CN214367072U - 一种易于拆卸的光刻机连接件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种易于拆卸的光刻机连接件，包括固定杆，所述固定杆一侧固定连接有安装座，所述安装座内部中心嵌入连接有定位座，所述定位座前方一侧设有转动手柄，所述定位座内部设有嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧一端固定连接有顶板，所述顶板一侧固定连接有推板，所述顶板一侧设有定位杆，所述定位杆一端延伸至所述定位座外部，所述定位座一侧固定连接有转动座，所述转动座嵌入连接于卡座内部，所述卡座一端固定连接有转动杆，本实用新型通过在定位座内部设置可以伸缩的定位杆，在安装或拆卸时，可以用手捏住推板然后转动转动手柄，使定位杆收纳或固定在安装座中，结构简单，操作方便，便于安装与拆卸。

Description

一种易于拆卸的光刻机连接件

技术领域

本实用新型涉及一种易于拆卸的光刻机连接件，属于设备安装技术领域。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，曝光机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此曝光机价格昂贵，通常在3千万至5亿美元，制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺，这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一，许多美国德国品牌光刻机具有特殊专利的机械工艺设计，光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。

在安装光刻机时使用的安装件往往是由螺杆或卡扣进行固定，在检修维护时，由于连接件结构复杂，拆卸时较为麻烦，长期使用时，螺杆等金属制品容易出现生锈的现象，若螺杆出现生锈时，进行拆卸时则会浪费更多时间，影响工作效率，因此，需要一种易于拆卸的光刻机连接件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种易于拆卸的光刻机连接件，通过在定位座内部设置可以伸缩的定位杆，在安装或拆卸时，可以用手捏住推板然后转动转动手柄，使定位杆收纳或固定在安装座中，结构简单，操作方便，便于安装与拆卸，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种易于拆卸的光刻机连接件,包括固定杆，所述固定杆一侧固定连接有安装座，所述安装座内部中心嵌入连接有定位座，所述定位座前方一侧设有转动手柄，所述定位座内部设有嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧一端固定连接有顶板，所述顶板一侧固定连接有推板，所述顶板一侧设有定位杆，所述定位杆一端延伸至所述定位座外部，所述定位座一侧固定连接有转动座，所述转动座嵌入连接于卡座内部，所述卡座一端固定连接有转动杆。

进一步的，所述安装座底部呈半圆形，且半圆直径与所述定位座直径相同，所述安装座内部开设有容纳所述定位杆的凹槽，所述定位杆嵌入连接于所述安装座内部。

进一步的，所述定位座内部位于所述定位杆外部设有限位块，所述限位块与所述顶板抵触，所述顶板在所述定位座内部转动连接。

进一步的，所述推板一端延伸至所述定位座外部，所述定位座上开设有容纳所述推板通过的滑槽，所述推板在所述定位座上滑动连接。

进一步的，所述转动座在所述卡座内部形状呈T形，所述转动座在所述卡座内部转动连接。

进一步的，所述定位杆一端呈半圆形，所述顶板在所述定位座内部的行程大于所述定位杆位于所述定位座外部的长度，所述顶板、所述定位杆、所述限位块、所述推板与所述定位杆分别有两组并对称分布于所述压力弹簧两侧。

本实用新型的有益效果是：

通过在转动杆上设置卡座与定位座，定位座上设有压力弹簧与定位杆，在安装时，先将使用转动手柄转动定位座，将定位杆转动至与安装座垂直状态，将转动杆转动至安装座上方并卡接在安装座内部，接着用手捏住推板，将推板向转动手柄一侧移动，当推板移动时可以带动顶板与定位杆向定位座内的压力弹簧一侧移动，当定位杆收纳在定位座内部后，转动转动手柄使定位杆卡接在安装座内部，从而将定位座与转动杆固定，在拆卸时，可以捏住推板将定位杆旋转90°，然后向上托起定位座，从而将定位座从安装座中取出，结构简单，操作方便，便于将连接件进行安装与拆卸，提高工作效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种易于拆卸的光刻机连接件的主视图；

图2是本实用新型一种易于拆卸的光刻机连接件的定位座侧视图；

图3是本实用新型一种易于拆卸的光刻机连接件的定位座剖视图；

图4是本实用新型一种易于拆卸的光刻机连接件的A处区域放大图；

图中标号：1、固定杆；2、安装座；3、定位座；4、转动手柄； 5、压力弹簧；6、顶板；7、推板；8、定位杆；9、转动座；10、卡座；11、转动杆；12、限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：

