CN213876311U - 一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，涉及曝光机技术领域，包括底箱，所述底箱的内表面底部设置有液泵，所述液泵的进液端设置有进液管，所述液泵的出液端设置有出液管，所述底箱的内表面底部且位于液泵的一侧设置有冷却器，所述底箱的外表面顶部设置有支撑座，所述支撑座的顶部设置有液箱，所述液箱的一侧设置有排液管，所述排液管的一侧设置有电磁阀，所述液箱的内表面一侧设置有温度计，所述液箱的外表面一侧设置有控制板。解决了现有的液体版曝光机在使用时，其内部的曝光液在进行循环时冷却效果较差，同时不能对于曝光液的温度进行实时的监测，不利于长期进行使用的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及曝光机领域，尤其涉及一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置。
背景技术
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
现有的液体版曝光机在使用时，其内部的曝光液在进行循环时冷却效果较差，同时不能对于曝光液的温度进行实时的监测，不利于长期进行使用。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，具备能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测的优点，解决了现有的液体版曝光机不能对于曝光液的温度进行实时的监测的问题。
(二)技术方案
为实现上述能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，包括底箱，所述底箱的内表面底部设置有液泵，所述液泵的进液端设置有进液管，所述液泵的出液端设置有出液管，所述底箱的内表面底部且位于液泵的一侧设置有冷却器，所述底箱的外表面顶部设置有支撑座，所述支撑座的顶部设置有液箱，所述液箱的一侧设置有排液管，所述排液管的一侧设置有电磁阀，所述液箱的内表面一侧设置有温度计，所述液箱的外表面一侧设置有控制板。
优选的，所述液箱与底箱的内部均设有曝光液。
优选的，所述进液管的一端与液泵的进液端之间连通。
优选的，所述出液管的底端贯穿底箱的一侧且与液泵的出液端之间连通。
优选的，所述排液管的顶端与液箱的底部之间连通，所述排液管的底端与底箱的顶部之间连通。
优选的，所述出液管的顶端与液箱的一侧之间连通，所述温度计的电源线与外部电源电性连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，具备以下有益效果：
本实用新型中，采用的冷却器与温度计，实现能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测，在使用时，通过温度计检测到液箱内部的实时温度，当温度过高时，打开电磁阀，冷却器与启动液泵，通过液泵、进液管与出液管，将底箱与液箱内部的液体进行交换，通过冷却器的作用，可以使得底箱内部的液体温度降低，从而能够将液箱内部的温度降低，增加使用的效果。
附图说明
图1为本实用新型提出一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型提出一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置中控制板的结构示意图。
图例说明：
1、底箱；2、液泵；3、进液管；4、出液管；5、冷却器；6、支撑座；7、液箱；8、排液管；9、电磁阀；10、温度计；11、控制板。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
参照图1-2，一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，包括底箱1，底箱1的内表面底部设置有液泵2，液泵2的型号为VAY8828，液泵2的电源线与外部电源电性连接，液泵2的进液端设置有进液管3，液泵2的出液端设置有出液管4，底箱1的内表面底部且位于液泵2的一侧设置有冷却器5，底箱1的外表面顶部设置有支撑座6，支撑座6的顶部设置有液箱7，液箱7的一侧设置有排液管8，排液管8的一侧设置有电磁阀9，液箱7的内表面一侧设置有温度计10，液箱7的外表面一侧设置有控制板11。
进一步的，液箱7与底箱1的内部均设有曝光液。
进一步的，进液管3的一端与液泵2的进液端之间连通。
进一步的，出液管4的底端贯穿底箱1的一侧且与液泵2的出液端之间连通。
进一步的，排液管8的顶端与液箱7的底部之间连通，排液管8的底端与底箱1的顶部之间连通。
进一步的，出液管4的顶端与液箱7的一侧之间连通，温度计10的电源线与外部电源电性连接。
本实用新型的工作原理及使用流程：通过设置的冷却器5与温度计10，实现能够对于循环液进行很好的冷却降温与能够对于循环液的温度进行实时的监测，在使用时，通过温度计10检测到液箱7内部的实时温度，当温度过高时，打开电磁阀9，冷却器5与启动液泵2，通过液泵2、进液管3与出液管4，将底箱1与液箱7内部的液体进行交换，通过冷却器5的作用，可以使得底箱1内部的液体温度降低，从而能够将液箱7内部的温度降低，增加使用的效果。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，包括底箱(1)，其特征在于：所述底箱(1)的内表面底部设置有液泵(2)，所述液泵(2)的进液端设置有进液管(3)，所述液泵(2)的出液端设置有出液管(4)，所述底箱(1)的内表面底部且位于液泵(2)的一侧设置有冷却器(5)，所述底箱(1)的外表面顶部设置有支撑座(6)，所述支撑座(6)的顶部设置有液箱(7)，所述液箱(7)的一侧设置有排液管(8)，所述排液管(8)的一侧设置有电磁阀(9)，所述液箱(7)的内表面一侧设置有温度计(10)，所述液箱(7)的外表面一侧设置有控制板(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，其特征在于：所述液箱(7)与底箱(1)的内部均设有曝光液。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，其特征在于：所述进液管(3)的一端与液泵(2)的进液端之间连通。
4.根据权利要求1所述的一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，其特征在于：所述出液管(4)的底端贯穿底箱(1)的一侧且与液泵(2)的出液端之间连通。
5.根据权利要求1所述的一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，其特征在于：所述排液管(8)的顶端与液箱(7)的底部之间连通，所述排液管(8)的底端与底箱(1)的顶部之间连通。
6.根据权利要求1所述的一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置，其特征在于：所述出液管(4)的顶端与液箱(7)的一侧之间连通，所述温度计(10)的电源线与外部电源电性连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022748493.0U CN213876311U (zh) | 2020-11-25 | 2020-11-25 | 一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022748493.0U CN213876311U (zh) | 2020-11-25 | 2020-11-25 | 一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN213876311U true CN213876311U (zh) | 2021-08-03 |
Family
ID=77039244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022748493.0U Active CN213876311U (zh) | 2020-11-25 | 2020-11-25 | 一种用于自动液体版曝光机的循环冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213876311U (zh) |
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2020
- 2020-11-25 CN CN202022748493.0U patent/CN213876311U/zh active Active
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