CN213398276U

CN213398276U - 一种高真空低温金属测试装置

Info

Publication number: CN213398276U
Application number: CN202022161676.2U
Authority: CN
Inventors: 马宇航; 董顺; 曹崇友
Original assignee: Shenyang Pengcheng Vacuum Technology Co ltd
Current assignee: Shenyang Pengcheng Vacuum Technology Co ltd
Priority date: 2020-09-28
Filing date: 2020-09-28
Publication date: 2021-06-08
Anticipated expiration: 2030-09-28

Abstract

一种高真空低温金属测试装置，涉及一种金属测试装置，所述测试装置CF200分子泵与闸板阀通过腔体过渡管连接在真空腔体上；气缸通过磁流体连接在真空腔体上；磁流体通过连接杆与样品托旋转盘连接；气缸通过波纹管密封组件与样品托相连接；高温加热系统通过腔体连接法兰进行密封连接；低温测试系统通过腔体连接法兰进行连接；屏蔽挡板组件与伺服电机通过密封连接在真空腔体内部；腔体上盖通过气弹簧折页旋转固定在通过胶圈密封形式连接在腔体上；真空腔体通过四根支柱连接在底座上。本实用新型解决现有试验装置需要实验员进行手动调节控制不准确的问题，以及检测单一性的问题。特别适用对同一材料在高真空环境下进行不同性质的往复性实验。

Description

一种高真空低温金属测试装置

技术领域

本实用新型涉及一种金属测试装置，特别是涉及一种高真空低温金属测试装置。

背景技术

根据目前对科研测试技术的需求，市场上大部分金属测试设备纯在的问题大多只能解决一种环境下检测金属的性能，如果想对金属材料在进行对比性试验测试时，则需要在进行采购试验设备对产品进行检测，每次只能检测一个样品，实验过程中样品脱落或安装不正确则需要从新安装调试导致实验时间过长。往往大部分试验设备存在半自动控制，需检测人员进行手动调节操作费时费力。在真空环境下当高温持续时间过长导致设备不能保持实验过程中的真空度，或在低温时不能准确控制，一直以来是困扰实验者的一个难题，也是市场上大部分设备存在的普遍现象。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种高真空低温金属测试装置，本实用新型为一种高真空环境下对检测样品在冷热环境下往复实验的试验装置，采用PLC系统、气动系统控制试验装置，解决现有试验装置需要实验员进行手动调节控制不准确的问题，以及检测单一性的问题。特别适用对同一材料在高真空环境下进行不同性质的往复性实验。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种高真空低温金属测试装置，所述测试装置包括高真空腔体、气缸驱动装置、CF200分子泵、机械泵、高温控制系统、低温控制系统、观察窗、电极、闸板阀、腔体上盖、样品拖组件、屏蔽挡板组件、磁流体、PLC控制器单元；CF200分子泵与闸板阀通过腔体过渡管连接在真空腔体上；气缸通过磁流体连接在真空腔体上；磁流体通过连接杆与样品托旋转盘连接；气缸通过波纹管密封组件与样品托相连接；高温加热系统通过腔体连接法兰进行密封连接；低温测试系统通过腔体连接法兰进行连接；屏蔽挡板组件与伺服电机通过密封连接在真空腔体内部；腔体上盖通过气弹簧折页旋转固定在通过胶圈密封形式连接在腔体上；真空腔体通过四根支柱连接在底座上。

所述的一种高真空低温金属测试装置，所述金属测试装置在真空腔体内设有一套移动旋转样品托装置。

所述的一种高真空低温金属测试装置，所述金属测试装置在真空腔体壁上设有旋转密封装置和移动密封装置。

所述的一种高真空低温金属测试装置，所述CF200分子泵、闸板阀、腔体上盖、形成高真空密封腔。

本实用新型的优点与效果是：

本实用新型一种高真空低温金属测试装置，研发了一种自动化程度高且操作简捷的试验性设备。解决实验过程中出现的问题，提升了实验效率节省了时间时间。本实用新型采用PLC系统与气动控制系统操控实验过程，解决了实验员进行手动调节控制不准确的问题，以及实验单一性的问题。特别适用对同一材料在高真空环境下进行不同性质的往复性实验。本实用新型的优点是分子泵在10分钟内达到满转状态下系统真空度在20分钟时可达到5x10-3 Pa，极限真空：9.0x10-5Pa，停泵12小时后真空度≤30Pa，系统漏率小于5.0x10-8Pa.l/S，高温控制系统温度可以加热从0-1700°C、低温控制系统可以降温到-30°C，优于目前大部分厂家生产的试验设备。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为高温控制系统结构示意图；

图3为低温控制系统结构示意图；

图4为图1的俯视图。

图中部件：CF200分子泵1、闸板阀2、真空腔体3、旋转气缸4、拉伸气缸5、波纹管密封组件6、磁流体7、传动轴8、样品台旋转组件9、高温控制系统10、低温控制系统11、屏蔽挡板组件12、腔体上盖13、气弹簧14、折页15、观察窗16、电极17、电阻规18、样品托19、样品20、加热盘21、隔热罩22、水冷系统23、放气阀24、底座25、旁抽阀26、机械泵27、压差阀27。

