CN213956273U - 散斑测量机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种散斑测量机台，所述散斑测量机台包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

Description

散斑测量机台

技术领域

本实用新型涉及投影显示测量技术领域，尤其是涉及一种散斑测量机台。

背景技术

相关技术中的散斑测量机台，通常采用电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)摄像头拍摄晶圆的散斑影像，以分析晶圆的对比度、均匀度以及衍射效率，由于CCD摄像头只能拍摄特定角度射出的晶圆散斑，因此晶圆的散斑需要经过半透明材料制成的屏幕调整角度后，再由CCD摄像头拍摄，但是屏幕和CCD摄像头之间的相对位置需要校正,这样增加了操作步骤，降低了测量效率，并且晶圆的散斑在通过屏幕时，由于双向散射分布(Bidirectional scattering distribution)特性的存在,使得测量误差通常在10％以上,特别是晶圆的散斑的数量较少时，屏幕产生的误差对结果的影响更为严重。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种散斑测量机台，该散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

为了实现上述目的，根据本实用新型实施例提出了一种散斑测量机台，包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。

根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述积分球具有间隔设置的进光孔和接收孔，所述接收器设于所述接收孔，所述进光孔的横截面为圆形。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述光发射装置包括：光源；光驱动器，所述光驱动器与所述光源电连接，用于为所述光源提供驱动电流；准直镜，所述光源发出的光经过所述准直镜射出；二分之一波片，所述二分之一波片位于所述准直镜的背向所述光源的一侧，所述光经过所述准直镜后经过所述二分之一波片；四分之一波片，所述四分之一波片位于所述二分之一波片的背向所述准直镜的一侧，所述光经过所述二分之一波片后经过所述四分之一波片。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述台体包括：台架，所述光发射装置安装于所述台架；放置盘，用于放置所述晶圆；第一位移机构，所述第一位移机构安装于所述台架，所述放置盘安装于所述第一位移机构，所述第一位移机构带动所述放置盘相对于所述台架移动；第二位移机构，所述第二位移机构安装于所述台架，所述检测装置安装于所述第二位移机构，所述第二位移机构带动所述检测装置相对于所述台架移动。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述放置盘具有用于放置所述晶圆的放置槽，所述放置槽的底壁设有第一透光孔，所述放置槽的内周壁设有至少一个指孔。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述晶圆设有定位缺口，所述放置盘设有与所述定位缺口配合的定位柱。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一位移机构包括：第一基座，所述第一基座安装于所述台架；第一横向模块，所述第一横向模块沿第一方向可移动地安装于所述第一基座；第一纵向模块，所述第一纵向模块沿第二方向可移动地安装于所述第一横向模块，所述放置盘安装于所述第一纵向模块；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第二位移机构包括：第二基座，所述第二基座安装于所述台架；第二横向模块，所述第二横向模块沿第三方向可移动地安装于所述第二基座；第二纵向模块，所述第二纵向模块沿第四方向可移动地安装于所述第二横向模块，所述检测装置安装于所述第二纵向模块；其中，所述第三方向与所述第四方向垂直设置。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述台架包括：第一平台、第二平台和第三平台，所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台层叠设置，所述第二平台位于所述第一平台和所述第三平台之间，所述光发射装置安装于所述第一平台，所述第一位移机构安装于所述第二平台，所述第二位移机构安装于所述第三平台，所述第二平台设有第二透光孔；至少一个支撑柱，所述支撑柱分别与所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台相连。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述检测装置包括多个所述积分球和对应的多个所述接收器，多个所述积分球和多个所述接收器同时获取多个所述散斑的光功率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的结构示意图。

图2是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的另一视角的结构示意图。

图3是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的检测装置的结构示意图。

图4是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的放置盘的结构示意图。

图5是根据本实用新型另一实施例的散斑测量机台的第一位移机构的结构示意图。

图6是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的晶圆的结构示意图。

图7是根据本实用新型实施例的散斑测量机台的光发射组件的结构示意图。

附图标记：

散斑测量机台1、

台体100、台架110、第一平台111、第二平台112、第三平台113、支撑柱114、第二透光孔115、放置盘120、放置槽121、第一透光孔122、指孔123、定位柱124、第一位移机构130、第一基座131、第一横向模块132、第一纵向模块133、第二位移机构140、第二基座141、第二横向模块142、第二纵向模块143、

光发射组件200、光源210、光驱动器220、准直镜230、二分之一波片240、四分之一波片250、

检测装置300、积分球310、进光孔311、接收孔312、接收器320、晶圆400、衍射光学单元410、定位缺口420、对位镜头500、固定梁510。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，“若干”的含义是一个或多个。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的散斑测量机台1。

