CN214306525U - 一种四氯化硅供料系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种四氯化硅供料系统，其不同之处在于：其包括供氮部、供料部、车间终端设备、排压部、及排污部；供氮部包括氮气供应装置及供氮管道；供料部包括原料罐、屏蔽泵、缓冲罐、缓冲供料管道、及车间供料管道，原料罐及缓冲罐分别通过供氮管道与氮气供应装置连通，原料罐、屏蔽泵、及缓冲罐通过缓冲供料管道依次连通，缓冲罐与车间终端设备通过车间供料管道连通，车间供料管道上设置有过滤器；排压部包括碱水池及排压管，原料罐及缓冲罐分别通过排压管与碱水池连通；排污部包括废料罐及排污管道，原料罐及缓冲罐分别通过排污管道与废料罐连通。本实用新型对车间终端设备平稳供料。
Description
技术领域
本实用新型涉及原料供料系统领域，尤其是一种四氯化硅供料系统。
背景技术
请参考图1至图2，将原料罐201的四氯化硅原料供应至车间终端设备3一般有两种方式，第一种是通过屏蔽泵202将原料罐201内的四氯化硅原料抽至往车间终端设备3，第二种是对原料罐201充压高纯氮气，将原料罐201内的四氯化硅原料输送至车间终端设备3，这两种方式的车间终端设备3使用压力都要求稳定，而屏蔽泵202在启动或停止的过程中，会出现液体涌流的现象，会导致进料压力不稳定的现象。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种四氯化硅供料系统，对车间终端设备平稳供料。
为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为：一种四氯化硅供料系统，其不同之处在于：其包括供氮部、供料部、车间终端设备、排压部、及排污部；所述供氮部包括氮气供应装置及供氮管道；所述供料部包括原料罐、屏蔽泵、缓冲罐、缓冲供料管道、及车间供料管道，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述供氮管道与所述氮气供应装置连通，所述原料罐、屏蔽泵、及缓冲罐通过所述缓冲供料管道依次连通，所述缓冲罐与所述车间终端设备通过所述车间供料管道连通，所述车间供料管道上设置有过滤器；所述排压部包括碱水池及排压管，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述排压管与所述碱水池连通；所述排污部包括废料罐及排污管道，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述排污管道与所述废料罐连通。
按以上技术方案，所述原料罐有若干个，所述缓冲罐有若干个；所述供氮管道包括原料罐供氮管段、缓冲罐供氮管段、及与所述氮气供应装置连通的主供氮管段；所述主供氮管段上设置有控制所述缓冲罐供氮管段氮气进量的调压阀、及靠近所述氮气供应装置的一处的主供氮阀，所述原料罐供氮管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐与所述主供氮管段连通，各所述原料罐供氮管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一供氮阀；所述缓冲罐供氮管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐与所述主供氮管段连通，各所述缓冲罐供氮管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二供氮阀。
按以上技术方案，所述缓冲供料管道包括原料罐排料管段、第一供料管段、屏蔽泵进料管段、屏蔽泵排料管段、第二供料管段、及缓冲罐进料管段；所述第一供料管段具有相对设置的第一端及第二端；所述原料罐排料管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐分别与所述第一供料管段的第一端连通，各所述原料罐排料管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排料阀；所述屏蔽泵进料管段有若干个且与各所述屏蔽泵一一对应，将各所述屏蔽泵的进口分别与所述第一供料管段的第二端连通，各所述屏蔽泵进料管段靠近对应所述屏蔽泵的一处分别设置有第一进料阀；所述第二供料管段具有相对设置的第一端及第二端；所述屏蔽泵排料管段有若干个且与各所述屏蔽泵一一对应，将各所述屏蔽泵的出口分别与所述第二供料管段的第一端连通，各所述屏蔽泵排料管段靠近对应所述屏蔽泵的一处分别设置有第二排料阀；所述缓冲罐进料管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐分别与所述第二供料管段的第二端连通，各所述缓冲罐进料管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二进料阀。
