CN214132392U - 一种可量化调节角度的支撑装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及MEMS器件清洗技术领域，为一种可量化调节角度的支撑装置，包括支座，所述支座上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘及竖直方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘及水平方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述水平刻度盘固定连接，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘可旋转连接，所述水平方向悬臂末端设有喷嘴。通过两个刻度盘来定量调节对应悬臂的角度，从而可以定量调节喷嘴的水平方向及竖直方向的角度，实现了药液喷射的角度可实现连续量化调节。

Description

一种可量化调节角度的支撑装置

技术领域

本实用新型涉及MEMS器件清洗技术领域，具体涉及一种可量化调节角度的支撑装置。

背景技术

MEMS器件通常包含孔、腔、悬臂等一系列感知环境变量的结构。这些结构通常非常脆弱，清洗过程容易受到外力的影响而损坏。业界一般采用槽式浸泡和单片式清洗相结合的方式进行清洗作业以保证清洗效果。其中，单片清洗过程中为了避免扫描手臂上的残液滴落在晶圆上，扫描手臂作业完成后需用固定喷嘴喷药液清洗晶圆。

现有设备的固定喷嘴支撑装置要么是固定不动的，只能通过弯折管路调节喷射角度；要么只能上、下或左、右调节药液入射角度。目前较先进的支撑系统可同时满足上、下、左、右的角度调节。但由于该系统每次角度调节的多少并不能量化，给工艺调试带来很大不便，也不利于长期的工艺监控，需要对现有的支撑装置进行改进。

发明内容

本实用新型提供了一种可量化调节角度的支撑装置，解决了以上所述的MEMS器件清洗效率低的技术问题。

本实用新型为解决上述技术问题提供了一种可量化调节角度的支撑装置，包括支座，所述支座上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘及竖直方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘及水平方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述水平刻度盘固定连接，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘可旋转连接，所述水平方向悬臂末端设有喷嘴。

优选地，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘通过松紧螺栓连接。

优选地，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘通过松紧螺栓连接。

优选地，所述松紧螺栓为一字槽螺栓。

优选地，所述竖直方向刻度盘及所述水平方向刻度盘均为圆形表盘，所述表盘上设有圆形阵列刻度。

优选地，所述喷嘴与所述水平方向悬臂螺栓连接。

优选地，所述支座为L型，所述竖直刻度盘与L型支座的末端固定连接。

有益效果：本实用新型提供了一种可量化调节角度的支撑装置，包括支座，所述支座上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘及竖直方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘及水平方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述水平刻度盘固定连接，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘可旋转连接，所述水平方向悬臂末端设有喷嘴。通过两个刻度盘来定量调节对应悬臂的角度，从而可以定量调节喷嘴的水平方向及竖直方向的角度，实现了药液喷射的角度可实现连续量化调节。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型可量化调节角度的支撑装置的主视图；

图2为本实用新型可量化调节角度的支撑装置的左视图；

图3为本实用新型可量化调节角度的支撑装置的俯视图。

附图标记说明：支座1，竖直方向悬臂2，竖直方向悬臂螺丝3，竖直刻度盘4，喷嘴螺丝5，水平方向悬臂6，水平方向悬臂螺丝7，水平刻度盘8。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本实用新型提供了一种可量化调节角度的支撑装置，包括支座1，所述支座1上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘4及竖直方向悬臂2，所述竖直方向悬臂2与所述竖直刻度盘4可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘8及水平方向悬臂6，所述竖直方向悬臂2与所述水平刻度盘8固定连接，所述水平方向悬臂6与所述水平刻度盘8可旋转连接，所述水平方向悬臂6末端设有喷嘴。

通过两个刻度盘来定量调节对应悬臂的角度，从而可以定量调节喷嘴的水平方向及竖直方向的角度，实现了药液喷射的角度可实现连续量化调节。具体地，将水平方向悬臂6在水平刻度盘8上旋转一定角度，然后将竖直方向悬臂2在竖直刻度盘4上旋转一定角度然后固定，便可实现将喷嘴调整到想要的角度和位置姿态以进行喷洒冲洗作业。

优选的方案，所述竖直方向悬臂2与所述竖直刻度盘4通过松紧螺栓连接。所述水平方向悬臂6与所述水平刻度盘8通过松紧螺栓连接。先拧松螺栓，对照刻度旋转悬臂到指定角度，然后再拧紧螺栓进行固定即可实现角度定量调节和固定。

