CN213922441U - 一种氩气封纯水装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种氩气封纯水装置，包括：储罐、排水管、压力传感器A、进气调节仪、进气电动调节阀、压力传感器B、进气管、排气调节仪、排气管、排气电动调节阀、进水管；储罐顶部连接进气管和排气管；所述的储罐侧部连接进水管；储罐底部连接排水管；进气管上依次安装压力传感器A、进气电动调节阀、压力传感器B；排气管上安装有排气电动调节阀；压力传感器A和进气电动调节阀与进气调节仪电连接；压力传感器A、压力传感器B、排气电动调节阀与排气调节仪电连接；对储罐内的超纯水与空气进行封隔，保证了超纯水长时间存储；装置自动化程度高，可自动监测内外气压以及储罐内水量，实现自动调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及氩封纯水技术领域，具体涉及一种氩气封纯水装置。
背景技术
在单晶硅生产过程中需要用到超纯水，工业上一般用不锈钢储罐存储纯水，而超纯水为纯的溶剂，对这些杂质的溶解能力很强，故一旦超纯水与空气接触，就会使其电阻率迅速下降，实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm，3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右，解决超纯水与空气不接触的方法：一般采用充氮法，即在储罐水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力，阻止大气与储罐水面接触，为了保证储罐氮气供应，需要在系统中增加供氮装置，增加了生产成本。
实用新型内容
针对现有技术中的问题，本实用新型提供了一种氩气封纯水装置，该装置直接利用单晶炉直拉工艺使用的氩气，对储罐内的超纯水与空气进行封隔，保证了超纯水长时间存储，无需制氮设备，减低企业生产成本。
为实现本实用新型的目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种氩气封纯水装置，包括：储罐、排水管、压力传感器A、进气调节仪、进气电动调节阀、压力传感器B、进气管、排气调节仪、排气管、排气电动调节阀、进水管；所述的储罐顶部连接进气管和排气管；所述的储罐侧部连接进水管；所述的储罐底部连接排水管；所述的进气管上依次安装压力传感器A、进气电动调节阀、压力传感器B；所述的排气管上安装有排气电动调节阀；所述的压力传感器A和进气电动调节阀与进气调节仪电连接；所述的压力传感器A、压力传感器B、排气电动调节阀与排气调节仪电连接。
优选的，所述的储罐顶部安装呼吸阀。
优选的，所述的储罐内安装有液位传感器；排水管上安装有排水电磁阀；进水管上依次安装有进水电磁阀、水泵；所述的排水电磁阀、进水电磁阀与水量调节仪电连接；所述的水量调节仪通过接触器与水泵电源端连接。
优选的，所述的压力传感器A与压力传感器B通过RS485总线与排气调节仪连接；所述的进水电磁阀的控制线圈与接触器的控制线圈并联后与水量调节仪的控制输出端连接。
本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：
(1)对储罐内的超纯水与空气进行封隔，保证了超纯水长时间存储；
(2)该装置可直接利用单晶炉直拉工艺使用的氩气，无需制氮设备，降低企业生产成本；
(3)装置自动化程度高，可自动监测内外气压以及储罐内水量，实现自动调节。
附图说明
图1是本实用新型一种氩气封纯水装置的结构示意图；
图2是本实用新型一种氩气封纯水装置的电气控制图；
图中：储罐1、呼吸阀2、液位传感器3、排水电磁阀4、排水管5、进水电磁阀6、水量调节仪7、接触器8、压力传感器A9、进气调节仪10、进气电动调节阀11、压力传感器B12、进气管13、排气调节仪14、排气管15、排气电动调节阀16、水泵17、进水管18。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述：