按以上技术方案，各所述原料罐上分别具有用于连通对应所述原料罐排料管段的原料罐排料口，所述原料罐排料口到所述原料罐底部的距离不小于200mm；各所述缓冲罐上分别具有用于连通对应所述缓冲罐排料管道的缓冲罐排料口，所述缓冲罐排料口到所述缓冲罐底部的距离不小于200mm。
按以上技术方案，所述车间供料管道的一端与所述缓冲供料管道的第二供料管段连通、另一端与所述车间终端设备连通，所述车间供料管道上设置有位于所述过滤器两侧的两个第三排料阀。
按以上技术方案，系统还包括备用车间供料管道，所述备用车间供料管道的一端与所述缓冲供料管道的第二供料管段连通、另一端与所述车间终端设备可拆卸连通；所述备用车间供料管道上还设置有备用过滤器及位于所述备用过滤器两侧的两个备用排料阀。
按以上技术方案，所述排压管道包括原料罐排压管段、缓冲罐排压管段、缓冲排压管段、及与所述碱水池连通的主排压管段；所述主排压管段靠近所述碱水池的一处设置有主排压阀，所述缓冲排压管段靠近所述废料罐的一处设置有缓冲排压阀；所述原料罐排压管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐分别与所述主排压管段连通，各所述原料罐排压管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排压阀；所述缓冲罐排压管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐分别与所述主排压管段连通，所述缓冲排压管段用于连通所述主排压管段和废料罐，各所述缓冲罐排污管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二排压阀。
按以上技术方案，所述排污管道包括原料罐排污管段、缓冲罐排污管段、及与所述废料罐连通的主排污管段；所述主排污管段靠近所述废料罐的一处设置的主排污阀；所述原料罐排污管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐的底部分别与所述主排污管段连通，各所述原料罐排污管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排污阀；所述缓冲罐排污管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐的底部分别与所述主排污管段连通，各所述缓冲罐排污管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二排污阀。
按以上技术方案，系统还包括槽车供料部，所述槽车供料部包括槽车、槽车供氮管道、槽车供料管道、槽车连通管道、槽车排压管道、及压力表；所述槽车上具有进氮口和供料口，所述槽车的进氮口与所述槽车的供料口之间通过所述槽车连通管道连通，所述槽车连通管道靠近所述槽车的进氮口的一处设置有第一槽车进氮阀、靠近所述槽车的供料口的一处设置有第一槽车供料阀，所述槽车连通管道上设置有第一三通阀及第二三通阀，所述槽车供氮管道的一端与所述主供氮管段可拆卸连通、另一端与所述第一三通阀可拆卸连通，所述槽车供氮管道靠近所述主供氮管段的一处设置有第二槽车进氮阀，所述槽车供料管道的一端与对应所述原料罐可拆卸连通、另一端与所述第二三通阀可拆卸连通，所述槽车供料管道靠近所述原料罐的一处设置有第二槽车供料阀，所述槽车供料管道上还设置有压力表，所述槽车排压管道的一端与所述槽车供料管道连通、另一端与所述主排压管道连通，所述槽车排压管道上还设置有所述槽车排压阀。
对比现有技术，本实用新型的有益特点为：该四氯化硅供料系统，原料罐及缓冲罐分别通过供氮管道与氮气供应装置连通，通过氮气供应装置给原料罐或缓冲罐供应氮气；原料罐、屏蔽泵、及缓冲罐通过缓冲供料管道依次连通，通过给原料罐供氮，使原料罐内的四氯化硅原料被压入进入到缓冲罐内，缓冲罐与车间终端设备通过车间供料管道连通，通过给缓冲罐供氮，使缓冲罐内的四氯化硅原料被压入进入到车间终端设备，对车间终端设备稳定供应四氯化硅原料；车间供料管道上设置有过滤器，用于过滤细小微粒，避免供应给车间设备的四氯化硅原料不符合标准；原料罐及缓冲罐分别通过排压管与碱水池连通，将释放原料罐内氮气及四氯化硅混合气体排入到碱水池内，避免直接排放污染环境；原料罐、缓冲罐通过排污管道连通，若操作失误，出现原料罐或缓冲罐内出现不纯净的四氯化硅原料时，将污染的四氯化硅原料及时排出。
附图说明
图1为现有技术中的第一种方式的四氯化硅供料系统的结构示意图；