优选的方案，所述松紧螺栓为一字槽螺栓。一字槽螺栓便于起子操作，也开始外六角或内六角或十字槽等螺栓，便于起子旋转作业，省力。

优选的方案，所述竖直方向刻度盘及所述水平方向刻度盘均为圆形表盘，所述表盘上设有圆形阵列刻度。刻度类似于表盘，一周代表360°，然后按精度进行区间划分。

优选的方案，所述喷嘴与所述水平方向悬臂6螺栓连接。

优选的方案，所述支座1为L型，所述竖直刻度盘4与L型支座1的末端固定连接。L型支座1节约空间，且安装方便。

在一个具体的实施场景中，具体的安装固定和工作原理如下：

1)一种可量化调节角度的支撑装置，该装置可连续量化调节喷嘴的角度，主要包含支座1，水平方向喷嘴角度调节单元和竖直方向喷嘴角度调节单元。

2)支座1：包含四个螺丝，可将整套装置固定在机台上。

3)水平方向喷嘴角度调节单元：包含，a)喷嘴：用于喷洒药液；b)水平方向悬臂6：用于支撑喷嘴和水平方向角度调节；c)水平方向悬臂螺丝7：用于固定水平方向悬臂6；d)水平方向刻度盘：刻度盘上有刻度，用于量化水平方向调节角度；e)喷嘴螺丝5：用于固定喷嘴。

4)竖直方向喷嘴角度调节单元：包含，a)竖直方向悬臂2：用于支撑水平方向角度调节单元和竖直方向角度调节；b)竖直方向悬臂螺丝3即松紧螺栓：用于固定竖直方向悬臂2；c)竖直方向刻度盘：刻度盘上有刻度，用于量化竖直方向调节角度。

5)具体操作步骤为：

a)首先扭动水平方向悬臂6，调整喷嘴水平方向角度至某一合适刻度；b)拧紧水平方向悬臂螺丝7以固定水平方向的喷射角度；c)再扭动竖直方向悬臂2，调整喷嘴竖直方向的角度，使喷嘴喷洒的药液喷射到晶圆合适的位置；d)拧紧竖直方向悬臂螺丝3以固定竖直方向的喷射角度；e)在两个方向悬臂的共同作用下，药液喷射的角度可实现连续量化调节。

该装置可以连续量化调节水平方向及竖直方向的喷射角度和位置。角度调节的可量化性为工艺调试带来极大的便利。同时，以量化可视的数据作为参考，可以及时发现喷嘴位置的偏移，有利于长期的工艺管控。

有益效果：本实用新型提供了一种可量化调节角度的支撑装置，包括支座，所述支座上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘及竖直方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘及水平方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述水平刻度盘固定连接，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘可旋转连接，所述水平方向悬臂末端设有喷嘴。通过两个刻度盘来定量调节对应悬臂的角度，从而可以定量调节喷嘴的水平方向及竖直方向的角度，实现了药液喷射的角度可实现连续量化调节。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是,凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，利用以上所揭示的技术内容而做出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时,凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，包括支座，所述支座上设有竖直方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元上设有水平方向喷嘴角度调节单元，所述竖直方向喷嘴角度调节单元包括竖直刻度盘及竖直方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘可旋转连接，所述水平方向喷嘴角度调节单元包括水平刻度盘及水平方向悬臂，所述竖直方向悬臂与所述水平刻度盘固定连接，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘可旋转连接，所述水平方向悬臂末端设有喷嘴。

2.根据权利要求1所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述竖直方向悬臂与所述竖直刻度盘通过松紧螺栓连接。

3.根据权利要求1或2所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述水平方向悬臂与所述水平刻度盘通过松紧螺栓连接。

4.根据权利要求3所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述松紧螺栓为一字槽螺栓。

5.根据权利要求1所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述竖直方向刻度盘及所述水平方向刻度盘均为圆形表盘，所述表盘上设有圆形阵列刻度。

6.根据权利要求1所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述喷嘴与所述水平方向悬臂螺栓连接。

7.根据权利要求1所述的可量化调节角度的支撑装置，其特征在于，所述支座为L型，所述竖直刻度盘与L型支座的末端固定连接。

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