CN213924378U - 超纯水处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了超纯水处理装置，包括按流径依次设置的原水箱、板式换热系统、砂滤器、软化系统、炭滤器、第一精密过滤器、一级RO系统、二级RO系统、渗透集水箱、第二精密过滤器、EDI纯水系统、纯化水箱、抛光混床、第三精密过滤器、纯水供端，并且各连通流径上具备动力泵源，炭滤器、一级RO系统、二级RO系统、EDI纯水系统分别设有连通原水箱的回路路径。本实用新型能实现超纯水生产，满足医药领域用水的超纯水供给需求，在原水出路实现初效循环，实现初效灭菌，同时提高了渗滤效率，提高了水处理效率。具备温控板式换热器，能实现渗滤前端的温控，使得渗透进水温度稳定，延长了各渗滤的使用寿命。纯水供给采用循环供水管网实现循环供给。

Description

超纯水处理装置

技术领域

本实用新型涉及超纯水处理装置，属于生物医药纯水供给的技术领域。

背景技术

纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

大型的纯水设备一般按流径包括原水箱、加药装置、多介质过滤器、加药装置、活性炭过滤器、全自动软化系统、保安过滤器、一级反渗透系统、中间水箱、二级反渗透系统、纯水箱、TOC分解器、脱气膜、精密过滤器、EDI装置、纯水箱、抛光混床、膜过滤器。而反渗透水温会对产水量产生较大影响，尤其是在常温温度较低环境中，冬夏季产水差距非常大，不利于纯水供应。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足，针对传统纯水设备设计不合理及无法实现水温调节等问题，提出超纯水处理装置。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

超纯水处理装置，包括按流径依次设置的原水箱、板式换热系统、砂滤器、软化系统、炭滤器、第一精密过滤器、一级RO系统、二级RO系统、渗透集水箱、第二精密过滤器、 EDI纯水系统、纯化水箱、抛光混床、第三精密过滤器、纯水供端，并且各连通流径上具备动力泵源，

所述炭滤器的出水端设有连通所述原水箱的炭滤回流路径，所述一级RO系统设有连通所述原水箱的一级RO回流路径，所述二级RO系统设有连通所述原水箱的二级RO回流路径，所述EDI纯水系统设有连通所述原水箱的EDI回路路径。

优选地，所述炭滤器与所述第一精密过滤器之间设有温控板式换热器，所述炭滤器的出水端分别连接所述温控板式换热器的进水端和所述第一精密过滤器的进水端，所述温控板式换热器的出水端与所述第一精密过滤器的进水端相连。

优选地，所述软化系统包括两组软化器、及用于给两组软化器进行加盐供给的加盐供给系统，任意所述软化器分别与所述砂滤器和所述炭滤器相连通。

优选地，所述纯水供端为循环供水管网，所述循环供水管网的供给端与所述第三精密过滤器的出水端相连通、回流端与所述纯化水箱相连通。

优选地，所述循环供水管网的回流端上设有连通所述渗透集水箱的回流管路。

优选地，所述纯化水箱上设有纯化水加热呼吸器，所述纯化水加热呼吸器连有纯蒸汽出气管路。

本实用新型的有益效果主要体现在：

1.能实现超纯水生产，满足医药领域用水的超纯水供给需求，在原水出路实现初效循环，实现初效灭菌，同时提高了渗滤效率，提高了水处理效率。

2.具备温控板式换热器，能实现渗滤前端的温控，使得渗透进水温度稳定，延长了各渗滤的使用寿命。

3.纯水供给采用循环供水管网实现循环供给，能使得供给纯化水更可靠。

附图说明

图1是本实用新型超纯水处理装置的结构示意图。

图2是本实用新型中初效过滤单元的结构示意图。

图3是本实用新型中高效纯化单元的结构示意图。

图4是本实用新型中末端供给单元的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提供超纯水处理装置。以下结合附图对本实用新型技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。

超纯水处理装置，如图1至图4所示，包括按流径依次设置的原水箱1、板式换热系统 2、砂滤器3、软化系统4、炭滤器5、第一精密过滤器6、一级RO系统7、二级RO系统8、渗透集水箱9、第二精密过滤器10、EDI纯水系统11、纯化水箱12、抛光混床13、第三精密过滤器14、纯水供端15，并且各连通流径上具备动力泵源。

即原水箱1、板式换热系统2、砂滤器3、软化系统4及炭滤器5构成初效过滤单元100，一级RO系统7、二级RO系统8、渗透集水箱9、第二精密过滤器10、EDI纯水系统 11构成高效纯化单元200，纯化水箱12、抛光混床13、第三精密过滤器14、纯水供端15 构成末端供给单元300。

本案中，炭滤器5的出水端设有连通原水箱1的炭滤回流路径，一级RO系统7设有连通原水箱1的一级RO回流路径，二级RO系统设有连通原水箱的二级RO回流路径，EDI 纯水系统设有连通原水箱的EDI回路路径。