图2为现有技术中的第二种方式的四氯化硅供料系统的结构示意图；
图3为本实用新型实施例中一种四氯化硅供料系统的结构示意图；
图4为本实用新型实施例中一种四氯化硅供料系统的结构示意图；
图5为本实用新型实施例中一种四氯化硅供料系统的结构示意图；
其中：1-供氮部（101-氮气供应装置、102-供氮管道（1021-原料罐供氮管段（10211-第一供氮阀）、1022-缓冲罐供氮管段（10221-第二供氮阀）、1023-主供氮管段（10231-主供氮阀、10232-调压阀）））、2-供料部（201-原料罐（2011-原料罐排料口、H1-原料罐排料口到原料罐底部的距离）、202-屏蔽泵、203-缓冲罐（2031-缓冲罐排料口、H2-缓冲罐排料口到缓冲罐底部的距离）、204-缓冲供料管道（2041-原料罐排料管段（20411-第一排料阀）、2042-第一供料管段（2042a-第一供料管段的第一端、2042b-第一供料管段的第二端）、2043-屏蔽泵进料管段（20431-第一进料阀）、2044-屏蔽泵排料管段（20441-第二排料阀）、2045-第二供料管段（2045a-第二供料管段的第一端、2045b-第二供料管段的第二端）、2046-缓冲罐进料管段（20461-第二进料阀））、205-车间供料管道（2051-第三排料阀、2052-过滤器）、206-备用车间供料管道（2061-备用过滤器、2062-备用排料阀）、3-车间终端设备、4-排压部（401-碱水池、402-排压管道（4021-原料罐排压管段（40211-第一排压阀）、4022-缓冲罐排压管段（40221-第二排压阀）、4023-缓冲排压管段（40231-缓冲排压阀）、4024-主排压管段（40241-主排压阀）））、5-排污部（501-废料罐、502-排污管道（5021-原料罐排污管段（50211-第一排污阀）、5022-缓冲罐排污管段（50221-第二排污阀）、5023-主排污管段（50231-主排污阀）））、6-槽车供料部（601-槽车（6011-进氮口、6012-供料口）、602-槽车供氮管道、603-槽车供料管道（6031-第二槽车供料阀）、604-槽车连通管道（6041-第一槽车进氮阀、6042-第一槽车供料阀、6043-第一三通阀、6044-第二三通阀）、605-压力表、606-槽车排压管道（6061-槽车排压阀））。
具体实施方式
请参考图3至图5，本实用新型实施例一种四氯化硅供料系统，其包括供氮部1、供料部2、车间终端设备3、排压部4、及排污部5；供氮部1包括氮气供应装置101及与供氮管道102；供料部2包括原料罐201、屏蔽泵202、缓冲罐203、缓冲供料管道204、及车间供料管道205，原料罐201及缓冲罐203分别通过供氮管道102与氮气供应装置101连通，通过氮气供应装置101给原料罐201或缓冲罐203供应氮气，原料罐201、屏蔽泵202、及缓冲罐203通过缓冲供料管道204依次连通，通过给原料罐201供氮，使原料罐201内的四氯化硅原料被压入进入到缓冲罐203内，缓冲罐203与车间终端设备3通过车间供料管道205连通，通过给缓冲罐203供氮，使缓冲罐203内的四氯化硅原料被压入进入到车间终端设备3，对车间终端设备3稳定供应四氯化硅原料，车间供料管道205上设置有过滤器2052，用于过滤细小微粒，避免供应给车间设备的四氯化硅原料不符合标准；排压部4包括碱水池401及排压管，使原料罐201及缓冲罐203分别通过排压管与碱水池401连通；排污部5包括废料罐501及排污管道，使原料罐201及缓冲罐203分别通过排污管道与废料罐501连通，操作失误时，将原料罐201或缓冲罐203内出现不纯净的四氯化硅原料及时排出。
优选地，原料罐201有若干个，缓冲罐203有若干个；供氮管道102包括原料罐供氮管段1021、缓冲罐供氮管段1022、及与氮气供应装置101的主供氮管段1023；主供氮管段1023上设置有上设置有控制缓冲罐供氮管段1022氮气进量的调压阀10232及靠近氮气供应装置101的一处的主供氮阀10231，原料罐供氮管段1021有若干个且与各原料罐201一一对应，将各原料罐201与主供氮管段1023连通，各原料罐供氮管段1021靠近对应原料罐201的一处分别设置有第一供氮阀10211；缓冲罐供氮管段1022有若干个且与各缓冲罐203一一对应，将各缓冲罐203与主供氮管段1023连通，各缓冲罐供氮管段1022靠近对应缓冲罐203的一处分别设置有第二供氮阀10221，给原料罐201供氮时，打开主供氮阀10231和第一供氮阀10211，第二供氮阀10221及调压阀10232关闭，给缓冲罐203供氮时，打开主供氮阀10231、调压阀10232、及第二供氮阀10221，关闭第一供氮阀10211，通过调压阀10232使缓冲罐203稳定对车间终端设备3供应四氯化硅原料。
