CN214142512U - 一种自动开关挡板的圆柱靶结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种自动开关挡板的圆柱靶结构，包括：炉体，炉体上设有第一驱动机构；第一挡板，第一挡板具有工作口，第一挡板上设有第一止动结构和第二止动结构；靶体，靶体可转动地安装在炉体上，第一驱动机构用于驱动靶体转动；第二挡板，第二挡板上连接有限位凸起，第靶体可带动第二挡板在第一位置和第二位置之间转动，在第一位置，限位凸起与第一止动结构配合，第二挡板打开工作口，在第二位置，限位凸起与第二止动结构配合，第二挡板关闭工作口。本装置只需使用一套驱动机构便可实现靶体的转动以及第二挡板的转动，可大大精简装置的整体结构，简化装配工序。

Description

一种自动开关挡板的圆柱靶结构

技术领域

本实用新型涉及真空溅射镀膜领域，尤其是涉及一种自动开关挡板的圆柱靶结构。

背景技术

如图1所示的是现有技术中的一种圆柱靶结构，靶体转动安装在炉体上，并由一个电机单独驱动，为了保护靶体，靶体外侧还设有内挡板和外挡板，内挡板固定安装在炉体上，外挡板转动安装在炉体上，外挡板由另外一个电机单独驱动，以便在镀膜时能露出靶体。这种结构下，靶体正常工作需要两套传动机构，而炉体上需要留有多个孔位以便于安装相关的部件，整体结构复杂，装配不便。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的第一个目的在于提供一种自动开关挡板的圆柱靶结构。

本实用新型的技术方案如下：一种自动开关挡板的圆柱靶结构，包括：炉体，所述炉体上设有第一驱动机构；第一挡板，所述第一挡板可拆卸安装在所述炉体上，所述第一挡板具有工作口，所述第一挡板上设有间隔开的第一止动结构和第二止动结构；靶体，所述靶体可转动地安装在所述炉体上，所述第一驱动机构与所述靶体相连，所述第一驱动机构用于驱动所述靶体转动；第二挡板，所述第二挡板上连接有限位凸起，所述限位凸起位于所述第一止动结构和所述第二止动结构之间，所述第二挡板与所述靶体阻尼转动连接，所述靶体可带动所述第二挡板在第一位置和第二位置之间转动，在所述第一位置，所述限位凸起与所述第一止动结构配合，所述第二挡板打开所述工作口，在所述第二位置，所述限位凸起与所述第二止动结构配合，所述第二挡板关闭所述工作口。

进一步地，所述第一挡板和所述第二挡板均为沿竖向延伸的弧形板，所述靶体包括本体和与所述本体相连的靶轴，所述靶轴竖向设置并与所述第一驱动机构相连，所述第二挡板与所述靶轴相连。

进一步地，所述靶轴的外周壁上设有轴肩，所述轴肩处设有轴承，所述轴承外固定套设有绝缘套，所述绝缘套外固定套设有固定环，所述第二挡板与所述固定环相连，所述限位凸起设于所述固定环上。

进一步地，所述绝缘套包括两个子半套，两个所述子半套沿所述轴承的径向相对设置并拼接相连以限定出所述绝缘套；所述固定环包括两个子半环，两个所述子半环沿所述轴承的径向相对设置并拼接相连以限定出所述固定环。

进一步地，所述第一止动结构包括第一螺栓，所述第一挡板上设有第一螺纹通孔，所述第一螺栓与所述第一螺纹孔通孔配合，所述第一螺栓可与所述限位凸起抵接。

进一步地，所述第二止动结构包括第二螺栓，所述第二挡板上设有第二螺纹通孔，所述第二螺栓与所述第二螺纹孔通孔配合，所述第二螺栓可与所述限位凸起抵接。

和现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本装置中工作口的开启和关闭是通过靶体带动第二挡板转动实现的，因此不再需要额外的驱动机构带动第二挡板转动，也就是说，只需使用一套驱动机构便可实现靶体的转动以及第二挡板的转动，可大大精简装置的整体结构，简化装配工序。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1是现有技术中的圆柱靶的示意图；

图2是本实用新型的部分结构的立体图；

图3是本实用新型的部分结构的立体图。

附图标记：

1、炉体；2、第一挡板；3、工作口；4、靶体；5、第二挡板；6、限位凸起；7、轴承；8、绝缘套；9、固定环；10、子半套；11、子半环；12、第一螺栓；13、第二螺栓。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“竖向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

如图1所示的是现有技术中的一种圆柱靶结构，靶体转动安装在炉体上，并由一个电机单独驱动，为了保护靶体，靶体外侧还设有内挡板和外挡板，内挡板固定安装在炉体上，外挡板转动安装在炉体上，外挡板由另外一个电机单独驱动，以便在镀膜时能露出靶体。这种结构下，靶体正常工作需要两套传动机构，而炉体上需要留有多个孔位以便于安装相关的部件，整体结构复杂，装配不便。

鉴于上述结构式存在的诸多不便之处，发明人对此进行了改进，创造性地设计了一种自动开关挡板的圆柱靶结构，下面参考附图图2-图3描述根据本实用新型实施例的自动开关挡板的圆柱靶结构，该装置包括：炉体1、靶体4、第一挡板2和第二挡板5。

