CN213853365U - 一种砂浆回流滤网机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种砂浆回流滤网机构，包括第一管体，所述第一管体上密封连接有第二管体，所述第一管体与所述第二管体之间设置有滤芯；所述第一管体的内部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积，所述第二管体具有第三管腔，所述第三管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积。本实用新型通过该滤网结构，一方面使得回流的路径上的砂浆形成一定的缓冲作用，形成类似蓄能器的作用，另一方面利用该滤网结构对杂质进行过滤。

Description

一种砂浆回流滤网机构

技术领域

本实用新型涉及硅片加工用的砂浆装置技术领域，具体为一种砂浆回流滤网机构。

背景技术

在硅片切割加工的过程中，砂浆是不可或缺的，并影响着硅片的制造质量，在实际的使用过程中，砂浆在切割时会从切割处回流到回流缸，然后在重复利用，在这过程中，砂浆的流速、流量等都会对回流缸产生一定的影响，造成回流缸运行不稳等情况，另外在回流的过程中，切割产生的碎片也可能伴随砂浆进入回流缸，进而对回流缸产生影响。

实用新型内容

针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种砂浆回流滤网机构，通过该滤网结构，一方面使得回流的路径上的砂浆形成一定的缓冲作用，形成类似蓄能器的作用，另一方面利用该滤网结构对杂质进行过滤。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供一种砂浆回流滤网机构，包括第一管体，所述第一管体上密封连接有第二管体，所述第一管体与所述第二管体之间设置有滤芯；

其中，所述第一管体的内部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积，所述第二管体具有第三管腔，所述第三管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积。

优选地，所述滤芯包括依次设置的第一滤网、第二滤网以及第三滤网，所述第一滤网与所述第二滤网之间、所述第二滤网与所述第三滤网之间均具有容置空间。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网的结构相同，且均为球面的一部分，所述第一滤网与所述第二滤网对扣抵紧在一起形成中间外凸的“橄榄球”状；

所述第三滤网呈圆锥状结构，所述第二滤网抵紧在所述第三滤网的扩口端处，并朝向所述第三滤网的尖端凸起。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网可拆卸连接，所述第二滤网与所述第三滤网可拆卸连接。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网之间设置隔垫。

优选地，所述第一管体的端部开设有供所述第二滤网和所述第三滤网安装的第一槽口，所述第二管体的端部开设有供所述第一滤网安装的第二槽口。

优选地，所述第一管体的内壁上开设有若干个通孔，所述第二管腔通过所述通孔与所述第一管体的外部空间相通；

所述通孔内密封设置有堵头。

优选地，所述第一管体与所述第二管体可拆卸连接。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过第一管体内径的变化，使得在砂浆回流的路径上具有一段内腔容积增加的路径，进而扩张了管路，使得砂浆流动时具有一定的缓冲作用，进而能够在一定程度上降低砂浆流动不稳的情况；

本实用新型的滤芯采用多个滤网的设置，一方面能够对砂浆进行过滤，另一方面能够对回流的砂浆进行一定程度的分流，进一步降低砂浆流动时带来的冲击。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种砂浆回流滤网机构的结构示意图；

图2为滤芯的结构示意图；

图3为图2中A部的放大图；

图4为图1中B部的放大图。

附图标记说明：

1-第一管体、11-第一管腔、12-第二管腔、2-第二管体、21-第三管腔、3-滤芯、31-第一滤网、32-第二滤网、33-第三滤网、4-隔垫、5-堵头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

如图1所示，本实用新型提供了一种砂浆回流滤网机构，包括第一管体1，第一管体1上密封连接有第二管体2，第一管体1与第二管体2之间设置有滤芯3，其中第一管体1与第二管体2可拆卸连接，具体的可采用螺纹连接方式，并增设一个密封垫片实现密封；

结合图1，第一管体1的内部具有第一管腔11和第二管腔12，第二管腔12的横截面积大于第一管腔11的横截面积，第二管体2具有第三管腔21，第三管腔21的横截面积大于第一管腔11的横截面积，在本实施例中第一管腔11、第二管腔12以及第三管腔21均为圆形结构，且第三管腔21的内径与第二管腔12的内径相同，进而使得回流过来的砂浆流经过第一管腔11后进入内径较大的第二管腔12，从而降低冲击；