优选地，缓冲供料管道204包括原料罐排料管段2041、第一供料管段2042、屏蔽泵进料管段2043、屏蔽泵排料管段2044、第二供料管段2045、及缓冲罐进料管段2046；第一供料管段2042具有相对设置的第一端及第二端；原料罐排料管段2041有若干个且与各原料罐201一一对应，将各原料罐201分别与第一供料管段的第一端2042a连通，各原料罐排料管段2041靠近对应原料罐201的一处分别设置有第一排料阀20411；屏蔽泵进料管段2043有若干个且与各屏蔽泵202一一对应，将各屏蔽泵202的进口分别与第一供料管段的第二端2042b连通，各屏蔽泵进料管段2043靠近对应屏蔽泵202的一处分别设置有第一进料阀20431；第二供料管段2045具有相对设置的第一端及第二端；屏蔽泵排料管段2044有若干个且与各屏蔽泵202一一对应，将各屏蔽泵202的出口分别与第二供料管段的第一端2045a连通，各屏蔽泵排料管段2044靠近对应屏蔽泵202的一处分别设置有第二排料阀20441；缓冲罐进料管段2046有若干个且与各缓冲罐203一一对应，将各缓冲罐203分别与第二供料管段的第二端2045b连通，各缓冲罐进料管段2046靠近对应缓冲罐203的一处分别设置有第二进料阀20461，将其中一个原料罐201中的四氯化硅原料供应到其中一个缓冲罐203内时，通过氮气供应装置101对对应原料罐201充入氮气，将对应的第一排料阀20411及对应的第二进料阀20461打开，将各第一进料阀20431及第二排料阀20441都打开。
具体地，各原料罐201上分别具有用于连通对应原料罐排料管段2041的原料罐排料口2011，原料罐排料口到原料罐底部的距离H1不小于200mm；各缓冲罐203上分别具有用于连通对应缓冲罐203排料管道的缓冲罐排料口2031，缓冲罐排料口到缓冲罐底部的距离H2不小于200mm，避免原料罐201或屏蔽泵202或缓冲罐203内的微粒随四氯化硅原料进入到车间终端设备3，避免进入到车间终端设备3的四氯化硅原料不符合标准。
优选地，车间供料管道205的一端与缓冲供料管道204的第二供料管段2045连通、另一端与车间终端设备3连通，车间供料管道205上设置有位于过滤器2052两侧的两个第三排料阀2051，将其中一个缓冲罐203内的四氯化硅原料供应到车间终端设备3时，打开主供氮阀10231、调压阀10232、及第二供氮阀10221，打开第二排料阀20441及两个第三排料阀2051。
优选地，系统还包括备用车间供料管道206，备用车间供料管道206的一端与缓冲供料管道204的第二供料管段2045连通、另一端与车间终端设备3可拆卸连通；备用车间供料管道206上还设置有备用过滤器过滤器2061，及位于备用过滤器过滤器2061两侧的两个备用排料阀2062，当车间供料管道出现问题时，将备用车间供料管道206与车间终端设备3连接，然后通过备用车间供料管道206对车间终端设备3供料。
优选地，排压管道402包括原料罐排压管段4021、缓冲罐排压管段4022、缓冲排压管段4023、及与碱水池401连通的主排压管段4024；主排压管段4024靠近碱水池401的一处设置有主排压阀40241，缓冲排压管段4023靠近废料罐501的一处设置有缓冲排压阀40231；原料罐排压管段4021有若干个且与各原料罐201一一对应，将各原料罐201分别与主排压管段4024连通，各原料罐排压管段4021靠近对应原料罐201的一处分别设置有第一排压阀40211；缓冲罐排压管段4022有若干个且与各缓冲罐203一一对应，将各缓冲罐203分别与主排压管段4024连通，缓冲排压管段4023用于连通主排压管段4024和废料罐501，各缓冲罐排污管段5022靠近对应缓冲罐203的一处分别设置有第二排压阀40221，对原料罐201或缓冲罐203重新罐料之前，需要对原料罐201或缓冲罐203排压，需要将缓冲排压阀40231及主排压阀40241打开，将第一排压阀40211或第二排压阀40221打开。
优选地，排污管道502包括原料罐排污管段5021、缓冲罐排污管段5022、及与废料罐501连通的主排污管段5023；主排污管段5023靠近废料罐501的一处设置的的主排污阀50231；原料罐排污管段5021有若干个且与各原料罐201一一对应，将各原料罐201的底部分别与主排污管段5023连通，各原料罐排污管段5021靠近对应原料罐201的一处分别设置有第一排污阀50211；缓冲罐排污管段5022有若干个且与各缓冲罐203一一对应，将各缓冲罐203的底部分别与主排污管段5023连通，各缓冲罐排污管段5022靠近对应缓冲罐203的一处分别设置有第二排污阀50221，原料罐201或缓冲罐203出现泄漏后，打开主排污阀50231，打开第一排污阀50211或第二排污阀50221。
