CN214067574U - 分光曝光系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种分光曝光系统，包括DMD微反射镜、分光镜、反射镜、第一成像组件及第二成像组件，DMD微反射镜、分光镜及第一成像组件由上往下依次设置，分光镜的镜面呈倾斜设置，反射镜于水平方向与分光镜邻设，反射镜的镜面与分光镜的镜面平行，第二成像组件位于反射镜的正下方。与现有技术相比，本实用新型的分光曝光系统借助分光镜及反射镜的配合，从而将DMD微反射镜上的画面分两路投影在工作台上，起到了两个DMD微反射镜同时工作的效果，使得曝光面得到两倍面积的图像，一方面节省了成本及安装空间，另一方面提高了曝光的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及PCB板曝光设备领域，尤其涉及一种分光曝光装置。
背景技术
PCB电路板是主流的电子元件之一，其线路制作通常需要光刻机来完成曝光制作。
一般光刻机的原理是在DMD像素上排出线路图，配合UV光，经由成像系统投影至曝光面,进而在光感材料上曝出设计的线路。
传统的成像方式，是将DMD上的画面分一路投影在曝光面上，通过拖动 DMD以及PCB板的运动轴运动扫描，来完成整个PCB板上的投图。传统的成像方式曝光效率低，曝光成本高，安装占用空间大，不满足生产量大的需求。
因此，急需要一种提高曝光效率、节约成本及安装空间的分光曝光系统来克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种提高曝光效率、节约成本及安装空间的分光曝光系统。
为实现上述目的，本实用新型的分光曝光系统包括DMD微反射镜、分光镜、反射镜、第一成像组件及第二成像组件，所述DMD微反射镜、分光镜及所述第一成像组件由上往下依次设置，所述分光镜的镜面呈倾斜设置，所述反射镜于水平方向与所述分光镜邻设，所述反射镜的镜面与所述分光镜的镜面平行，所述第二成像组件位于所述反射镜的正下方。
较佳地，所述分光镜的镜面与水平面的夹角为45°，所述反射镜的镜面与水平面的夹角为45°。
较佳地，还包括用于承载PCB板的工作台，所述工作台位于所述第一成像组件及所述第二成像组件的下方。
较佳地，所述分光镜为立体型分束镜，对所述DMD微反射镜所射入的紫外光波段呈50％的反射及50％的透射。
较佳地，所述反射镜为45°直角三棱镜，对所述分光镜入射的紫外光全部反射。
较佳地，所述分光镜的镜面与水平面的夹角为30°-60°。
与现有技术相比，本实用新型的分光曝光系统借助分光镜及反射镜的配合，从而将DMD微反射镜上的画面分两路投影在工作台上，起到了两个DMD微反射镜同时工作的效果，使得曝光面得到两倍面积的图像，一方面节省了成本及安装空间，另一方面提高了曝光的效率。
附图说明
图1是本实用新型分光曝光系统的结构示意图。
图2是本实用新型分光曝光系统的成像示意图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
请参阅图1，本实用新型的分光曝光系统100包括DMD微反射镜1、分光镜2、反射镜3、第一成像组件4及第二成像组件5。DMD微反射镜1、分光镜 2及第一成像组件4由上往下依次设置，分光镜2的镜面呈倾斜设置，反射镜3 于水平方向与分光镜2邻设，反射镜3的镜面与分光镜2的镜面平行，第二成像组件5位于反射镜3的正下方。较优的是，于本实施例中，本实用新型的分光曝光系统100还包括用于承载PCB板的工作台6，工作台6位于第一成像组件4及第二成像组件5的下方。更具体地，如下：
请参阅图1及图2，分光镜2的镜面与水平面的夹角为45°，反射镜3的镜面与水平面的夹角为45°。故从DMD微反射镜1射入的光线一部分直接从分光镜2透射，进而经过第一成像组件4出来呈竖直地投影到PCB板上。另一部分呈水平方向的反射，反射后的光线经过反射镜3进一步反射，经过第二成像组件5出来呈竖直地投影在PCB板上。故一个DMD微反射镜1可以将光线分成两路同时曝光于PCB板上，大大地提高了曝光的效率，同时还节约DMD微反射镜1的个数，利用一个DMD微反射镜1达到了两个DMD微反射镜1的效果，从而大大地节约成本及节约安装空间，使得设备更加简洁。当然，于其他实施例中，分光镜2的镜面与水平面的夹角可为30°至60°之间，例如30°、35°、 40°、50°、55°或者60°，故不以此为限。
请参阅图2，分光镜2为立体型分束镜，对DMD微反射镜1所射入的紫外光波段呈50％的反射及50％的透射。
请参阅图2，反射镜3为45°直角三棱镜，对分光镜2入射的紫外光全部反射。
结合附图，对本实用新型的分光曝光系统100的工作原理进行说明：DMD 微反射镜1的紫外光线经过分光镜2后，一部分呈竖直地透射出去经过第一成像组件4后曝光在PCB板上，另一部分呈水平地反射出去经过反射镜3，经过反射镜3反射后呈竖直地出去，经过第二成像组件5后曝光在PCB板上。故一个 DMD微反射镜1可同时曝光两个线路。
与现有技术相比，本实用新型的分光曝光系统100借助分光镜2及反射镜3 的配合，从而将DMD微反射镜1上的画面分两路投影在工作台6上，起到了两个DMD微反射镜1同时工作的效果，使得曝光面得到两倍面积的图像，一方面节省了成本及安装空间，另一方面提高了曝光的效率。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，均属于本实用新型所涵盖的范围。
Claims (6)
1.一种分光曝光系统，其特征在于，包括DMD微反射镜、分光镜、反射镜、第一成像组件及第二成像组件，所述DMD微反射镜、分光镜及所述第一成像组件由上往下依次设置，所述分光镜的镜面呈倾斜设置，所述反射镜于水平方向与所述分光镜邻设，所述反射镜的镜面与所述分光镜的镜面平行，所述第二成像组件位于所述反射镜的正下方。
2.根据权利要求1所述的分光曝光系统，其特征在于，所述分光镜的镜面与水平面的夹角为45°，所述反射镜的镜面与水平面的夹角为45°。
3.根据权利要求1所述的分光曝光系统，其特征在于，还包括用于承载PCB板的工作台，所述工作台位于所述第一成像组件及所述第二成像组件的下方。
4.根据权利要求1所述的分光曝光系统，其特征在于，所述分光镜为立体型分束镜，对所述DMD微反射镜所射入的紫外光波段呈50％的反射及50％的透射。
5.根据权利要求1所述的分光曝光系统，其特征在于，所述反射镜为45°直角三棱镜，对所述分光镜入射的紫外光全部反射。
6.根据权利要求1所述的分光曝光系统，其特征在于，所述分光镜的镜面与水平面的夹角为30°-60°。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023045894.6U CN214067574U (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 分光曝光系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023045894.6U CN214067574U (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 分光曝光系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214067574U true CN214067574U (zh) | 2021-08-27 |
Family
ID=77409048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023045894.6U Active CN214067574U (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 分光曝光系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214067574U (zh) |
-
2020
- 2020-12-16 CN CN202023045894.6U patent/CN214067574U/zh active Active
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