CN214361661U - 一种可调节均一性的固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可调节均一性的固定装置，包括环形底座、固定块组件、调节组件和薄片组件；固定块组件设置在环形底座的四周用于承载薄片组件；调节组件设置在环形底座的四周并抵接于薄片组件用于可调节地承载薄片组件；玻璃基板安装在薄片组件上，薄片组件设置在固定块组件和调节组件上用于调节玻璃基板的光学膜厚。与现有技术相比，本实用新型通过调节组件对薄片组件的水平微调以及薄片组件对玻璃基板的水平调节，使玻璃基板能根据不同的光学指标需求实现其水平表面各个角度的自由调节，进而提高玻璃基板的水平均一性，避免玻璃基板在成膜过程中由于均一性低造成各个位置的波长分布散乱和波长偏差大的现象，提高产品的质量。

Description

一种可调节均一性的固定装置

技术领域

本实用新型涉及光学部件镀膜加工设备技术领域，具体而言，涉及一种可调节均一性的固定装置。

背景技术

分光片是可以将辐射光束分成几部分的一种光学部件。根据不同的波长和极化方向，可以按照不同的光强比例分光。这一效果通过不同的光学设计来达到，例如半透半反镜，一半光线可以反射，一半光线则透过镜片。棱镜和其他的光学结构也可以用在这里，例如纯反光分光片可以将入射光按照不同的方向进行分光。因为很多金属物质在红外光谱范围内具有高反射性能，所以此类的反射装置非常适用红外光谱。此外，只需要简单的结构设计，即可以室每一束单独的光线具有相同的反射强度。

在如今光通讯行业高速发展的带动下，分光片的需求量也呈现爆发性增长。但现有技术存在缺陷，例如：

传统的分光片制造运用常规的固定夹具装载基片进行成膜，成膜过程中无法调节相应位置的均一性,最终导致分光片各个位置的波长分布散乱，波长偏差较大，进而导致产品良率不高，无法满足客户光学指标。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型通过调节组件对薄片组件的水平微调以及薄片组件对玻璃基板的水平调节，使玻璃基板能够根据不同的光学指标需求实现其水平表面各个角度的自由调节，提高所述玻璃基板的水平均一性，提高镀膜的良率。

一种可调节均一性的固定装置，具体技术方案如下所示：

一种可调节均一性的固定装置，包括：环形底座、固定块组件、调节组件和薄片组件；

所述固定块组件均匀地设置在所述环形底座的四周，用于承载所述薄片组件；

所述调节组件可升降地设置在所述环形底座的四周并抵接于所述薄片组件，用于可调节地承载所述薄片组件；

外部的玻璃基板安装在所述薄片组件上，所述薄片组件可叠加地设置在所述固定块组件和所述调节组件上，用于调节所述玻璃基板的光学膜厚。

在一个具体的实施例中，所述固定块组件包括多个固定块，多个所述固定块均匀地设置在所述环形底座的四周；

所述调节组件包括多个调节件，每个所述调节件分别可升降地设置在所述环形底座的四周，且位于每两个所述固定块之间；

所述薄片组件包括多个方位的薄片，所述玻璃基板安装在多个方位的所述薄片上，多个方位的所述薄片沿竖直方向可叠加地设置在多个所述固定块和多个所述调节件上，用于调节所述玻璃基板的水平高度。

在一个具体的实施例中，所述固定块的数量为3个，分别为第一固定块、第二固定块和第三固定块；

所述第一固定块位于所述环形底座的0度方向的位置；

所述第二固定块与所述第一固定块相邻120度，且位于所述环形底座的120度方向的位置；

所述第三固定块与所述第一固定块相邻240度，且位于所述环形底座的240度方向的位置；

所述第一固定块、所述第二固定块和所述第三固定块分别用于承载所述薄片组件。

在一个具体的实施例中，所述调节件的数量为3个，分别为第一调节件、第二调节件和第三调节件；

所述第一调节件与所述第一固定块相邻30度，且位于所述环形底座的30度方向的位置；

所述第二调节件与所述第一固定块相邻180度，且位于所述环形底座的180度方向的位置；

所述第三调节件与所述第一固定块相邻30度，且位于所述环形底座的330度方向的位置；

所述第一调节件、所述第二调节件和所述第三调节件朝向所述玻璃基板的一端分别抵接多个所述薄片，用于调节所述玻璃基板的水平高度。

在一个具体的实施例中，所述薄片组件包括4个基本方位的薄片，分别为第一方位薄片、第二方位薄片、第三方位薄片和第四方位薄片；

所述第一方位薄片设置在所述第一调节件和所述第一固定块上，所述第二方位薄片设置在所述第二固定块和所述第二调节件上，所述第三方位薄片设置在所述第三固定块上，所述第四方位薄片设置在所述第三调节件和所述第一固定件上；

所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片互相环绕形成通孔，用于承载所述玻璃基板。

在一个具体的实施例中，所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片沿竖直方向分别至少包括一个所述薄片。