一种易于拆卸的光刻机连接件，包括固定杆1，所述固定杆1一侧固定连接有安装座2，所述安装座2内部中心嵌入连接有定位座3，所述定位座前方一侧设有转动手柄4，所述定位座3内部设有嵌入连接有压力弹簧5，所述压力弹簧5一端固定连接有顶板6，所述顶板6一侧固定连接有推板7，所述顶板6一侧设有定位杆8，所述定位杆8一端延伸至所述定位座3外部，所述定位座3一侧固定连接有转动座9，所述转动座9嵌入连接于卡座10内部，所述卡座10一端固定连接有转动杆11。

具体的，如图1所示，所述安装座2底部呈半圆形，且半圆直径与所述定位座3直径相同，所述安装座2内部开设有容纳所述定位杆 8的凹槽，所述定位杆8嵌入连接于所述安装座2内部。

具体的，如图4所示，所述定位座3内部位于所述定位杆8外部设有限位块12，所述限位块12与所述顶板6抵触，所述顶板6在所述定位座3内部转动连接。

具体的，如图2、图3所示，所述推板7一端延伸至所述定位座3外部，所述定位座3上开设有容纳所述推板7通过的滑槽，所述推板7在所述定位座3上滑动连接。

具体的，如图2所示,所述转动座9在所述卡座10内部形状呈T 形，所述转动座9在所述卡座10内部转动连接。

具体的，如图1所示，所述定位杆8一端呈半圆形，所述顶板6 在所述定位座3内部的行程大于所述定位杆8位于所述定位座3外部的长度，所述顶板6、所述定位杆8、所述限位块12、所述推板7与所述定位杆8分别有两组并对称分布于所述压力弹簧5两侧。

本实用新型工作原理：在安装时，先将使用转动手柄4转动定位座3，将定位杆8转动至与安装座2垂直状态，将转动杆11转动至安装座2上方并卡接在安装座2内部，接着用手捏住推板7，将推板 7向转动手柄4一侧移动，当推板7移动时可以带动顶板6与定位杆 8向定位座3内的压力弹簧5一侧移动，当定位杆8收纳在定位座3 内部后，转动转动手柄4使定位杆8卡接在安装座2内部，从而将定位座3与转动杆11固定，在拆卸时，可以捏住推板7将定位杆8旋转90°，然后向上托起定位座3，从而将定位座3从安装座2中取出，然后将转动杆11翻转出来，完成操作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种易于拆卸的光刻机连接件,包括固定杆(1)，其特征在于：所述固定杆(1)一侧固定连接有安装座(2)，所述安装座(2)内部中心嵌入连接有定位座(3)，所述定位座(3)前方一侧设有转动手柄(4)，所述定位座(3)内部设有嵌入连接有压力弹簧(5)，所述压力弹簧(5)一端固定连接有顶板(6)，所述顶板(6)一侧固定连接有推板(7)，所述顶板(6)一侧设有定位杆(8)，所述定位杆(8)一端延伸至所述定位座(3)外部，所述定位座(3)一侧固定连接有转动座(9)，所述转动座(9)嵌入连接于卡座(10)内部，所述卡座(10)一端固定连接有转动杆(11)。

2.根据权利要求1所述的一种易于拆卸的光刻机连接件，其特征在于：所述安装座(2)底部呈半圆形，且半圆直径与所述定位座(3)直径相同，所述安装座(2)内部开设有容纳所述定位杆(8)的凹槽，所述定位杆(8)嵌入连接于所述安装座(2)内部。

3.根据权利要求1所述的一种易于拆卸的光刻机连接件，其特征在于：所述定位座(3)内部位于所述定位杆(8)外部设有限位块(12)，所述限位块(12)与所述顶板(6)抵触，所述顶板(6)在所述定位座(3)内部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种易于拆卸的光刻机连接件，其特征在于：所述推板(7)一端延伸至所述定位座(3)外部，所述定位座(3)上开设有容纳所述推板(7)通过的滑槽，所述推板(7)在所述定位座(3)上滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种易于拆卸的光刻机连接件，其特征在于：所述转动座(9)在所述卡座(10)内部形状呈T形，所述转动座(9)在所述卡座(10)内部转动连接。

6.根据权利要求3所述的一种易于拆卸的光刻机连接件，其特征在于：所述定位杆(8)一端呈半圆形，所述顶板(6)在所述定位座(3)内部的行程大于所述定位杆(8)位于所述定位座(3)外部的长度，所述顶板(6)、所述定位杆(8)、所述限位块(12)、所述推板(7)与所述定位杆(8)分别有两组并对称分布于所述压力弹簧(5)两侧。

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