具体地说明，板式换热系统2用于原水箱1出水端的换热升温，能满足后端一级RO系统7和二级RO系统8的水温控制，从而实现较低环境温度下的加热需求，处理水高效。

另外，初效过滤单元100中，存在炭滤器5回流至原水箱1的炭滤回流路径，从而实现初效过滤单元100的循环流径实现，满足板式换热系统2的循环加热处理，能达到80～85℃的灭菌需求，实现出水灭菌。

而一级RO系统7、二级RO系统8、和EDI纯水系统11均具备连接原水箱回路，一方面满足浓水反流循环利用需求，另一方面能实现原水箱1的补量供给，当然，各回流路径均具备排放管路。

在一个具体实施例中，炭滤器5与第一精密过滤器6之间设有温控板式换热器16，炭滤器5的出水端分别连接温控板式换热器的进水端和第一精密过滤器的进水端，温控板式换热器的出水端与第一精密过滤器的进水端相连。

具体地说明，一级RO系统7、二级RO系统8为渗透膜过滤，其渗透膜对温度较为敏感，为了延长渗透膜有效寿命，增设了温控板式换热器16，其能起到温控作用，使得进入高效纯化单元200的温度较为稳定。

在一个具体实施例中，软化系统4包括两组软化器17、及用于给两组软化器17进行加盐供给的加盐供给系统18，任意软化器分别与砂滤器和炭滤器相连通。

具体地说明，软化器17长期作业后需要进行加盐析出作业，其需要一定地作业时间，通过两组软化器17能实现潮汐替换作业，维持软化系统4的连续作业需求。

在一个具体实施例中，纯水供端15为循环供水管网，循环供水管网的供给端与第三精密过滤器的出水端相连通、回流端与纯化水箱相连通。

具体地说明，纯水供端15出水为生物医疗等供水使用，传统供水管网为单供给网管，一方面单供给网管内纯水滞留容易滋生细菌污染，另一方面供水水压存在较大波动，而采用循环供水管网，能实现纯水循环，防止纯水污染，同时能使得供给管网水压稳定。

在一个具体实施例中，循环供水管网的回流端上设有连通渗透集水箱的回流管路19。

具体地说明，纯水在循环供水管网中存在循环，而循环供水管网内容易出现管内壁污染等现象，因此采用了回流管路19设计，能实时监控回流水质，当出现水质不合格时，其通过回流管路19回流至渗透集水箱参与前端纯水处理。

在一个具体实施例中，纯化水箱12上设有纯化水加热呼吸器20，纯化水加热呼吸器20 连有纯蒸汽出气管路。即能实现纯化水蒸气供给。

通过以上描述可以发现，本实用新型超纯水处理装置，能实现超纯水生产，满足医药领域用水的超纯水供给需求，在原水出路实现初效循环，实现初效灭菌，同时提高了渗滤效率，提高了水处理效率。具备温控板式换热器，能实现渗滤前端的温控，使得渗透进水温度稳定，延长了各渗滤的使用寿命。纯水供给采用循环供水管网实现循环供给，能使得供给纯化水更可靠。

以上对本实用新型的技术方案进行了充分描述，需要说明的是，本实用新型的具体实施方式并不受上述描述的限制，本领域的普通技术人员依据本实用新型的精神实质在结构、方法或功能等方面采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.超纯水处理装置，其特征在于：

包括按流径依次设置的原水箱、板式换热系统、砂滤器、软化系统、炭滤器、第一精密过滤器、一级RO系统、二级RO系统、渗透集水箱、第二精密过滤器、EDI纯水系统、纯化水箱、抛光混床、第三精密过滤器、纯水供端，并且各连通流径上具备动力泵源，

所述炭滤器的出水端设有连通所述原水箱的炭滤回流路径，所述一级RO系统设有连通所述原水箱的一级RO回流路径，所述二级RO系统设有连通所述原水箱的二级RO回流路径，所述EDI纯水系统设有连通所述原水箱的EDI回路路径。

2.根据权利要求1所述超纯水处理装置，其特征在于：

所述炭滤器与所述第一精密过滤器之间设有温控板式换热器，所述炭滤器的出水端分别连接所述温控板式换热器的进水端和所述第一精密过滤器的进水端，所述温控板式换热器的出水端与所述第一精密过滤器的进水端相连。

3.根据权利要求1所述超纯水处理装置，其特征在于：

所述软化系统包括两组软化器、及用于给两组软化器进行加盐供给的加盐供给系统，任意所述软化器分别与所述砂滤器和所述炭滤器相连通。

4.根据权利要求1所述超纯水处理装置，其特征在于：

所述纯水供端为循环供水管网，所述循环供水管网的供给端与所述第三精密过滤器的出水端相连通、回流端与所述纯化水箱相连通。

5.根据权利要求4所述超纯水处理装置，其特征在于：

所述循环供水管网的回流端上设有连通所述渗透集水箱的回流管路。

6.根据权利要求1所述超纯水处理装置，其特征在于：

所述纯化水箱上设有纯化水加热呼吸器，所述纯化水加热呼吸器连有纯蒸汽出气管路。

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