CN214121042U - 靶材残靶表面轮廓测试工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材残靶表面轮廓测试工具，包括量具本体及支持件，所述量具本体包括横杆，所述横杆表面开设有若干通孔，若干所述通孔等间距分布成一排，每个所述通孔内部设置有测量针，所述测量针表面设置有若干刻度线，所述测量针与通孔之间过盈配合，所述横杆顶端设置有若干游标尺，每个所述游标尺分别对应设置在通孔一侧，且与横杆固定连接。本实用新型小巧、便携，方便在现场使用，同时操作简单，使用时，只需将横杆往下按动，并轻轻地将测量针压在所要测试的残靶截面表面，测试针的高低位置就反应残靶高低起伏，读取测量针上的刻度，便可记录每根测量针位置的高低数据，进而可以得到各测试点的消耗深度数据。

Description

靶材残靶表面轮廓测试工具

技术领域

本实用新型涉及测量工具技术领域，特别涉及一种靶材残靶表面轮廓测试工具。

背景技术

在薄膜晶体管的制备过程中，金属层一般通过溅射形成，其原理为：用带电粒子轰击靶材，高速离子轰击靶材表面时，表面原子碰撞并发生能量和动量转移，使靶材原子从表面逸出并淀积在衬底材料上。目前，高性能的溅射靶材在TFT显示器领域作为TFT的导电层，随着显示器市场的快速发展，靶材发挥着重要的作用。而在进行溅射工艺时，随着基板上薄膜厚度的增加，靶材逐渐被消耗，靶材的厚度随之减薄。靶材的溅射深度(剩余量)是影响设备工艺调整的重要参数，通过靶材的溅射深度不但可以判断靶材是否需要更换，而且还可以作为设备工艺参数的调整根据，以进一步提高靶材利用率。但靶材在使用的过程中，由于磁场强度的不均匀导致靶材表面溅射深度不均，因此需要对溅射深度进行测试模拟，并将所得数据绘制成曲线，从而直观地看出靶材表面的刻蚀情况。

如专利号为CN201921063612.X的专利，该专利公开了一种靶材溅射深度测试装置，包括测试装置主体以及用于将测试装置主体固定在待测靶材上的固定件；所述的测试装置主体包括可拆卸连接的深度测量组件和水平定位件；所述的深度测量组件包括纵向并排布置的至少一个测量件，各测量件在竖直方向上自由移动，所述测量件用于测量靶材表面某点的深度值；所述的水平定位件用于确定各测量件对应的靶材径向位置，各点的深度值与其对应的靶材径向位置配合得到拟合的待测靶材径向深度轮廓曲线。

该专利的缺点在于操作比较繁琐，结构比较复杂。

因此，发明一种靶材残靶表面轮廓测试工具来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材残靶表面轮廓测试工具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材残靶表面轮廓测试工具，包括量具本体及支持件，所述量具本体包括横杆，所述横杆表面开设有若干通孔，若干所述通孔等间距分布成一排，每个所述通孔内部设置有测量针，所述测量针表面设置有若干刻度线，所述测量针与通孔之间过盈配合，所述横杆顶端设置有若干游标尺，每个所述游标尺分别对应设置在通孔一侧，且与横杆固定连接。

优选的，所述支撑件包括对称设置的竖杆，所述竖杆底端固定设置有吸盘。

优选的，所述竖杆表面滑动设置有滑块和支撑块，所述滑块底端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧套设在竖杆表面，且底端与竖杆固定连接。

优选的，所述滑块顶端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧顶端于支撑块底端固定连接。

优选的，所述横杆两端部均开设有贯穿孔，所述贯穿孔与竖杆相适配。

优选的，所述刻度线之间的间隔为0.5mm。

本实用新型的技术效果和优点：小巧、便携，方便在现场使用，同时操作简单，使用时，将需要测量的靶材残靶放置在测量区域，并经吸盘将竖杆固定在残靶两侧，此时，将横杆上的测量针高度调整到相同位置，通过贯穿孔将横杆插入竖杆，并经支撑块支撑，横杆悬浮在支撑块顶端，此时，只需将横杆往下按动，并轻轻地将测量针压在所要测试的残靶截面表面，测试针的高低位置就反应残靶高低起伏，读取测量针上的刻度，便可记录每根测量针位置的高低数据，进而可以得到各测试点的消耗深度数据。