在一个具体的实施例中，所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片的形状分别为圆弧状。

在一个具体的实施例中，所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片的厚度分别为0.05mm。

在一个具体的实施例中，所述环形底座包括与外部镀膜机互相配合的缺口，用于使所述环形底座卡接固定于所述外部镀膜机上。

相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过调节组件抵接薄片组件以及薄片组件沿竖直方向可叠加地承载玻璃基板，利用调节组件对薄片组件的水平微调以及薄片组件对玻璃基板的水平调节，使玻璃基板能够根据不同的光学指标需求实现其水平表面各个角度的自由调节，进而提高玻璃基板的水平均一性，避免玻璃基板在成膜过程中由于均一性低造成各个位置的波长分布散乱和波长偏差大的现象，提高产品的质量，满足客户的光学指标。且本实用新型结构简单，生产成本低，有利于大批量生产。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是实施例中可调节均一性的固定装置的第一视角图；

图2是实施例中可调节均一性的固定装置的第二视角图；

图3是实施例中薄片组件的结构分布图。

主要元件符号说明：

1-环形底座；5-第一固定块；6-第二固定块；7-第三固定块；8-第一调节件；9-第二调节件；10-第三调节件；11-第一方位薄片；12-第二方位薄片；13-第三方位薄片；14-第四方位薄片。

具体实施方式

根据本实用新型提供的一种可调节均一性的固定装置，通过调节组件抵接薄片组件以及薄片组件沿竖直方向可叠加地承载玻璃基板，利用调节组件对薄片组件的水平微调以及薄片组件对玻璃基板的水平调节，使玻璃基板能够根据不同的光学指标需求实现其水平表面各个角度的自由调节，提高玻璃基板的水平均一性。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1-图3所示，本实施例提供一种可调节均一性的固定装置，包括：环形底座1、固定块组件、调节组件和薄片组件。

固定块组件均匀地设置在环形底座1的四周，用于承载薄片组件，调节组件可升降地设置在环形底座1的四周并抵接于薄片组件，用于可调节地承载薄片组件，外部的玻璃基板安装在薄片组件上，薄片组件可叠加地设置在固定块组件和调节组件上，用于调节玻璃基板的光学膜厚。

本实施例中，固定块组件包括多个固定块，多个固定块均匀地设置在环形底座1的四周。

调节组件包括多个调节件，每个调节件分别可升降地设置在环形底座1的四周，且位于每两个固定块之间。

薄片组件包括多个方位的薄片，玻璃基板安装在多个方位的薄片上，多个方位的薄片沿竖直方向可叠加地设置在多个固定块和多个调节件上，用于调节玻璃基板的水平高度。

如图1所示，本实施例中，固定块的数量为3个，分别为第一固定块5、第二固定块6和第三固定块7，第一固定块5位于环形底座1的0度方向的位置，第二固定块6与第一固定块5相邻120度，且位于环形底座1的120度方向的位置，第三固定块7与第一固定块5相邻240度，且位于环形底座1的240度方向的位置。

需要说明的是，固定块的数量为3个仅是本实施例的优选数量，其还有其他优选数量：4个、5个或6个等。第一固定块5与第二固定块6之间相邻的角度120度并设置在环形底座1的120度方向的位置和第三固定块7与第一固定块5之间相邻的角度240度并设置在环形底座1的240度方向的位置仅是本实施例的优选，本实施例可以根据不同的场景设置固定块的数量和设置多个固定块之间的角度，以及固定块在环形底座1上的位置。

第一固定块5、第二固定块6和第三固定块7分别用于承载薄片组件。

本实施例中，调节件的数量为3个，分别为第一调节件8、第二调节件9和第三调节件10，第一调节件8与第一固定块5相邻30度，且位于环形底座1的30度方向的位置，第二调节件9与第一固定块5相邻180度，且位于环形底座1的180度方向的位置，第三调节件10与第一固定块5相邻30度，且位于环形底座1的330度方向的位置。

需要说明的是，调节件的数量为3个仅是本实施例的优选数量，其还有其他优选数量：4个、5个或6个等。第一调节件8与第一固定块5之间相邻30度并设置在环形底座1的30度方向的位置、第二调节件9与第一固定块5之间相邻180度并设置在环形底座1的180度方向的位置和第三调节件10与第一固定块5相邻30度并设置在环形底座1的330度方向的位置仅是本实施例的优选，本实施例可以根据不同的场景设置调节件的数量以及设置每个调节件与每个固定块之间的角度。

第一调节件8、第二调节件9和第三调节件10朝向玻璃基板的一端分别抵接多个薄片，用于调节玻璃基板的水平高度。

具体地，第一调节件8、第二调节件9和第三调节件10可以是螺钉、螺栓、销钉等调节件，环形底座1的四周设置有与多个调节件互相配合的孔，通过扭动旋转调节件，使调节件上的薄片上调或下降一定的距离。

具体地，每个调节件的调节距离具有灵活性，每个调节件是根据玻璃基板水平表面的不同需求进行独立操作的，没有要求每个调节件的调节距离必须一致。

如图3所示，本实施例中，薄片组件包括4个基本方位的薄片，分别为第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14。