如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，一种氩气封纯水装置，包括：储罐1、排水管5、压力传感器A9、进气调节仪10、进气电动调节阀11、压力传感器B12、进气管13、排气调节仪14、排气管15、排气电动调节阀16、进水管18；所述的储罐1顶部连接进气管13和排气管15；所述的储罐1侧部连接进水管18；所述的储罐1底部连接排水管5；所述的进气管13上依次安装压力传感器A9、进气电动调节阀11、压力传感器B12；所述的排气管15上安装有排气电动调节阀16；压力传感器A9可监测储罐1内气压，压力传感器B12可监测进气管13前端输入的气压；所述的压力传感器A9和进气电动调节阀11与进气调节仪10电连接；进气调节仪10可根据输入的氩气压力控制进气电动调节阀11进气；所述的压力传感器A9、压力传感器B12、排气电动调节阀16与排气调节仪14电连接；排气调节仪14通过压力传感器B12的进气压力和压力传感器A9监测到的内部气压控制排气电动调节阀16排气，保证储罐1内压力在安全值范围内。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述的储罐1顶部安装呼吸阀2，可进一步保证储罐1的压强保持稳定。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述的储罐1内安装有液位传感器3；排水管5上安装有排水电磁阀4；进水管18上依次安装有进水电磁阀6、水泵17；所述的排水电磁阀4、进水电磁阀6与水量调节仪7电连接；所述的水量调节仪7通过接触器8与水泵17电源端连接；实现了储罐1内超纯水的进水与出水的控制，保证了储罐1内的水量稳定。
如图2所示，在本实用新型的一个具体实施例中，所述的压力传感器A9与压力传感器B12通过RS485总线与排气调节仪14连接；所述的进水电磁阀6的控制线圈与接触器8的控制线圈并联后与水量调节仪7的控制输出端连接；即在控制水泵17通电开启的同时打开进水电磁阀6。
具体运行时，将进气管13单晶炉直拉工艺使用的氩气通道上，根据储罐1内需要的气压值设定进气调节仪10、排气调节仪14；进气调节仪10实时监测内部气压控制进气电动调节阀11调节进气量；当储罐1内注入纯水后，内部气压大于进气压力时，排气调节仪14控制排气电动调节阀16排气；水量调节仪7则根据液位传感器3控制进水量和排水量，避免储罐1内超纯水完全排空或过量。
以上所述仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种氩气封纯水装置，包括：储罐、排水管、压力传感器A、进气调节仪、进气电动调节阀、压力传感器B、进气管、排气调节仪、排气管、排气电动调节阀、进水管；其特征在于：所述的储罐顶部连接进气管和排气管；所述的储罐侧部连接进水管；所述的储罐底部连接排水管；所述的进气管上依次安装压力传感器A、进气电动调节阀、压力传感器B；所述的排气管上安装有排气电动调节阀；所述的压力传感器A和进气电动调节阀与进气调节仪电连接；所述的压力传感器A、压力传感器B、排气电动调节阀与排气调节仪电连接。
2.根据权利要求1所述的一种氩气封纯水装置，其特征在于：所述的储罐顶部安装呼吸阀。
3.根据权利要求1所述的一种氩气封纯水装置，其特征在于：该装置还包括有水量调节仪；所述的储罐内安装有液位传感器；排水管上安装有排水电磁阀；进水管上依次安装有进水电磁阀、水泵；所述的排水电磁阀、进水电磁阀与水量调节仪电连接；所述的水量调节仪通过接触器与水泵电源端连接。
4.根据权利要求3所述的一种氩气封纯水装置，其特征在于：所述的压力传感器A与压力传感器B通过RS485总线与排气调节仪连接；所述的进水电磁阀的控制线圈与接触器的控制线圈并联后与水量调节仪的控制输出端连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202022558896.9U CN213922441U (zh) | 2020-11-09 | 2020-11-09 | 一种氩气封纯水装置 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN213922441U true CN213922441U (zh) | 2021-08-10 |
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Family Applications (1)
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| CN202022558896.9U Active CN213922441U (zh) | 2020-11-09 | 2020-11-09 | 一种氩气封纯水装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN213922441U (zh) |
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2020
- 2020-11-09 CN CN202022558896.9U patent/CN213922441U/zh active Active
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