CN213421829U - 一种具有压力自动平衡功能的扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，包括主体外壳、温控箱和底座，所述主体外壳的内部设置有加强结构，所述温控箱的一侧安装有推温箱，所述散热箱内部的一侧固定有通风板，且通风板的一侧设置有散热风机。本实用新型通过将散热箱先行固定，然后当散热风机打开之后，气流开始流动，并且在通风板的传输下，气流导入到散热箱的中间位置处，紧接着在气流依次经过冷却片后，由于“S”形的设计，使得降温更加便捷迅速，从而使得气流在穿梭后经过散热板内部的通风口进行排出，从而将热量携带而走，同时冷却片的设置将热量进行降温穿梭后，减少了对外部环境的影响，也同时提高了整体的散热能力。

Description

一种具有压力自动平衡功能的扩散炉

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种具有压力自动平衡功能的扩散炉。

背景技术

随着社会的不断发展，经济水平的不断提升，人们对于半导体的运用也更加的娴熟广泛，其中为了半导体的生产，在其生产线前工序的工作中，扩散炉是一种必不可少的工艺设备，可以适用于多种扩散、氧化和合金烧结等工艺过程；

然而传统的此类装置在使用的过程中，也仍然存在着一些问题，例如在其长期工作下，内部温度过高且难以散出而导致仪器损坏，从而对使用造成了一定的不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，以解决上述背景技术中提出散热状态差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，包括主体外壳、温控箱和底座，所述主体外壳的内部设置有加强结构，所述主体外壳内部的一侧安装有控制箱，且控制箱的一侧安装有温控箱，所述温控箱的一侧安装有推温箱，且推温箱的中间位置处固定有横杆，所述横杆的两端均设置有衡压结构，所述推温箱一侧的顶端安装有栅板，所述推温箱一侧的底端安装有操作面板，所述主体外壳的底端固定有底座，且底座的内部设置有散热机构，所述散热机构包括散热箱、散热板、通风口、冷却片、通风板和散热风机，所述散热箱的一端与底座内部的一端固定连接，所述散热箱的内部安装有冷却片，所述散热箱的一侧固定有散热板，且散热板的内部固定有通风口，所述散热箱内部的一侧固定有通风板，且通风板的一侧设置有散热风机。

优选的，所述冷却片在散热箱内部的顶端和底端呈交错分布，所述通风口在散热板的内部呈等间距排列。

优选的，所述衡压结构包括固定槽、卡块和衡压因子，所述固定槽的一端与横杆的一端固定连接，所述固定槽的内部安装有卡块，且卡块的一端固定有衡压因子。

优选的，所述固定槽关于横杆的垂直中轴线呈对称分布，所述固定槽与卡块内部之间形成卡合结构。

优选的，所述加强结构包括外层壳体、缓冲棉、加强块和内层壳体，所述外层壳体的外侧壁有主体外壳的内侧壁固定连接，所述外层壳体的一端固定有内层壳体，所述外层壳体和内层壳体内部之间填充有缓冲棉，所述缓冲棉的内部固定有加强块。

优选的，所述加强块在缓冲棉的内部均匀分布有三组，所述外层壳体与内层壳体设置在同一垂直平面内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种具有压力自动平衡功能的扩散炉不仅提高了该装置的散热能力，也同时提高了该装置的衡压能力和内部强度；

（1）通过将散热箱先行固定，然后当散热风机打开之后，气流开始流动，并且在通风板的传输下，气流导入到散热箱的中间位置处，紧接着在气流依次经过冷却片后，由于“S”形的设计，使得降温更加便捷迅速，从而使得气流在穿梭后经过散热板内部的通风口进行排出，从而将热量携带而走，同时冷却片的设置将热量进行降温穿梭后，减少了对外部环境的影响，也同时提高了整体的散热能力；

（2）通过将固定槽固定后，将衡压因子与卡块相互连接，然后当内部压强达到一定数值后，会对衡压因子造成挤压，在衡压因子破坏后内部的平衡因子爆出对环境做出了改善，从而维持了内部的压力；

（3）通过将外层壳体和内层壳体进行固定，随后将缓冲棉进行填充，在受到挤压时，先对缓冲棉进行挤压并且加强块受到外界压力后，起到了加强的效果，防止了变形，也减少了温度的变化对主体外壳的影响。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图；

图2为本实用新型的后视结构示意图；

图3为本实用新型的散热机构侧视结构示意图；

图4为本实用新型的加强结构侧视剖面结构示意图。

图中：1、主体外壳；2、推温箱；3、温控箱；4、控制箱；5、底座；6、散热机构；601、散热箱；602、散热板；603、通风口；604、冷却片；605、通风板；606、散热风机；7、横杆；8、操作面板；9、衡压结构；901、固定槽；902、卡块；903、衡压因子；10、栅板；11、加强结构；1101、外层壳体；1102、缓冲棉；1103、加强块；1104、内层壳体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，包括主体外壳1、温控箱3和底座5，主体外壳1的内部设置有加强结构11，加强结构11包括外层壳体1101、缓冲棉1102、加强块1103和内层壳体1104，外层壳体1101的外侧壁有主体外壳1的内侧壁固定连接，外层壳体1101的一端固定有内层壳体1104，外层壳体1101和内层壳体1104内部之间填充有缓冲棉1102，缓冲棉1102的内部固定有加强块1103，加强块1103在缓冲棉1102的内部均匀分布有三组，外层壳体1101与内层壳体1104设置在同一垂直平面内；

具体地，如图1和图4所示，使用该机构时，首先，通过将外层壳体1101和内层壳体1104进行固定，随后将缓冲棉1102进行填充，在受到挤压时，先对缓冲棉1102进行挤压并且加强块1103受到外界压力后，起到了加强的效果，防止了变形，也减少了温度的变化对主体外壳1的影响；