如图2所示，炉体1上设有第一驱动机构；第一挡板2可拆卸安装在炉体1上，第一挡板2具有工作口3，第一挡板2上设有间隔开的第一止动结构和第二止动结构；靶体4可转动地安装在炉体1上，第一驱动机构与靶体4相连，第一驱动机构用于驱动靶体4转动；第二挡板5上连接有限位凸起6，限位凸起6位于第一止动结构和第二止动结构之间，第二挡板5与靶体4阻尼转动连接，这里的阻尼转动连接指的是第二挡板5与靶体4是转动相连的，但二者之间存在阻尼力，当第二挡板5不受外部作用力时，靶体4可带动第二挡板5转动，而当第二挡板5受到外部作用力且外部作用力大于第二挡板5与靶体4之间的阻尼力时，靶体4无法带动第二挡板5转动，但靶体4仍可继续转动。

如图2和图3所示，靶体4可带动第二挡板5在第一位置和第二位置之间转动，也就是说，第一位置和第二位置是靶体4可转动的两处极限位置，在第一位置，限位凸起6与第一止动结构配合，第二挡板5打开工作口3，此时靶体4正常工作，而且在这种情况下，靶体4继续转动也不会第二挡板5打开的位置；在第二位置，限位凸起6与第二止动结构配合，第二挡板5关闭工作口3，而且在这种情况下，靶体4继续转动也不会第二挡板5关闭的位置。

本装置中工作口3的开启和关闭是通过靶体4带动第二挡板5转动实现的，因此不再需要额外的驱动机构带动第二挡板5转动，也就是说，只需使用一套驱动机构便可实现靶体4的转动以及第二挡板5的转动，可大大精简装置的整体结构，简化装配工序。

本实施例中，如图2和图3所示，第一挡板2和第二挡板5均为沿竖向延伸的弧形板，靶体4包括本体和与本体相连的靶轴，靶轴竖向设置并与第一驱动机构相连，第二挡板5与靶轴相连。

本实施例中，如图2所示，靶轴的外周壁上设有轴肩，轴肩处设有轴承7，轴承7外固定套设有绝缘套8，绝缘套8外固定套设有固定环9，第二挡板5与固定环9相连，限位凸起6设于固定环9上。具体而言，第二挡板5通过固定环9、绝缘套8和轴承7挂设在靶轴上，由于第二挡板5并非是固定的，因此靶轴转动时，可以通过轴承7、绝缘套8和固定环9最终带动第二挡板5转动，而当限位凸起6与第一止动结构或第二止动结构配合以阻止第二挡板5继续转动时，由于设置了轴承7，因此靶轴可以顺畅地继续转动。

本实施例中，如图2所示，绝缘套8包括两个子半套10，两个子半套10沿轴承7的径向相对设置并拼接相连以限定出绝缘套8；固定环9包括两个子半环11，两个子半环11沿轴承7的径向相对设置并拼接相连以限定出固定环9，由于炉体1内的空间比较狭窄，将绝缘套8和固定环9做成拆分式的，方便拆装。

本实施例中，如图2和图3所示，第一止动结构包括第一螺栓12，第一挡板2上设有第一螺纹通孔，第一螺栓12与第一螺纹孔通孔配合，第一螺栓12可与限位凸起6抵接，由此结构形式简单，便于实现。

本实施例中，如图2和图3所示，第二止动结构包括第二螺栓13，第二挡板5上设有第二螺纹通孔，第二螺栓13与第二螺纹孔通孔配合，第二螺栓13可与限位凸起6抵接，由此结构形式简单，便于实现。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体上设有第一驱动机构；

第一挡板，所述第一挡板可拆卸安装在所述炉体上，所述第一挡板具有工作口，所述第一挡板上设有间隔开的第一止动结构和第二止动结构；

靶体，所述靶体可转动地安装在所述炉体上，所述第一驱动机构与所述靶体相连，所述第一驱动机构用于驱动所述靶体转动；

第二挡板，所述第二挡板上连接有限位凸起，所述限位凸起位于所述第一止动结构和所述第二止动结构之间，所述第二挡板与所述靶体阻尼转动连接，所述靶体可带动所述第二挡板在第一位置和第二位置之间转动，在所述第一位置，所述限位凸起与所述第一止动结构配合，所述第二挡板打开所述工作口，在所述第二位置，所述限位凸起与所述第二止动结构配合，所述第二挡板关闭所述工作口。

2.根据权利要求1所述的自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板均为沿竖向延伸的弧形板，所述靶体包括本体和与所述本体相连的靶轴，所述靶轴竖向设置并与所述第一驱动机构相连，所述第二挡板与所述靶轴相连。

3.根据权利要求2所述的自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，所述靶轴的外周壁上设有轴肩，所述轴肩处设有轴承，所述轴承外固定套设有绝缘套，所述绝缘套外固定套设有固定环，所述第二挡板与所述固定环相连，所述限位凸起设于所述固定环上。

4.根据权利要求3所述的自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，所述绝缘套包括两个子半套，两个所述子半套沿所述轴承的径向相对设置并拼接相连以限定出所述绝缘套；

所述固定环包括两个子半环，两个所述子半环沿所述轴承的径向相对设置并拼接相连以限定出所述固定环。

5.根据权利要求1所述的自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，所述第一止动结构包括第一螺栓，所述第一挡板上设有第一螺纹通孔，所述第一螺栓与所述第一螺纹孔通孔配合，所述第一螺栓可与所述限位凸起抵接。

6.根据权利要求1所述的自动开关挡板的圆柱靶结构，其特征在于，所述第二止动结构包括第二螺栓，所述第二挡板上设有第二螺纹通孔，所述第二螺栓与所述第二螺纹孔通孔配合，所述第二螺栓可与所述限位凸起抵接。

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