如图2-图3(其中，图3中的虚线示意散斑的光路)所示，根据本实用新型实施例的散斑测量机台1包括台体100、光发射装置200和检测装置300。

台体100放置有晶圆400，晶圆400具有多个衍射光学单元410，光发射装置200安装于台体100，光发射装置200发射的光照射于晶圆400的至少一个衍射光学单元410，每个衍射光学单元410被上述光照射时产生多个散斑，检测装置300安装于台体100且包括积分球310和接收器320，光发射装置200和检测装置300位于晶圆400的相对两侧，检测装置300用于获取散斑的光功率。其中，接收器320可以为光电二极管。

举例而言，如图6所示，晶圆400可以通过纳米压制或者纳米刻蚀方式制造。检测装置300获取每个衍射光学单元410的每个散斑的光功率后，可以得出晶圆400的均匀度和衍射效率等参数。

根据本实用新型实施例的散斑测量机台1，通过将光发射装置200安装于台体100，光发射装置200发射的光能够照射于晶圆400的至少一个衍射光学单元410，每个衍射光学单元410被上述光照射时产生多个散斑，检测装置300安装于台体100，光发射装置200和检测装置300位于晶圆400的相对两侧，检测装置300用于获取散斑的光功率。台体100能够用于固定光发射装置200、晶圆400以及检测装置300，以确定光发射装置200、晶圆400以及检测装置300之间的相对位置，从而便于将光发射装置200和晶圆400进行对位，使光发射装置200的光能够照射到晶圆400，且便于检测装置300获取散斑的光功率。

另外，检测装置300包括积分球310和接收器320，积分球310和接收器320组合使用以实现获取散斑的光功率的功能，相比于相关技术中散斑测量机台的散斑需要经过屏幕后再被CCD摄像头收集，本实用新型实施例的散斑测量机台1，无需设置屏幕，积分球310可以直接收集以不同角度入射其内的散斑，具体地，射入积分球310的散斑能够打在积分球310内的散光板,该散斑经由积分球310内的散光板的反射与散射后进入接收器320，如此可以得出该散斑的光功率。由于积分球310可以直接获取散斑的光功率，因此能够降低散斑的光功率的测量误差，从而更准确地得出晶圆的对比度、均匀度以及衍射效率，例如测量误差可以降低到2％以内。而且积分球310只需要与晶圆400对位即可，无需与屏幕对位，减少了操作步骤，降低操作难度，提高了散斑测量机台1得工作效率。

如此，根据本实用新型实施例的散斑测量机台1能够直接测量晶圆400的每个衍射光学单元410的每个散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图3所示，积分球310具有间隔设置的进光孔311和接收孔312，接收器320设于接收孔312，进光孔311的横截面为圆形。其中，进光孔311可以位于积分球310朝向晶圆400的一侧，接收器320可以位于积分球310的外周面且遮挡接收孔312。这样可以便于实现散斑射入积分球310内，且从积分球310射出到接收器320。另外，横截面为圆形的进光孔311整体的受力较为均匀，不易发生应力集中而损坏，提高了积分球310的使用寿命。可以理解的是，将进光孔311的横截面设置为圆形，这样在进光孔311周长相同时其横截面积最大，更便于收集散斑。

可以理解是，进光孔311和接收孔312之间设置遮挡结构，或者进光孔311和接收孔312之间不位于积分球310的径向的相对两侧，以避免上述光射入积分球310内未经过散光板的反射与折射而直接从接收孔312射出。

进一步地，进光孔311的横截面的直径为2mm～5mm。这样一方面可以便于积分球310收集散斑，保证积分球310收集散斑的效率；另一方面射入到积分球310内的散斑不易由进光孔311射出，提高了散斑从接收孔312射出到接收器320的几率，且此时积分球310整体的结构强度较高。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图7所示，光发射装置200包括光源210、光驱动器220、准直镜230、二分之一波片240和四分之一波片250。

光驱动器220与光源210电连接，用于为光源210提供驱动电流。光源210发出的光经过准直镜230射出，二分之一波片240位于准直镜230的背向光源210的一侧，四分之一波片250位于二分之一波片240的背向准直镜230的一侧，光源210发出的光经过准直镜230后先经过二分之一波片240，再经过四分之一波片250。

其中，准直镜230能够将光源210发出的光从分散光路调整为平行光路。二分之一波片240能够调整经准直镜230射出的光的偏光光轴,使经准直镜230射出的光出射能量更大。通过调整和旋转四分之一波片250，能够使经二分之一波片240射出的光成为圆偏振光,从而降低晶圆400的摆放角度对于散斑的光功率的影响。这样进一步提高检测装置300获取每个散斑的光功率的精度。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图2所示，台体100包括台架110、放置盘120、第一位移机构130和第二位移机构140。