主体外壳1内部的一侧安装有控制箱4，且控制箱4的一侧安装有温控箱3，温控箱3的一侧安装有推温箱2，且推温箱2的中间位置处固定有横杆7，横杆7的两端均设置有衡压结构9，衡压结构9包括固定槽901、卡块902和衡压因子903，固定槽901的一端与横杆7的一端固定连接，固定槽901的内部安装有卡块902，且卡块902的一端固定有衡压因子903，固定槽901关于横杆7的垂直中轴线呈对称分布，固定槽901与卡块902内部之间形成卡合结构；

具体地，如图1和图2所示，使用该机构时，首先，通过将固定槽901固定后，将衡压因子903与卡块902相互连接，然后当内部压强达到一定数值后，会对衡压因子903造成挤压，在衡压因子903破坏后内部的平衡因子爆出对环境做出了改善，从而维持了内部的压力；

推温箱2一侧的顶端安装有栅板10，推温箱2一侧的底端安装有操作面板8，主体外壳1的底端固定有底座5，且底座5的内部设置有散热机构6，散热机构6包括散热箱601、散热板602、通风口603、冷却片604、通风板605和散热风机606，散热箱601的一端与底座5内部的一端固定连接，散热箱601的内部安装有冷却片604，散热箱601的一侧固定有散热板602，且散热板602的内部固定有通风口603，散热箱601内部的一侧固定有通风板605，且通风板605的一侧设置有散热风机606，冷却片604在散热箱601内部的顶端和底端呈交错分布，通风口603在散热板602的内部呈等间距排列；

具体地，如图1和图3所示，使用该机构时，首先，通过将散热箱601先行固定，然后当散热风机606打开之后，气流开始流动，并且在通风板605的传输下，气流导入到散热箱601的中间位置处，紧接着在气流依次经过冷却片604后，由于“S”形的设计，使得降温更加便捷迅速，从而使得气流在穿梭后经过散热板602内部的通风口603进行排出，从而将热量携带而走，同时冷却片604的设置将热量进行降温穿梭后，减少了对外部环境的影响，也同时提高了整体的散热能力。

工作原理：首先，将该装置外接电源后，使其可以开始正常工作，紧接着对操作面板8进行操作，使其数值进行调整，然后在控制箱4的操纵下，对温控箱3和推温箱2进行信息数据传递，紧接着在推温箱2工作时，如遇温度差异造成压力压强改变时，我们固定好固定槽901；

其次，将固定槽901固定后，将衡压因子903与卡块902相互连接，然后当内部压强达到一定数值后，会对衡压因子903造成挤压，在衡压因子903破坏后内部的平衡因子爆出对环境做出了改善，然后打开散热风机606，让内部气流开始流动；

最后，在通风板605的传输下，气流导入到散热箱601的中间位置处，紧接着在气流依次经过冷却片604后，由于“S”形的设计，使得降温更加便捷迅速，从而使得气流在穿梭后经过散热板602内部的通风口603进行排出，从而将热量携带而走，结束了整体工作后操作操作面板8，然后拆下外接电源。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，包括主体外壳（1）、温控箱（3）和底座（5），其特征在于：所述主体外壳（1）的内部设置有加强结构（11），所述主体外壳（1）内部的一侧安装有控制箱（4），且控制箱（4）的一侧安装有温控箱（3），所述温控箱（3）的一侧安装有推温箱（2），且推温箱（2）的中间位置处固定有横杆（7），所述横杆（7）的两端均设置有衡压结构（9），所述推温箱（2）一侧的顶端安装有栅板（10），所述推温箱（2）一侧的底端安装有操作面板（8），所述主体外壳（1）的底端固定有底座（5），且底座（5）的内部设置有散热机构（6），所述散热机构（6）包括散热箱（601）、散热板（602）、通风口（603）、冷却片（604）、通风板（605）和散热风机（606），所述散热箱（601）的一端与底座（5）内部的一端固定连接，所述散热箱（601）的内部安装有冷却片（604），所述散热箱（601）的一侧固定有散热板（602），且散热板（602）的内部固定有通风口（603），所述散热箱（601）内部的一侧固定有通风板（605），且通风板（605）的一侧设置有散热风机（606）。

2.根据权利要求1所述的一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，其特征在于：所述冷却片（604）在散热箱（601）内部的顶端和底端呈交错分布，所述通风口（603）在散热板（602）的内部呈等间距排列。

3.根据权利要求1所述的一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，其特征在于：所述衡压结构（9）包括固定槽（901）、卡块（902）和衡压因子（903），所述固定槽（901）的一端与横杆（7）的一端固定连接，所述固定槽（901）的内部安装有卡块（902），且卡块（902）的一端固定有衡压因子（903）。

4.根据权利要求3所述的一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，其特征在于：所述固定槽（901）关于横杆（7）的垂直中轴线呈对称分布，所述固定槽（901）与卡块（902）内部之间形成卡合结构。

5.根据权利要求1所述的一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，其特征在于：所述加强结构（11）包括外层壳体（1101）、缓冲棉（1102）、加强块（1103）和内层壳体（1104），所述外层壳体（1101）的外侧壁有主体外壳（1）的内侧壁固定连接，所述外层壳体（1101）的一端固定有内层壳体（1104），所述外层壳体（1101）和内层壳体（1104）内部之间填充有缓冲棉（1102），所述缓冲棉（1102）的内部固定有加强块（1103）。

6.根据权利要求5所述的一种具有压力自动平衡功能的扩散炉，其特征在于：所述加强块（1103）在缓冲棉（1102）的内部均匀分布有三组，所述外层壳体（1101）与内层壳体（1104）设置在同一垂直平面内。

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