CN214394013U - 一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆框架盒的拆装技术领域,公开了一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，包括固定座，固定座的顶部安装有前卡扣和后卡扣，固定座的顶部在前卡扣和后卡扣的一侧安装有两个导轨，两导轨平行设置，每个导轨上安装有滑块，安装架安装在滑块的上表面上，安装架靠近前卡扣和后卡扣的一面上安装有第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮，第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮的旋转轴上分别安装有连接块，第一旋钮上的连接块、第二旋钮上的连接块、第三旋钮上的连接块分别和传动杆铰接，在实际使用时，通过将安装架在导轨上滑动，使第二旋钮和第三旋钮插入到盒盖上地开关地缺孔中，然后顺时针或者逆时针转动第一旋钮便能实现盒盖的拆和装，操作简便。

Description

一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆框架盒的拆装技术领域，具体涉及一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置。

背景技术

由于晶圆尺寸的不同，需要设计不同大小的框架盒来收纳晶圆。与6寸或者8寸的晶圆相比，12寸晶圆的面积较大，同样所需要的更大体积的包装盒，为满足包装安全需求，框架盒的盒盖的设计也更加复杂。参照图2和图3，现有12寸晶圆的框架盒开启盒盖时需要顺时针旋转开关来收缩卡扣，在关闭盒盖时需要逆时针旋转开关来伸长卡扣。然而这种结构的框架盒在使用时存在以下缺陷：首先开关有档板，不利于手动旋转，费时费力影响工作效率；另外参照图1，该种框架盒的盒盖与框架盒的连接处还装有密封条，由于密封条密封空气会导致框架盒内外气压不均，在旋转开关时会更加吃力，而且还会引起框架盒抖动，可能损坏框架盒内的晶圆；最后在关闭盒盖时，由于晶圆在框架盒内竖直放置，晶圆与圆片槽的间隙不同，当盒盖盖在框架盒上时晶圆不能与盒盖上的晶圆垫片一一对应，需要人工调整晶圆位置才能完成和盖，降低了生产效率。

实用新型内容

鉴于背景技术的不足，本实用新型是提供了一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，解决现有晶圆框架盒的盒盖在拆装时遇到的问题。

为解决以上技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，包括固定座、导轨、滑块和安装架，固定座的顶部安装有前卡扣和后卡扣，固定座的顶部在前卡扣和后卡扣的一侧安装有至少两个导轨，所有导轨平行设置，每个导轨上安装有滑块，安装架安装在滑块的上表面上，安装架靠近前卡扣和后卡扣的一面上安装有第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮，第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮的旋转轴上分别安装有连接块，第一旋钮上的连接块、第二旋钮上的连接块、第三旋钮上的连接块分别和传动杆铰接。

作为进一步的技术方案，所有导轨横向设置，前卡扣和后卡扣在固定座上的安装位置在横行方向上的投影位置重合。

作为进一步的技术方案，固定座的顶部在每个导轨的前端和后端分别安装有限位块。通过限位块可以对安装架在导轨上的位置进行限位，避免安装架在导轨上滑动时从导轨上脱落。

本实用新型在实际使用时的工作流程如下：在将盒盖从框架盒上拆下时，先将框架盒上的两个框架盒缺孔放到前卡扣和后卡扣上，使框架盒的盒盖朝向安装架，实现框架盒的定位，放置完成后将安装架沿着导轨滑动，使第二旋钮和第三旋钮分别插入到盒盖上的两个开关上的缺孔中，然后通过旋动第一旋钮来顺时针转动第二旋钮和第三旋钮，将盒盖从框架盒上打开，如果要将盒盖从框架盒上取下，将安装架沿着导轨远离框架盒即可，如果要将盒盖重新安装到框架盒上，只需将安装架沿着导轨移动，使盒盖与框架盒闭合，然后逆时针旋转第一旋钮即可。

本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是：首先在拆装框架盒的盒盖时，框架盒是通过前卡扣和后卡扣固定在固定座上的，晃动小，减小了晶圆碎片的风险；其次通过传动杆只需旋转第一按钮便能同时顺时针或者逆时针转动盒盖上的开关，操作简便，提高了生产效率；最后由于拆装框架盒的盒盖时，晶圆是水平放置的，晶圆由于自身的重力与圆片槽的间隙相同，在安装盒盖时不用人工一一调节晶圆的位置使晶圆与盒盖上的晶圆垫片一一对应，简化了工作步骤，提高了工作效率。