优选地，系统还包括槽车供料部6，槽车供料部6包括槽车601、槽车供氮管道602、槽车供料管道603、槽车连通管道604、槽车排压管道、及压力表605；槽车601上具有进氮口6011和供料口6012，槽车601的进氮口6011与槽车601的供料口6012之间通过槽车连通管道604连通，槽车连通管道604靠近槽车601的进氮口6011的一处设置有第一槽车进氮阀6041、靠近槽车601的供料口6012的一处设置有第一槽车供料阀6042，槽车连通管道604上设置有第一三通阀6043及第二三通阀6044，槽车供氮管道602的一端与主供氮管段1023可拆卸连通、另一端与第一三通阀6043可拆卸连通，槽车供氮管道602靠近主供氮管段1023的一处设置有第二槽车进氮阀6021，槽车供料管道603的一端与对应原料罐201可拆卸连通、另一端与第二三通阀6044可拆卸连通，槽车供料管道603靠近对应原料罐的一处设置有第二槽车供料阀6031，槽车供料管道603上还设置有压力表605，槽车排压管道606的一端与槽车供料管道603连通、另一端与主排压管道4024连通，槽车排压管道606上还设置有槽车排压阀6061，槽车601向其中一个原料罐201供料时，槽车供氮管道602的一端与主供氮管段1023连接、另一端与第一三通阀6043连接，槽车供料管道603的一端与对应原料罐201连接、另一端与第二三通阀6044连接，关闭槽车排压阀6061，打开主供氮阀10231、第二槽车进氮阀6021、第一槽车进氮阀6041、第一槽车供料阀6042、及第二槽车供料阀6031，将第一三通阀6043切换成进氮口6011与槽车供氮管道602连通，将第二三通阀6044切换成供料口6012与槽车供料管道603，槽车601停止向原料罐201供料时，需要对槽车601降压，排出槽车601内的四氯化硅和氮气的混合气体，在上述步骤的条件下，打开槽车排压阀6061，关闭第二槽车供料阀6031；对槽车601降压后，关闭主供氮阀10231、第一槽车进氮阀6041、第一槽车供料阀6042、及槽车排压阀6061，将第一三通阀6043切换成进氮口6011与槽车连通管道604连通，将第二三通阀6044切换成供料口6012与槽车连通管道604连通，拆卸槽车供氮管道602、槽车供料管道603及压力表605；压力表605用于控制槽车601内的压力。
请参考图3至图5，本实用新型实施例一种四氯化硅供料系统，需要通过槽车601对各原料罐201依次供应四氯化硅原料，共分为三个步骤，第一步，槽车601向其中一个原料罐201供料时，槽车供氮管道602的一端与主供氮管段1023连接、另一端与第一三通阀6043连接，槽车供料管道603的一端与对应原料罐201连接、另一端与第二三通阀6044连接，关闭槽车排压阀6061，打开主供氮阀10231、第二槽车进氮阀6021、第一槽车进氮阀6041、第一槽车供料阀6042、及第二槽车供料阀6031，将第一三通阀6043切换成进氮口6011与槽车供氮管道602连通，将第二三通阀6044切换成供料口6012与槽车供料管道603；第二步，槽车601停止向原料罐201供料时，需要对槽车601降压，排出槽车601内的四氯化硅和氮气的混合气体，在上述步骤的条件下，打开槽车排压阀6061，关闭第二槽车供料阀6031；第三步，对槽车601降压后，关闭主供氮阀10231、第一槽车进氮阀6041、第一槽车供料阀6042、及槽车排压阀6061，将第一三通阀6043切换成进氮口6011与槽车连通管道604连通，将第二三通阀6044切换成供料口6012与槽车连通管道604连通，拆卸槽车供氮管道602、槽车供料管道603及压力表605。其中一个原料罐201向其中一个缓冲罐203供应四氯化硅原料时，打开主供氮阀10231和第一供氮阀10211，关闭第二供氮阀10221及调压阀10232，打开对应的第一排料阀20411及第二进料阀20461，打开第一进料阀20431及第二排料阀20441；原料罐201内四氯化硅原料已经供应完，且停止对缓冲罐203供应四氯化硅原料时，关闭主供氮阀10231和第一供氮阀10211，关闭对应的第一排料阀20411及第二进料阀20461，关闭第一进料阀20431及第二排料阀20441，通过各原料罐201交替给各缓冲罐203供料。
将其中一个缓冲罐203内的四氯化硅原料供应到车间终端设备3时，给缓冲罐203供氮时，打开主供氮阀10231、调压阀10232、及第二供氮阀10221，关闭第一供氮阀10211，打开主供氮阀10231、调压阀10232、及第二供氮阀10221，打开第二排料阀20441及两个第三排料阀2051。