进一步的，如图2所示，滤芯3包括依次设置的第一滤网31、第二滤网32以及第三滤网33(三个滤网上的滤孔根据实际使用的砂浆进行设置，在此不做限定)，第一滤网31与第二滤网32之间、第二滤网32与第三滤网33之间均具有容置空间；第一滤网31与第二滤网32的结构相同，且均为球面的一部分，第一滤网31与第二滤网32对扣抵紧在一起形成中间外凸的“橄榄球”状；第三滤网33呈圆锥状结构，第二滤网32抵紧在第三滤网33的扩口端处，并朝向第三滤网33的尖端凸起，且第二滤网32与第三滤网33相切；第三滤网33的尖端正对着砂浆回流的方向，即如图1实线箭头所示，第三滤网33的这种结构能够对回流过来的砂浆进行分流，从而进一步降低冲击；

结合图2，滤芯3具有两个容置空间，其中第一滤网31与第二滤网32之间的容置空间呈“橄榄球”状，第二滤网32与第三滤网33之间形成类圆锥状；当砂浆流经滤芯3后，容置空间的存在一方面能够储存一定的砂浆，起到一定的阻碍效果，降低流动时的冲击，另一方面能够储存被过滤掉的杂质，使其留存在其内；

因此为了方便留存的杂质，第一滤网31与第二滤网32可拆卸连接，第二滤网32与第三滤网33也可拆卸连接；同时为了配合第一管体1与第二管体2的可拆卸连接，结合图3，在第一滤网31与第二滤网32之间设置隔垫4；

具体的三个滤网的可拆卸连接通过第一管体1与第二管体2的对合实现，结合图4，在第一管体1的端部开设有供第二滤网32和第三滤网33安装的第一槽口，第二管体2的端部开设有供第一滤网31安装的第二槽口，当第一管体1与第二管体2对合固定在一起时，三个滤网也就相互抵紧在一起；

进一步的，第一管体1具有不同内径的管腔设置，在具有容积变化作用的同时，能够与圆锥状的第三滤网33相结合，利用第三滤网33对砂浆流动产生的分流的作用，在第三滤网33与第二管腔12之间形成一个杂质沉降区(如图1中虚线箭头所示)，进而便于阻碍杂质，与滤芯3内的容置空间一同形成杂质的留存区；

为此，在第一管体1的内壁上开设有若干个通孔，第二管腔12通过通孔与第一管体1的外部空间相通，通孔内密封设置有堵头5，从而方便对该处杂质的清除；

在实际使用的过程中，由于滤芯3的存在，杂质首先会在虚线箭头处产生积聚，而在容置空间内的杂质要相对少一些，因此堵头5的设置可应对短时间的杂质清除，待使用时间较长时，可将第一管体1与第二管体2拆下，对其进行全面清洁。

使用时，结合图1，第一管体1的第一管腔11与回流而来的砂浆管相连接，砂浆经由第二管腔12至第三管腔21，流进回流缸内，即砂浆的流动方向为图1中的实线箭头方向；在短期限的使用过程中，可通过堵头5对管道内的杂质进行清理，在长期使用过程中，可定期将第一管体1和第二管体2拆除进行全面清除杂质。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，包括第一管体，所述第一管体上密封连接有第二管体，所述第一管体与所述第二管体之间设置有滤芯；

其中，所述第一管体的内部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积，所述第二管体具有第三管腔，所述第三管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积。

2.如权利要求1所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述滤芯包括依次设置的第一滤网、第二滤网以及第三滤网，所述第一滤网与所述第二滤网之间、所述第二滤网与所述第三滤网之间均具有容置空间。

3.如权利要求2所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一滤网与所述第二滤网的结构相同，且均为球面的一部分，所述第一滤网与所述第二滤网对扣抵紧在一起形成中间外凸的“橄榄球”状；

所述第三滤网呈圆锥状结构，所述第二滤网抵紧在所述第三滤网的扩口端处，并朝向所述第三滤网的尖端凸起。

4.如权利要求2或3所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一滤网与所述第二滤网可拆卸连接，所述第二滤网与所述第三滤网可拆卸连接。

5.如权利要求4所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一滤网与所述第二滤网之间设置隔垫。

6.如权利要求4所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一管体的端部开设有供所述第二滤网和所述第三滤网安装的第一槽口，所述第二管体的端部开设有供所述第一滤网安装的第二槽口。

7.如权利要求1所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一管体的内壁上开设有若干个通孔，所述第二管腔通过所述通孔与所述第一管体的外部空间相通；

所述通孔内密封设置有堵头。

8.如权利要求1所述的一种砂浆回流滤网机构，其特征在于，所述第一管体与所述第二管体可拆卸连接。

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