CN214032754U - 一种单晶炉上传动高精度水平调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，包括单晶炉上传动，沿上传动回转中心接有籽晶；还包括底板、支撑调节组件、顶板、千分表和水平仪；底板相对固定于单晶炉上传动顶部，支撑调节组件的下端与底板相接，上端与顶板相接，千分表和水平仪设置于顶板的上平面，支撑调节组件的长度可调，用于将上平面与上传动回转中心调垂直，作为籽晶铅锤调整的水平基准。本实用新型通过千分表打表顶板的上平面，转动上传动，调整连杆的长度，将顶板的上平面与上传动回转中心调整垂直；将水平仪放置在顶板的上平面，调整支撑块，能够解决高精度的精确调整单晶炉籽晶铅锤的问题，并且其结构简单，方便调整，测量直观，数值准确。

Description

一种单晶炉上传动高精度水平调整装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅设备的技术领域，具体涉及一种单晶炉上传动高精度水平调整装置。

背景技术

提拉法硅单晶的生长，是将多晶硅原料投入石英坩埚内，通过石墨加热器产生的高温将硅料熔化，然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再将一根硅单晶体籽晶插入熔体表面，待籽晶与熔体融合后，将籽晶慢速旋转并向上提升，硅液反向旋转并跟随上升，晶体便会在籽晶下端生长，通过控制热场温度和晶体提升速度，持续生长出一定规格大小的单晶棒。其中籽晶旋转中心与硅液反向旋转的中心重合，是长晶成功的关键，因此在单晶炉上传动的组装过程中，保证籽晶的铅锤变的无比重要。

目前大多数单晶炉，均将卷轮箱上端面设计为与上传动回转中心垂直，并将卷轮箱上端面设定为水平基准，这样只要将卷轮箱上端面调整水平，自然重力下，籽晶必然处于铅锤状态，此方案实践中目前有两个方面的弊端：

1、卷轮箱上端面暴露出的可用于水平基准的平面较少，不规则且与上传动的旋转中心不同心，导致转动上传动时，水平仪数值变化较大，需要移动水平仪多方位测量来调整，操作复杂，读数不直观；

2、多重配合的零件加工及安装误差，卷轮箱上端面已与上传动回转中心不垂直，造成最终调整出的籽晶铅锤精度不高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其技术方案如下：

一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，包括单晶炉上传动，所述单晶炉上传动沿上传动回转中心接有籽晶；还包括底板、支撑调节组件、顶板、千分表和水平仪；所述底板相对固定于单晶炉上传动顶部，所述支撑调节组件的下端与底板相接，支撑调节组件的上端与顶板相接，所述千分表和水平仪设置于顶板的上平面，所述支撑调节组件的长度可调，用于将所述上平面与上传动回转中心调垂直，则上平面作为籽晶铅锤调整的水平基准。

较佳的，所述支撑调节组件为三个可伸缩的连杆，所述上传动回转中心轴线穿过三个可伸缩的连杆的立体空间中部。

较佳的，所述支撑调节组件为电控组件。

较佳的，所述千分表和水平仪位于所述顶板的上平面。

较佳的，还包括支撑块，设置于单晶炉炉室与单晶炉上传动之间，用于调整上平面水平。

较佳的，所述单晶炉上传动的下方通过钢丝绳沿上传动回转中心连接籽晶。

相比现有技术，本实用新型具有以下优点：

本实用新型通过千分表打表顶板的上平面，转动上传动，调整连杆的长度，将顶板的上平面与上传动回转中心调整垂直；将水平仪放置在顶板的上平面，调整支撑块，可将顶板的上平面水平精度调整至0.02mm/1000mm内；因此，结构简单，方便调整，测量直观，数值准确，能够解决高精度的精确调整单晶炉籽晶铅锤的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

其中，附图标记的含义为：

1-底板、2-连杆、3-顶板、4-千分表、5-水平仪、6-单晶炉上传动、7-支撑块、8-钢丝绳、9-籽晶、10-上传动回转中心(籽晶回转中心)、11-单晶炉炉室、12-上平面。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

本实用新型为传统单晶炉籽晶铅锤调整而制作出了一个高精度的水平基准，具有操作简单，测量直观，数值准确，水平精度高的特点，解决了单晶炉无法精确调整籽晶铅锤的难题。

图1是本实用新型的结构示意图，如图1所示：一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，包括底板1、连杆2、顶板3、千分表4、水平仪5。其中，连杆2的数量为三个，底板1安装在单晶炉上传动6的顶部，连杆2的一端与底板1固定，连杆2的另一端与顶板3连接，将顶板安装保证与上传动回转中心重合。顶板3上还设有上平面12，通过千分表4打表测量上平面，转动单晶炉上传动6，调整三个连杆的长度，容错零件加工估计组装误差，可将顶板上平面12与籽晶回转中心调垂直，顶板上平面将作为籽晶铅锤调整的水平基准。

需要说明的是顶板安装保证与上传动回转中心重合，是连杆与顶板之间连接设置的位置适配，安装好即会保证顶板与上传动回转中心重合。

千分表和水平仪不同时使用，千分表是打表测量，将顶板上平面将回转中心调整垂直时使用千分表，水平仪是调整顶板上平面水平时用，使用时都放在顶板中心，与回转中心重合的部位。

示例性的：顶板调节结构是用一对凸凹球面垫片，具体是顶板上安装螺钉，螺钉穿过顶板，与连杆连接，螺钉上，顶板与连杆之间的部位，套入一组凸凹球垫，球垫下端旋用螺母，调整时，把螺母拧松，旋螺钉调高低，调好后把螺母锁紧，将连杆的长度固定。

调节时，如图1所示：将底板1固定在单晶炉上传动6顶部，三个连杆2下端与底板1固定，三个连杆2上端与顶板3连接，将顶板3安装保证与上传动回转中心10重合。用千分表4打表测量顶板3的上平面12，转动单晶炉上传动6，调整连杆2的长度，将顶板3的上平面12与上传动回转中心10调整垂直；继续转动单晶炉上传动6，将水平仪5放置在顶板3的上平面12上，调整支撑块7，可将顶板2上平面12水平精度调整至0.02mm/1000mm内，重力作用下，钢丝绳8带动籽晶9自然处于铅锤的状态。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (6)

1.一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，包括单晶炉上传动(6)，所述单晶炉上传动(6)沿上传动回转中心(10)接有籽晶(9)；其特征在于，还包括底板(1)、支撑调节组件、顶板(3)、千分表(4)和水平仪(5)；所述底板(1)相对固定于单晶炉上传动(6)顶部，所述支撑调节组件的下端与底板(1)相接，支撑调节组件的上端与顶板(3)相接，所述千分表(4)和水平仪(5)设置于顶板(3)的上平面(12)，所述支撑调节组件的长度可调，用于将所述上平面(12)与上传动回转中心(10)调垂直，则上平面(12)作为籽晶铅锤调整的水平基准。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其特征在于，所述支撑调节组件为三个可伸缩的连杆(2)，所述上传动回转中心(10)轴线穿过三个可伸缩的连杆(2)的立体空间中部。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其特征在于，所述支撑调节组件为电控组件。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其特征在于，所述千分表(4)和水平仪(5)位于所述顶板的上平面(12)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其特征在于，还包括支撑块(7)，设置于单晶炉炉室(11)与单晶炉上传动(6)之间，用于调整上平面(12)水平。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉上传动高精度水平调整装置，其特征在于，所述单晶炉上传动(6)的下方通过钢丝绳(8)沿上传动回转中心(10)连接籽晶(9)。

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