术中的晶圆检测机底座拆装不方便、导致更换零部件麻烦、搬运困难的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：晶圆检测机的模块化底座，包括晶圆检测机，在晶圆检测机的下方设有底座，所述底座包括底板，以及将底板包围的前面板、第一侧板、第二侧板和后面板；

所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板彼此之间依次贴紧连接，使底座形成一个只有一端开口的容纳腔；

在所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方均设有卡槽，所述卡槽用于容纳底板。

进一步的，所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板彼此之间通过紧固件进行连接。

进一步的，所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方通过紧固件与所述底板进行连接。

进一步的，在所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的上方还设有上盖板，上盖板用于加强底座的稳定性。

进一步的，所述上盖板与所述晶圆检测机卡接固定。

进一步的，在所述底座的周边设有装饰带，所述装饰带为荧光条。

进一步的，在所述底板的下方设置有支撑脚，所述支撑脚设有弹簧，在所述支撑脚的底部设置有硅胶垫。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型的底座通过底板，以及包括两两连接前面板、第一侧板、第二侧板、后面板组成，便于拆装；并且在前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方均设有卡槽，底板通过与卡槽配合与其进行固定，结构简单，稳定性强，拆装方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例中底座的结构示意图；

图3是本实用新型底座的配合过程示意图；

图4是本实用新型实施例中第一侧板的结构示意图；

1、晶圆检测机，2、底座，21、底板，22、前面板，23、第一侧板，24、第二侧板，25、后面板，3、上盖板，4、按钮，5、支撑脚，6、装饰带，7、卡槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。

需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件时，它可以是直接连接到另一个组件，或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

还需要说明的是，本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1至图4，包括晶圆检测机1，在晶圆检测机1的下方设有底座2，其所述底座2包括底板21，以及用于将底板21包围的前面板22、第一侧板23、第二侧板24和后面板25；在本实施例中，在前面板22上还设置有按钮4。

所述前面板22、第一侧板23、第二侧板24和后面板25彼此之间依次贴紧连接，使底座2形成一个只有一端开口的容纳腔，开口朝向晶圆检测机1；使底座2与晶圆检测机1连接时，能够形成一个封闭的结构，保证检测的可靠性，

在所述前面板22、第一侧板23、第二侧板24和后面板25的下方均设有卡槽7，所述卡槽7用于容纳底板21。卡槽7与底板21之间的连接操作方便，且其接触面积大，连接稳定性强，卡槽7的宽度与底板21的厚度相当，使其连接更加稳定可靠。

所述前面板22、第一侧板23、第二侧板24和后面板25彼此之间通过紧固件进行连接。通过铆钉、螺钉等紧固件进行连接，结构稳定，拆装方便。

所述前面板22、第一侧板23、第二侧板24和后面板25的下方通过紧固件与所述底板21进行连接。在其下方设有通孔，底板也设置于通孔对应的连接孔，通过紧固件与周边的板块进行连接，提高稳定性。

在所述前面板22、第一侧板23、第二侧24板和后面板25的上方还设有上盖板3，上盖板3用于加强底座2的稳定性。周边的板块与底板21装配好后，再通过上盖板3进行加强其结构，使底座2的上下两侧均结构稳定，可靠性强。

由于上盖板3稍微凸起于底座，因此，上盖板3与晶圆检测机1之间通过卡接固定，提高连接的便利性，在上盖板3周边还可设置于晶圆检测机1相适配的密封条，提高底座2与晶圆检测机1连接的密封性。

在所述底座2的周边设有装饰带6，所述装饰带6为荧光条。提高观赏性，以及可用于作为安全标识使用。

在所述底板21的下方设置有支撑脚5，所述支撑脚5设有弹簧，在所述支撑脚5的底部设置有硅胶垫。支撑脚5通过螺杆与底板连接，实现高度可调，支撑脚5设置的弹簧和硅胶垫用于消除缓冲力，在作业过程中起到缓冲的作业。

本申请的说明书和权利要求书中，词语“包括/包含”和词语“具有/包括”及其变形，用于指定所陈述的特征、数值、步骤或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数值、步骤、部件或它们的组合。

本实用新型的一些特征，为阐述清晰，分别在不同的实施例中描述，然而，这些特征也可以结合于单一实施例中描述。相反，本实用新型的一些特征，为简要起见，仅在单一实施例中描述，然而，这些特征也可以单独或以任何合适的组合于不同的实施例中描述。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆检测机的模块化底座，包括晶圆检测机，在晶圆检测机的下方设有底座，其特征在于，所述底座包括底板，以及将底板包围的前面板、第一侧板、第二侧板和后面板；

所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板彼此之间依次贴紧连接，使底座形成一个只有一端开口的容纳腔；

在所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方均设有卡槽，所述卡槽用于容纳底板。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板彼此之间通过紧固件进行连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的下方通过紧固件与所述底板进行连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，在所述前面板、第一侧板、第二侧板和后面板的上方还设有上盖板，上盖板用于加强底座的稳定性。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，所述上盖板与所述晶圆检测机卡接固定。

6.根据权利要求1所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，在所述底座的周边设有装饰带，所述装饰带为荧光条。

7.根据权利要求1至6任一所述的晶圆检测机的模块化底座，其特征在于，在所述底板的下方设置有支撑脚，所述支撑脚设有弹簧，在所述支撑脚的底部设置有硅胶垫。

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