附图说明

本实用新型有如下附图：

图1为现有12寸晶圆的框架盒未开锁的俯视图；

图2为现有12寸晶圆的框架盒开锁后的俯视图；

图3为现有12寸晶圆的框架盒的正视图；

图4为本实用新型的正视图；

图5为本实用新型的俯视图。

图中：1a、盒盖，1b、框架盒缺孔，2a、开关，2b、密封条，3a、卡扣，1、固定座，2、前卡扣，3、后卡扣，4、导轨，5、滑块，6、安装架，7、第一旋钮，8、第二旋钮，9、第三旋钮，10、连接块，11、传动杆，12、限位块。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图4-5所示，一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，包括固定座1、导轨4、滑块5和安装架6，固定座1的顶部安装有前卡扣2和后卡扣3，固定座1的顶部在前卡扣2和后卡扣3的一侧安装有至少两个导轨4，所有导轨4平行设置，每个导轨4上安装有滑块5，安装架6安装在滑块5的上表面上，安装架6靠近前卡扣2和后卡扣3的一面上安装有第一旋钮7、第二旋钮8和第三旋钮9，第一旋钮7、第二旋钮8和第三旋钮9的旋转轴上分别安装有连接块10，第一旋钮上7的连接块10、第二旋钮8上的连接块10、第三旋钮9上的连接块10分别和传动杆11铰接。

具体地，本实施例中，所有导轨4横向设置，前卡扣2和后卡扣3在固定座1上的安装位置在横行方向上的投影位置重合。

具体地，本实施例中，固定座1的顶部在每个导轨4的前端和后端分别安装有限位块12。通过限位块12可以对安装架6在导轨4上的滑动位置进行限位，避免安装架6在导轨4上滑动时从导轨4上脱落。

本实用新型在实际使用时的工作流程如下：在将盒盖从框架盒上拆下时，先将框架盒上的两个框架盒缺孔1b放到前卡扣2和后卡扣3上，使框架盒的盒盖朝向安装架6，实现框架盒的定位，放置完成后将安装架6沿着导轨4滑动，使第二旋钮8和第三旋钮9分别插入到盒盖上的两个开关2a上的缺孔中，然后通过旋动第一旋钮7来顺时针转动第二旋钮8和第三旋钮9，将盒盖从框架盒上打开，如果要将盒盖从框架盒上取下，将安装架6沿着导轨4远离框架盒即可，如果要将盒盖重新安装到框架盒上，只需将安装架6沿着导轨4移动，使盒盖与框架盒闭合，然后逆时针旋转第一旋钮7即可。

综上，本实用新型在使用时具有以下优点：

首先在拆装框架盒的盒盖时，框架盒是通过前卡扣2和后卡扣3固定在固定座1上的，晃动小，减小了晶圆碎片的风险；

其次通过传动杆11只需旋转第一按钮7便能同时顺时针或者逆时针转动盒盖上的开关，操作简便，提高了生产效率；

最后由于拆装框架盒的盒盖时，晶圆是水平放置的，晶圆由于自身的重力与圆片槽的间隙相同，在安装盒盖时不用人工一一调节晶圆的位置使晶圆与盒盖上的晶圆垫片一一对应，简化了工作步骤，提高了工作效率。

上述依据本实用新型为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (3)

1.一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，其特征在于：包括固定座、导轨、滑块和安装架，所述固定座的顶部安装有前卡扣和后卡扣，所述固定座的顶部在所述前卡扣和后卡扣的一侧安装有至少两个所述导轨，所有导轨平行设置，每个导轨上安装有所述滑块，所述安装架安装在所述滑块的上表面上，所述安装架靠近所述前卡扣和后卡扣的一面上安装有第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮，所述第一旋钮、第二旋钮和第三旋钮的旋转轴上分别安装有连接块，所述第一旋钮上的连接块、第二旋钮上的连接块、第三旋钮上的连接块分别和传动杆铰接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，其特征在于：所有导轨横向设置，所述前卡扣和后卡扣在所述固定座上的安装位置在横行方向上的投影位置重合。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆框架盒的盒盖拆装装置，其特征在于：所述固定座的顶部在每个导轨的前端和后端分别安装有限位块。

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