光发射装置200安装于台架110，放置盘120用于放置晶圆400，以固定晶圆400和放置盘120的相对位置。第一位移机构130安装于台架110，放置盘120安装于第一位移机构130，第一位移机构130带动放置盘120相对于台架110移动。如此，通过调节第一位移机构130，可以调节晶圆400的位置，使光发射装置200可以照射到晶圆400的每个衍射光学单元410，无需手动调节晶圆400位置，降低了操作难度，提高了调整精度。

另外，第二位移机构140安装于台架110，检测装置300安装于第二位移机构140，第二位移机构140带动检测装置300相对于台架110移动，如此，通过调节第二位移机构140，能够调节检测装置300的位置，便于检测装置300更好地与晶圆400进行对位，以实现收集每个衍射光学单元410的每个散斑，提高了检测装置300对散斑的收集效率，且无需手动调节检测装置300的位置，进一步地降低了操作难度，提高了调整精度。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图4所示，放置盘120具有用于放置晶圆400的放置槽121，放置槽121的底壁设有第一透光孔122，放置槽121的内周壁设有至少一个指孔123。

举例而言，第一透光孔122的内径小于放置槽121的内径，且晶圆400的直径大于第一透光孔122的内径且小于放置槽121的内径，这样晶圆400放置在放置槽121内时，第一透光孔122的周壁能够支撑晶圆400，以防止晶圆400脱离放置槽121内。且光发射装置200的光通过第一透光孔122可以照射于晶圆400。如此，既便于晶圆400产生散斑，又便于晶圆400放置稳定。另外，放置槽121的径向相对两侧可以分别设置有指孔123，指孔123从放置槽121的内周壁沿放置槽121径向向外凹陷，指孔123可以设置为与人体手指相适应的形状，通过指孔123的设置，可以方便人员摆放晶圆400，操作更加简单。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图6所示，晶圆400设有定位缺口420，放置盘120设有与定位缺口420配合的定位柱124。

其中，定位柱124可以为圆柱体，该圆柱体的直径为2mm且轴长为5mm。通过定位缺口与定位柱124的配合，不仅便于拆装晶圆400，而且可以用以限制晶圆400的摆放位置和旋转角度，使晶圆400与放置槽121之间在放置槽121周向上的相对位置固定，即晶圆400与光发射装置200之间在晶圆400周向上的相对位置固定，从而便于移动晶圆400而使光发射装置200照射到每个衍射光学单元410，便于每个衍射光学单元410产生散斑。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图5所示，第一位移机构130包括第一基座131、第一横向模块132和第一纵向模块133。

第一基座131安装于台架110，第一横向模块132沿第一方向可移动地安装于第一基座131，第一纵向模块133沿第二方向可移动地安装于第一横向模块132，放置盘120安装于第一纵向模块133。其中，第一方向与第二方向垂直设置。如此，放置盘120的位置可调节范围较大，且能够快速调节到所需位置，调节步骤简单，便于晶圆400与光发射装置200对位。

在本实用新型的一些实施中，如图1所示，第一基座131和第一横向模块132均可以为长方体，第一基座131的长度方向可以平行于台架110的宽度方向，且第一方向可以与台架110的宽度方向平行，即第一横向模块132可以沿第一基座131的长度方向移动。第一横向模块132的长度方向可以平行于台架110的长度方向，且第二方向可以与台架110的长度方向平行，即第一纵向模块133可以沿第一横向模块132的长度方向移动。

另外，第一纵向模块133的延伸方向可以和第一基座131的长度方向平行，第一纵向模块133和放置盘120可以成型为一体，第一纵向模块133和第一基座131可以位于第一横向模块132的两端，第一纵向模块133和第一基座131可以安装于第一横向模块132的厚度方向的两侧。这样第一位移机构130所需的安装空间小、生产成本低。