附图说明

图1为本实用新型的整体正视剖面示意图。

图2为本实用新型的使用状态结构示意图。

图3为本实用新型的横杆结构示意图。

图中：1横杆、2通孔、3测量针、4游标尺、5竖杆、6吸盘、7滑块、8支撑块、9第一弹簧、10第二弹簧、11贯穿孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种靶材残靶表面轮廓测试工具，包括量具本体及支持件，所述量具本体包括横杆1，所述横杆1表面开设有若干通孔2，若干所述通孔2等间距分布成一排，每个所述通孔2内部设置有测量针3，所述测量针3表面设置有若干刻度线，所述测量针3与通孔2之间过盈配合，过盈配合的设置使测量针3可以在受力时上下移动，在不受力时可以保持位置不动，所述横杆1顶端设置有若干游标尺4，每个所述游标尺4分别对应设置在通孔2一侧，且与横杆1固定连接，游标尺4的设置，可以提高测量精度。

进一步的，在上述技术方案中，所述支撑件包括对称设置的竖杆5，所述竖杆5底端固定设置有吸盘6；

进一步的，在上述技术方案中，所述竖杆5表面滑动设置有滑块7和支撑块8，所述滑块7底端固定连接有第一弹簧9，所述第一弹簧9套设在竖杆5表面，且底端与竖杆5固定连接；

进一步的，在上述技术方案中，所述滑块7顶端固定连接有第二弹簧10，所述第二弹簧10顶端于支撑块8底端固定连接，第一弹簧9和第二弹簧10的设置可以辅助操作人员使用量具，减少人工操作抖动现象的发生；

进一步的，在上述技术方案中，所述横杆1两端部均开设有贯穿孔11，所述贯穿孔11与竖杆5相适配；

进一步的，在上述技术方案中，为了保证精度要求，刻度线之间的间隔为0.5mm。

本实用工作原理：使用时，将需要测量的靶材残靶放置在测量区域，并经吸盘6将竖杆5固定在残靶两侧，此时，将横杆1上的测量针3高度调整到相同位置，通过贯穿孔11将横杆1插入竖杆5，并经支撑块8支撑，横杆1悬浮在支撑块8顶端，此时，只需将横杆1往下按动，并轻轻地将测量针3压在所要测试的残靶截面表面，测试针的高低位置就反应残靶高低起伏，读取测量针3上的刻度，便可记录每根测量针3位置的高低数据，进而可以得到各测试点的消耗深度数据。

在本实用实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种靶材残靶表面轮廓测试工具，包括量具本体及支撑件，其特征在于：所述量具本体包括横杆(1)，所述横杆(1)表面开设有若干通孔(2)，若干所述通孔(2)等间距分布成一排，每个所述通孔(2)内部设置有测量针(3)，所述测量针(3)表面设置有若干刻度线，所述测量针(3)与通孔(2)之间过盈配合，所述横杆(1)顶端设置有若干游标尺(4)，每个所述游标尺(4)分别对应设置在通孔(2)一侧，且与横杆(1)固定连接。

2.根据权利要求1所述的靶材残靶表面轮廓测试工具，其特征在于：所述支撑件包括对称设置的竖杆(5)，所述竖杆(5)底端固定设置有吸盘(6)。

3.根据权利要求2所述的靶材残靶表面轮廓测试工具，其特征在于：所述竖杆(5)表面滑动设置有滑块(7)和支撑块(8)，所述滑块(7)底端固定连接有第一弹簧(9)，所述第一弹簧(9)套设在竖杆(5)表面，且底端与竖杆(5)固定连接。

4.根据权利要求3所述的靶材残靶表面轮廓测试工具，其特征在于：所述滑块(7)顶端固定连接有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)顶端于支撑块(8)底端固定连接。

5.根据权利要求4所述的靶材残靶表面轮廓测试工具，其特征在于：所述横杆(1)两端部均开设有贯穿孔(11)，所述贯穿孔(11)与竖杆(5)相适配。

6.根据权利要求1所述的靶材残靶表面轮廓测试工具，其特征在于：所述刻度线之间的间隔为0.5mm。

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