重新给原料罐201或缓冲罐203供料时，原料罐201或缓冲罐203需要先排出氮气及四氯化硅的混合气体，打开缓冲排压阀40231及主排压阀40241，打开第一排压阀40211或第二排压阀40221。
为了避免泄漏事故，在原料罐201或缓冲罐203出现泄漏后，原料罐201或缓冲罐203内出现不纯净的四氯化硅原料时，打开主排污阀50231，打开第一排污阀50211或第二排污阀50221，使原料罐201或缓冲罐203内的四氯化硅原料排入到废料罐501内。
以上内容是结合具体的实施方式对本实用新型所做的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明，对于本实用新型所属的技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种四氯化硅供料系统，其特征在于：其包括供氮部、供料部、车间终端设备、排压部、及排污部；所述供氮部包括氮气供应装置及供氮管道；所述供料部包括原料罐、屏蔽泵、缓冲罐、缓冲供料管道、及车间供料管道，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述供氮管道与所述氮气供应装置连通，所述原料罐、屏蔽泵、及缓冲罐通过所述缓冲供料管道依次连通，所述缓冲罐与所述车间终端设备通过所述车间供料管道连通，所述车间供料管道上设置有过滤器；所述排压部包括碱水池及排压管，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述排压管与所述碱水池连通；所述排污部包括废料罐及排污管道，所述原料罐及缓冲罐分别通过所述排污管道与所述废料罐连通。
2.如权利要求1所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：所述原料罐有若干个，所述缓冲罐有若干个；所述供氮管道包括原料罐供氮管段、缓冲罐供氮管段、及与所述氮气供应装置连通的主供氮管段；所述主供氮管段上设置有控制所述缓冲罐供氮管段氮气进量的调压阀、及靠近所述氮气供应装置的一处的主供氮阀，所述原料罐供氮管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐与所述主供氮管段连通，各所述原料罐供氮管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一供氮阀；所述缓冲罐供氮管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐与所述主供氮管段连通，各所述缓冲罐供氮管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二供氮阀。
3.如权利要求2所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：所述缓冲供料管道包括原料罐排料管段、第一供料管段、屏蔽泵进料管段、屏蔽泵排料管段、第二供料管段、及缓冲罐进料管段；所述第一供料管段具有相对设置的第一端及第二端；所述原料罐排料管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐分别与所述第一供料管段的第一端连通，各所述原料罐排料管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排料阀；所述屏蔽泵进料管段有若干个且与各所述屏蔽泵一一对应，将各所述屏蔽泵的进口分别与所述第一供料管段的第二端连通，各所述屏蔽泵进料管段靠近对应所述屏蔽泵的一处分别设置有第一进料阀；所述第二供料管段具有相对设置的第一端及第二端；所述屏蔽泵排料管段有若干个且与各所述屏蔽泵一一对应，将各所述屏蔽泵的出口分别与所述第二供料管段的第一端连通，各所述屏蔽泵排料管段靠近对应所述屏蔽泵的一处分别设置有第二排料阀；所述缓冲罐进料管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐分别与所述第二供料管段的第二端连通，各所述缓冲罐进料管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二进料阀。
4.如权利要求3所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：各所述原料罐上分别具有用于连通对应所述原料罐排料管段的原料罐排料口，所述原料罐排料口到所述原料罐底部的距离不小于200mm；各所述缓冲罐上分别具有用于连通对应所述缓冲罐排料管道的缓冲罐排料口，所述缓冲罐排料口到所述缓冲罐底部的距离不小于200mm。