具体实施方式

下面结合附图所示实施例对本实用新型进行详细说明。

如图所示，本实用新型包括CF200分子泵1、闸板阀2、真空腔体3、旋转气缸4、拉伸气缸5、波纹管密封组件6、磁流体7、传动轴8、样品台旋转组件9、高温控制系统10、低温控制系统11、屏蔽挡板组件12、腔体上盖13、气弹簧14、折页15、观察窗16、电极17、电阻规18、样品托19、样品20、加热盘21、隔热罩22、水冷系统23、放气阀24、底座25、旁抽阀26、机械泵27、压差阀27。高真空腔体、气缸驱动装置、CF200分子泵、机械泵、高温控制系统、低温控制系统、观察窗、电极、闸板阀、腔体上盖、样品拖组件、屏蔽挡板组件、磁流体、PLC控制器单元等零部件。本实用新型CF200分子泵1与闸板阀2相连接在和真空腔体3连接。旋转气缸4接在磁流体7上通过磁流体与传动轴8连接，样品台旋转组件9，同连接轴8紧固连接，随转动轴做同样运动；拉伸气缸5通过与真空腔体3相连接，在通过波纹管密封组件6相接，波纹管组件6与样品台旋转组件9滑动连接，随拉伸气缸5做拉伸运动；腔体上盖13和折页15通过销钉连接在同气弹簧14共同连接在真空腔体3上实现开合功能；样品20安装在样品托19上与样品台旋转组件9连接在传动轴8上随传动轴做相同的运动；高温控制系统10、低温控制系统11通过真空腔体3连接在真空腔体内部。水冷系统13安装在高温控制系统10上保护系统正常运行。隔热罩22安装在高温控制系统10内部维持腔体内部温度维持稳定值。在电极17通过与真空腔体3预留口通过铜圈密封形式连接引入工作电压，观察窗15设在真空腔体3上进行观察腔体内部情况。电阻规18与真空腔体3通过铜圈密封方式连接在腔体上监测腔体内部工作压强。腔体上盖13、真空腔体3、CF200分子泵1、闸板阀2行成一个高真空密封腔体连接在底座25上。

当进行实验时，首先打开机械泵使其工作，接着打开真空腔体的旁抽阀和连接CF200分子泵的闸板阀，然后观察真空计显示的真空度，观看其变化，当真空腔体内真空度达到0-50Pa时打开CF200分子泵的前级阀，因为此真空度是启动分子泵的安全环境，在达到实验需求的真空度1X10^-5时可进行实验。通过控制拉伸气缸5把安装好的样品推入高温检测系统中，使加热系统温度达到1000°C时停留30min通过观察窗观察腔体内变化，当实验结束时通过控制拉伸气缸5拉出20mm使样品完全从高温控制系统中露出，此时通过伺服电机转动屏蔽挡板组件遮挡住高温控制系统，然后通过控制旋转气缸4转动样品台到低温控制系统进入位置，通过；拉伸气缸5推动样品台进入低温控制系统中对样品进行低温冷冻检测，当低温检测30min完成时，按照上文所述方式重复样品在高低温控制系统中进行实验。直到完成实验，为保护CF200分子泵先关闭分子泵前级阀和闸板阀，当转速降低到1500rpm时关闭分子泵，打开腔体上的放气阀后打开腔体上盖取出样品实验结束，每次实验可以安装15组待测样品。

Claims

1.一种高真空低温金属测试装置，其特征在于，所述测试装置包括高真空腔体、气缸驱动装置、CF200分子泵、机械泵、高温控制系统、低温控制系统、观察窗、电极、闸板阀、腔体上盖、样品拖组件、屏蔽挡板组件、磁流体、PLC控制器单元；CF200分子泵与闸板阀通过腔体过渡管连接在真空腔体上：气缸通过磁流体连接在真空腔体上；磁流体通过连接杆与样品托旋转盘连接：气缸通过波纹管密封组件与样品托相连接；高温加热系统通过腔体连接法兰进行密封连接；低温测试系统通过腔体连接法兰进行连接；屏蔽挡板组件与伺服电机通过密封连接在真空腔体内部；腔体上盖通过气弹簧折页旋转固定在通过胶圈密封形式连接在腔体上；真空腔体通过四根支柱连接在底座上。

2.根据权利要求1所述的一种高真空低温金属测试装置，其特征在于：所述金属测试装置在真空腔体内设有一套移动旋转样品托装置。

3.根据权利要求1所述的一种高真空低温金属测试装置，其特征在于：所述金属测试装置在真空腔体壁上设有旋转密封装置和移动密封装置。

4.根据权利要求1所述的一种高真空低温金属测试装置，其特征在于：所述CF200分子泵、闸板阀、腔体上盖形成高真空密封腔。