在本实用新型的另一些实施中，如图5所示，第一基座131、第一横向模块132和第一纵向模块133均为正方体，第一基座131、第一横向模块132和第一纵向模块133相互层叠设置，放置槽121形成于第一纵向模块133的中心，且第一基座131和第一横向模块132都设有与第一透光孔122对应的通孔，以便于光发射装置200的光能够照射到晶圆400，第一横向模块132横截面的面积大于第一基座131横截面的面积且小于第一纵向模块133横截面的面积，第一横向模块132的周沿均位于第一基座131的朝向第一横向模块132的表面，且第一纵向模块133的周沿均位于第一横向模块132的朝向第一横向模块132的表面。这样第一位移机构130整体结构更加稳定，即第一基座131对第一横向模块132的支撑更为充足，第一横向模块132对第一纵向模块1332的支撑也更为充足，因此晶圆400移动时也更为稳定。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图2所示，第二位移机构140包括第二基座141、第二横向模块142和第二纵向模块143。第二基座141安装于台架110，第二横向模块142沿第三方向可移动地安装于第二基座141，第二纵向模块143沿第四方向可移动地安装于第二横向模块142，检测装置300安装于第二纵向模块143。其中，第三方向与第四方向垂直设置。如此，检测装置300的位置可调节范围较大，且能够快速调节到所需位置，调节步骤简单，便于晶圆400与检测装置300对位。

举例而言，第二基座141和第二横向模块142均可以为长方体，第二基座141的长度方向可以平行于台架110宽度方向，且第三方向可以与台架110的宽度方向平行，即第二横向模块142可以沿第二基座141的长度方向移动。第二横向模块142的长度方向可以平行于台架110的长度方向，且第四方向与台架110长度方向平行，即第二纵向模块143可以沿第二横向模块142的长度方向移动。

另外，第二纵向模块143的延伸方向可以和第二基座141的长度方向平行，第二纵向模块143和第二基座141可以位于第二横向模块142的两端，第二纵向模块143和第二基座141可以安装于第二横向模块142的厚度方向的两侧。这样第二位移机构140所需的安装空间小、生产成本低。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图2所示，台架110包括第一平台111、第二平台112、第三平台113和至少一个支撑柱114。第一平台111、第二平台112和第三平台113层叠设置，即第一平台111、第二平台112和第三平台113可以相互平行且间隔。第二平台112位于第一平台111和第三平台113之间，光发射装置200安装于第一平台111，第一位移机构130安装于第二平台112，第二位移机构140安装于第三平台113，第二平台112设有第二透光孔115。放置盘120安装于第一位移机构130，检测装置300安装于第二位移机构140。其中，第二透光孔115横截面的直径可以为10cm。

由此，光发射装置200能够方便地照射到晶圆400，检测装置300也能够方便地获取晶圆400的散斑的光功率。并且，将光发射装置200、第一透光孔122、第二透光孔115和晶圆400相对位，方便光发射装置200的光照射到晶圆400而产生散斑。另外，通过台架110分层设置，便于分别固定光发射装置200、晶圆400和检测装置300，且利用调整晶圆400和检测装置300的位置，以使晶圆400的散斑光功率的测量更加精准。

另外，支撑柱114分别与第一平台111、第二平台112和第三平台113相连，其中，支撑柱114可以为多根，例如四根。多根支撑柱114沿第一平台111的周向(即第二平台112的周向和第三平台113的周向)均匀间隔的分布。通过支撑柱114的设置，能够使第一平台111、第二平台112和第三平台113的结构更加稳定，进而有利于提高散斑测量机台1的结构稳定性。

根据本实用新型的一些具体实施例，如图1和图2所示，散斑测量机台1还包括对位镜头500，对位镜头500安装于台架110，晶圆400具有多个衍射光学元件410，对位镜头500用于确定多个衍射光学元件410的位置。

举例而言，第二平台112与第三平台113之间可以增设用于固定对位镜头500的固定梁510，且固定梁510可以沿台架110的长度方向设置，对位镜头500可以朝向第二平台112倾斜。并且，对位镜头500可以设有照明光源，照明光源的中心轴线和对位镜头500的中心轴线可以平行。如此，通过对位镜头500的设置，能够确定每个衍射光学单元410的坐标位置，从而便于对晶圆400进行移动，以使快速完成对每个衍射光学单元410的每个散斑光功率进行测量，且测量结果更加精确。

根据本实用新型的一些具体实施例，检测装置300包括多个积分球310和对应的多个接收器320，多个积分球310和多个接收器320同时获取多个散斑的光功率。其中，多个积分球310和多个接收器320之间一一对应。

举例而言，多个积分球310之间可以独立运动，即多个积分球310之间相对位置不固定，可以仅移动其中某一个积分球310或者某几个积分球310。或者，多个积分球310之间可以整体移动，即多个积分球310之间相对位置固定，多个积分球310只能同时移动。

在本实用新型的一些实施中，散斑测量机台1可以设有多个光纤(图中未示意)，多个光纤与多个积分球310一一对应，例如，每个光纤的一端可以用于接收散斑且另一端可以用于将该散斑射入到与其对应的积分球310内，由于多个积分球310整体的质量较重且体积较大，因此通过多个光纤的设置，可以通过移动每个光纤的用于接收散斑的一端，而无需移动积分球310，增加了散斑测量机台1使用的便捷性。