5.如权利要求3所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：所述车间供料管道的一端与所述缓冲供料管道的第二供料管段连通、另一端与所述车间终端设备连通，所述车间供料管道上设置有位于所述过滤器两侧的两个第三排料阀。
6.如权利要求3所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：系统还包括备用车间供料管道，所述备用车间供料管道的一端与所述缓冲供料管道的第二供料管段连通、另一端与所述车间终端设备可拆卸连通；所述备用车间供料管道上还设置有备用过滤器及位于所述备用过滤器两侧的两个备用排料阀。
7.如权利要求3所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：所述排压管道包括原料罐排压管段、缓冲罐排压管段、缓冲排压管段、及与所述碱水池连通的主排压管段；所述主排压管段靠近所述碱水池的一处设置有主排压阀，所述缓冲排压管段靠近所述废料罐的一处设置有缓冲排压阀；所述原料罐排压管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐分别与所述主排压管段连通，各所述原料罐排压管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排压阀；所述缓冲罐排压管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐分别与所述主排压管段连通，所述缓冲排压管段用于连通所述主排压管段和废料罐，各所述缓冲罐排污管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二排压阀。
8.如权利要求1所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：所述排污管道包括原料罐排污管段、缓冲罐排污管段、及与所述废料罐连通的主排污管段；所述主排污管段靠近所述废料罐的一处设置的主排污阀；所述原料罐排污管段有若干个且与各所述原料罐一一对应，将各所述原料罐的底部分别与所述主排污管段连通，各所述原料罐排污管段靠近对应所述原料罐的一处分别设置有第一排污阀；所述缓冲罐排污管段有若干个且与各所述缓冲罐一一对应，将各所述缓冲罐的底部分别与所述主排污管段连通，各所述缓冲罐排污管段靠近对应所述缓冲罐的一处分别设置有第二排污阀。
9.如权利要求7所述的一种四氯化硅供料系统，其特征在于：系统还包括槽车供料部，所述槽车供料部包括槽车、槽车供氮管道、槽车供料管道、槽车连通管道、槽车排压管道、及压力表；所述槽车上具有进氮口和供料口，所述槽车的进氮口与所述槽车的供料口之间通过所述槽车连通管道连通，所述槽车连通管道靠近所述槽车的进氮口的一处设置有第一槽车进氮阀、靠近所述槽车的供料口的一处设置有第一槽车供料阀，所述槽车连通管道上设置有第一三通阀及第二三通阀，所述槽车供氮管道的一端与所述主供氮管段可拆卸连通、另一端与所述第一三通阀可拆卸连通，所述槽车供氮管道靠近所述主供氮管段的一处设置有第二槽车进氮阀，所述槽车供料管道的一端与对应所述原料罐可拆卸连通、另一端与所述第二三通阀可拆卸连通，所述槽车供料管道靠近所述原料罐的一处设置有第二槽车供料阀，所述槽车供料管道上还设置有压力表，所述槽车排压管道的一端与所述槽车供料管道连通、另一端与所述主排压管道连通，所述槽车排压管道上还设置有所述槽车排压阀。
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| CN202023205862.8U CN214306525U (zh) | 2020-12-28 | 2020-12-28 | 一种四氯化硅供料系统 |
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| CN (1) | CN214306525U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117628413A (zh) * | 2023-11-23 | 2024-03-01 | 上海韩科建设工程有限公司 | 一种长距离管道输送三氯化硼的方法及系统 |
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2020
- 2020-12-28 CN CN202023205862.8U patent/CN214306525U/zh active Active
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