第一方位薄片11设置在第一调节件8和第一固定块5上，第二方位薄片12设置在第二固定块6和第二调节件9上，第三方位薄片13设置在第三固定块7上，第四方位薄片14设置在第三调节件10和第一固定件上。

第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14互相环绕形成通孔，用于承载玻璃基板。

本实施例中，第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14沿竖直方向分别至少包括一个薄片。

具体地，第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14沿竖直方向的数量分别是灵活性的，第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14沿竖直方向的数量分别由玻璃基板的膜厚决定，可根据成膜时的光学膜厚进行准确的添加或减少。

本实施例中，第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14的形状分别为圆弧状。

本实施例中，第一方位薄片11、第二方位薄片12、第三方位薄片13和第四方位薄片14的厚度分别为0.05mm。

具体地，每片薄片的厚度为0.05mm，通过计算光学膜厚可换算出所需的薄片数量，每增加1片薄片可对分光片进行1nm的均一性调节。

本实施例中，环形底座1包括与外部镀膜机互相配合的缺口，用于使环形底座1卡接固定于外部镀膜机上。

与现有技术相比，本实用新型通过调节组件抵接薄片组件以及薄片组件沿竖直方向可叠加地承载玻璃基板，利用调节组件对薄片组件的水平微调以及薄片组件对玻璃基板的水平调节，使玻璃基板能够根据不同的光学指标需求实现其水平表面各个角度的自由调节，进而提高玻璃基板的水平均一性，避免玻璃基板在成膜过程中由于均一性低造成各个位置的波长分布散乱和波长偏差大的现象，提高产品的质量，满足客户的光学指标。且本实用新型结构简单，生产成本低，有利于大批量生产。

本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本实用新型所必须的。

本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。

上述本实用新型序号仅仅为了描述，不代表实施场景的优劣。

以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施场景，但是，本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种可调节均一性的固定装置，其特征在于,包括环形底座、固定块组件、调节组件和薄片组件；

所述固定块组件均匀地设置在所述环形底座的四周，用于承载所述薄片组件；

所述调节组件可升降地设置在所述环形底座的四周并抵接于所述薄片组件，用于可调节地承载所述薄片组件；

外部的玻璃基板安装在所述薄片组件上，所述薄片组件可叠加地设置在所述固定块组件和所述调节组件上，用于调节所述玻璃基板的光学膜厚。

2.根据权利要求1所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述固定块组件包括多个固定块，多个所述固定块均匀地设置在所述环形底座的四周；

所述调节组件包括多个调节件，每个所述调节件分别可升降地设置在所述环形底座的四周，且位于每两个所述固定块之间；

所述薄片组件包括多个方位的薄片，所述玻璃基板安装在多个方位的所述薄片上，多个方位的所述薄片沿竖直方向可叠加地设置在多个所述固定块和多个所述调节件上，用于调节所述玻璃基板的水平高度。

3.根据权利要求2所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述固定块的数量为3个，分别为第一固定块、第二固定块和第三固定块；

所述第一固定块位于所述环形底座的0度方向的位置；

所述第二固定块与所述第一固定块相邻120度，且位于所述环形底座的120度方向的位置；

所述第三固定块与所述第一固定块相邻240度，且位于所述环形底座的240度方向的位置；

所述第一固定块、所述第二固定块和所述第三固定块分别用于承载所述薄片组件。

4.根据权利要求3所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述调节件的数量为3个，分别为第一调节件、第二调节件和第三调节件；

所述第一调节件与所述第一固定块相邻30度，且位于所述环形底座的30度方向的位置；

所述第二调节件与所述第一固定块相邻180度，且位于所述环形底座的180度方向的位置；

所述第三调节件与所述第一固定块相邻30度，且位于所述环形底座的330度方向的位置；

所述第一调节件、所述第二调节件和所述第三调节件朝向所述玻璃基板的一端分别抵接多个所述薄片，用于调节所述玻璃基板的水平高度。

5.根据权利要求4所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述薄片组件包括4个基本方位的薄片，分别为第一方位薄片、第二方位薄片、第三方位薄片和第四方位薄片；

所述第一方位薄片设置在所述第一调节件和所述第一固定块上，所述第二方位薄片设置在所述第二固定块和所述第二调节件上，所述第三方位薄片设置在所述第三固定块上，所述第四方位薄片设置在所述第三调节件和所述第一固定件上；

所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片互相环绕形成通孔，用于承载所述玻璃基板。

6.根据权利要求5所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片沿竖直方向分别至少包括一个所述薄片。

7.根据权利要求5所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片的形状分别为圆弧状。

8.根据权利要求5所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述第一方位薄片、所述第二方位薄片、所述第三方位薄片和所述第四方位薄片的厚度分别为0.05mm。

9.根据权利要求1所述的可调节均一性的固定装置，其特征在于：

所述环形底座包括与外部镀膜机互相配合的缺口，用于使所述环形底座卡接固定于所述外部镀膜机上。

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