另外，散斑测量机台1还可以设有与多个散斑准直镜(图中未示意)，多个散斑准直镜与多个光纤一一对应设置，晶圆400的每个散斑通过上述散斑准直镜调整光路后在射入到光纤中，进而散斑射入到光纤中的角度更为合理，能够减少散斑在光纤传递中的功率损失，以提高获取每个散斑的光功率的准确性。

这样散斑测量机台1可以同时测量一个衍射光学单元410的多个散斑的光功率，从而降低对每个晶圆400测量所需时间，提高测量效率。

下面结合附图描述散斑测量机台1的的工作过程：

首先，控制第一位移机构130带动放置盘120移动至与第二透光孔115对应地的位置，将晶圆400放置于放置盘120；

然后，通过对位镜头500拍摄晶圆400位置，完成晶圆400的对位，进而产生晶圆400的每个衍射光学单元410的位置坐标；

接下来，光发射组件200照射于晶圆400的其中一个衍射光学单元410，该衍射光学单元410产生多个散斑，控制第二位移机构140带动检测装置300移动至与该衍射光学单元410的其中一个散斑对应地位置，记录该衍射光学单元410的该散斑的光功率；

之后，再继续移动第一位移机构130和第二位移机构140，以使检测装置300获取每个衍射光学单元410的每个散斑的光功率；

最后，综合每个衍射光学单元410的每个散斑的光功率，以得到晶圆400的均匀度、对比度和衍射效率。

根据本实用新型实施例的散斑测量机台1的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种散斑测量机台，其特征在于，包括：

台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；

光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；

检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。

2.根据权利要求1所述的散斑测量机台，其特征在于，所述积分球具有间隔设置的进光孔和接收孔，所述接收器设于所述接收孔，所述进光孔的横截面为圆形。

3.根据权利要求1所述的散斑测量机台，其特征在于，所述光发射装置包括：

光源；

光驱动器，所述光驱动器与所述光源电连接，用于为所述光源提供驱动电流；

准直镜，所述光源发出的光经过所述准直镜射出；

二分之一波片，所述二分之一波片位于所述准直镜的背向所述光源的一侧，所述光经过所述准直镜后经过所述二分之一波片；

四分之一波片，所述四分之一波片位于所述二分之一波片的背向所述准直镜的一侧，所述光经过所述二分之一波片后经过所述四分之一波片。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的散斑测量机台，其特征在于，所述台体包括：

台架，所述光发射装置安装于所述台架；

放置盘，用于放置所述晶圆；

第一位移机构，所述第一位移机构安装于所述台架，所述放置盘安装于所述第一位移机构，所述第一位移机构带动所述放置盘相对于所述台架移动；

第二位移机构，所述第二位移机构安装于所述台架，所述检测装置安装于所述第二位移机构，所述第二位移机构带动所述检测装置相对于所述台架移动。

5.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述放置盘具有用于放置所述晶圆的放置槽，所述放置槽的底壁设有第一透光孔，所述放置槽的内周壁设有至少一个指孔。

6.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述晶圆设有定位缺口，所述放置盘设有与所述定位缺口配合的定位柱。

7.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述第一位移机构包括：

第一基座，所述第一基座安装于所述台架；

第一横向模块，所述第一横向模块沿第一方向可移动地安装于所述第一基座；

第一纵向模块，所述第一纵向模块沿第二方向可移动地安装于所述第一横向模块，所述放置盘安装于所述第一纵向模块；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

8.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述第二位移机构包括：

第二基座，所述第二基座安装于所述台架；

第二横向模块，所述第二横向模块沿第三方向可移动地安装于所述第二基座；

第二纵向模块，所述第二纵向模块沿第四方向可移动地安装于所述第二横向模块，所述检测装置安装于所述第二纵向模块；

其中，所述第三方向与所述第四方向垂直设置。

9.根据权利要求4所述的散斑测量机台，其特征在于，所述台架包括：

第一平台、第二平台和第三平台，所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台层叠设置，所述第二平台位于所述第一平台和所述第三平台之间，所述光发射装置安装于所述第一平台，所述第一位移机构安装于所述第二平台，所述第二位移机构安装于所述第三平台，所述第二平台设有第二透光孔；

至少一个支撑柱，所述支撑柱分别与所述第一平台、所述第二平台和所述第三平台相连。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的散斑测量机台，其特征在于，所述检测装置包括多个所述积分球和对应的多个所述接收器，多个所述积分球和多个所述接收器同时获取多个所述散斑的光功率。

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